• Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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• v.9 no.2
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• pp.231-239
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• 1999

The microstructure of ceramic composite has been found to be governed by the type and amount of the secondary phase, the sintering aid, and the sintering conditions such as sintering temperature, pressure and holing time. Moreover, tribological properties are strongly dependent on microsturcture of composite and operating conditions. In this study, silicon nitride with various amount of magnesia as a sintering aid were prepared and sintered by a hot pressing (HP) technique. Microstructure, mechanical properties (hardness, strength, and fracture toughness), and tribological properties in different environments of $Si_{3}N_{4}$ (in air, water, and paraffine oil) were investigated as a function of MgO content in $Si_{3}N_{4}$. As increasing the amount of MgO in $Si_{3}N_{4}$, the glassy phase in the grain boundaries enlarged the $\beta$-phase elongated grains, and also degraded the Hertzian contact damage resistance. Tribological behaviors in air was seemed to be determined by fracture toughness of $Si_{3}N_{4}$, and those in water and paraffin oil was seemed to be determined by hardness as well as strength. Since glassy grain-boundary phase (MgO) in $Si_{3}N_{4}$ expected to be reacted with water during sliding, such tribochemical reaction reduced wear. In paraffin oil under a higher applied load, the initial sliding dominated wear rate because of Hertzian contact damage.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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• v.39 no.11
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• pp.1099-1103
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• 2015

Recently, there have been several studies on the inspiration and application of optimized natural structures. One study introduced a new adhesion method that was inspired by the feet of geckos because of their superior features such as high adhesion strength, ease-of-removal, and they are environmentally friendly. Various micro- or nano-structures were fabricated and tested for gecko-like dry adhesives, but gecko-like dry adhesives that were developed became easily worn from frequent use. In this study, we propose a metal-coating method to improve the durability of gecko-like dry adhesives. We evaluate the initial adhesion strength and durability by performing repeated adhesion tests on a glass plate. The initial adhesive strength of gold-coated micro-structures was 60% of that for non-coated ones. However, the adhesive strength of gold-coated micro-structures was kept as 58% of their initial adhesion strength, while that of non-coated ones was only 40%.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.96-96
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• 2000

화학증착법으로 증착된 다이아몬드 박막은 우수한 전기적 특성과 뛰어난 화학적, 열적 안정성 때문에 전계방출소재로 많은 관심을 불러 일으키고 있다. 다이아몬드 박막의 전계방출은 저전계에서 일어나는 것으로 알려져 있으며, 저전계방출의 원인을 규명하려는 많은 연구가 진행되어 왔다. 한편, 다이아몬드 박막의 전계방출전류는 금속기판의 사용에 의한 기판/다이아몬드 접촉의 개선, 다이아몬드 박막내의 흑연성분의 조절에 의한 구조변화, 보론이나 인 (P), 질소의 도핑, 수소 플라즈마나 cesium 등의 금속을 이용한 표면처리 등의 여러 방법에 의하여 향상된다는 것이 입증되었다. 그 외에 메탄과 대기 분위기 처리, 암모니아 분위기에서의 레이저 조사도 전계방출특성을 향상시키는 것으로 보고되었다. 그러나, 다이아몬드 박막의 성장후 구조적 특성이 다른 박막의 후성장이나 열분해된 운자수소 처리가 다이아몬드 박막의 전계방출특성에 미치는 영향에 관한 연구는 지금까지 이루어지지 않았다. 본 연구에서는 수소처리와 후성장이 다이아몬드 박막의 전계방출특성에 미치는 영향을 고찰하고 이로부터 그 원인을 규명하고자 하였다. 다이아몬드 박막은 hot-filament 화학증착법을 이용하여 증착하였다. 후성장한 다잉아몬드 박막내의 흑연성분과 박막의 두께를 체계적으로 조절하여 후성장 박막의 구조적 특성과 그 두께의 영향을 확인할 수 있었다. 후성장층내의 흑연성분과 두께가 증가할수록 전계방출특성은 향상되다가 저하되었다. 한편, 다이아몬드 박막을 성장시킨 후 수소분위기 처리를 함에 따라 전계방출특성은 향상되었지만 수소처리시간이 5분 이상으로 증가함에 따라 그 특성은 저하되었다. 본 연구에서는 수소처리와 후성장시 나타나는 전계방출특성의 변화 원인을 규명하고자 한다.기판위에서 polymer-like Carbon 구조는 향상되는 경향을 보였다.0 mm인 백금 망을 마스크로 사용하여 실제 3차원 미세구조를 제작하여 보았다. 그림 1에서 제작된 구조물의 SEM 사진을 보여주었으며, 식각된 면의 조도가 매우 뛰어나며 모서리의 직각성도 우수함을 확인할 수 있다. 이와 같이 도출된 시험 조건을 기초로 하여 리소그래피 후에 전기 도금을 이용한 금속 몰드 제작 및 이온빔 리소그래피 장점을 최대한 살릴수 있는 미세구조 제작에 대한 연구를 계속 추진할 계획이다. 비정질 Si1-xCx 박막을 증착하여 특성을 분석한 결과 성장된 박막의 성장률은 Carbonfid의 증가에 따라 다른 성장특성을 보였고, Silcne(SiH4) 가스량의 감소와 함께 박막의 성장률이 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 줄어들어 성장률이 Silane가스량에 의해 지배됨을 볼 수 있다. UV-VIS spectrophotometer에 의한 비정질 SiC 박막의 투과도와 파장과의 관계에 있어 유리를 기판으로 사용했으므로 유리의투과도를 감안했으며, 유리에 대한 상대적인 비율 관계로 투과도를 나타냈었다. 또한 비저질 SiC 박막의 흡수계수는 Ellipsometry에 의해 측정된 Δ과 Ψ값을 이용하여 시뮬레이션한 결과로 비정질 SiC 박막의 두께를 이용하여 구하였다. 또한 Tauc Plot을 통해 박막의 optical band gap을 2.6~3.7eV로 조절할 수 있었다. 20$0^{\circ}C$이상으로 증가시켜도 광투과율은 큰 변화를 나타내지 않았다.부터

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.23 no.2 s.179
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• pp.146-153
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• 2006

Acceleration sensors have widely been used in the various fields of industry. In recent years, micromachining accelerometers have been developed and commercialized by the micromachining technique or MEMS technique. Typical structure of such sensors consist of a cantilever beam and a vibrating mass fabricated on Si wafers using etching. This study investigates the feasibility of powder blasting technique for microfabrication of sensor structures made of the pyrex glass alternating the existing Si based acceleration sensor. First, as preliminary experiment, effect of blasting pressure, mass flow rate of abrasive and no. of nozzle scanning on erosion depth of pyrex and soda lime glass is studied. Then the optimal blasting conditions are chosen for pyrex sensor. Structure dimensions of designed glass sensor are 2.9mm and 0.7mm for the cantilever beam length and width and 1.7mm for the side of square mass. Mask material is from aluminium sheet of 0.5mm in thickness. Machining results showed that tolerance errors of basic dimensions of glass sensor ranged from 3um in minimum to 20um in maximum. This results imply the powder blasting can be applied for micromachining of glass acceleration sensors alternating the exiting Si based sensors.

• TTA Journal
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• s.152
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• pp.52-53
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• 2014

우리 주변에는 세월의 무게를 견디지 못하고 나날이 훼손되어 가는 문화재가 많다. 온도변화에 따른 팽창계수의 차이나 풍화작용 등으로 유물 일부가 떨어져 나가고, 표면의 균열 부분으로 물이 스며들면서 얼어붙었던 부분이 녹아 구조 불균형이 발생하기도 한다. 또 산성비나 대기오염과 같은 환경오염으로 산화 문제가 발생하는가 하면, 비둘기 등 조류 배설물이나 세균류 지의류 이끼류 같은 생물학적 요인으로 파손되기도 한다. 종교나 예술 활동에 따른 인위적인 훼손(반달리즘, Vandalism)도 일어난다. 자연재해로 어쩔 수 없이 사라지는 문화재도 있다. 불에 타 한 줌의 재로 변한 양양의 낙산사가 그 대표적인 예다. 낙산사는 8년 7개월의 복원 작업을 거쳐 되살아났다. 그래도 '낙산사'하면 '불'이 먼저 떠오르는 것은 천년고찰의 화재가 우리에게 상처로 남아 있기 때문이 아닐까. 한편 어렵게 발굴했지만 이미 때를 놓쳐 위기에 처한 소중한 문화재도 있다. 2009년에 발굴된 전북 익산시 미륵사지 석탑의 사리장엄구(사리를 봉안하는 일체의 장치)에 들어 있던 유리병은, 오랜 세월 공기 속의 수분이 풍화작용을 일으켜 두께가 얇아진 데다 0.04mm라는 수백 개의 미세한 조각으로 부서져 복원이 어려운 상태이다. 워낙 두께가 얇아진 탓에 살짝만 압력을 받아도 부서지기 쉬워 접합 자체가 불가능하다.

• The Korean Journal of Malacology
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• v.9 no.1
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• pp.1-16
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• 1993

한국의 담수에 광범위하게 서식하고 있으면서 역학적으로 중요한 역할을 하고 있는 두 종의 복족류 즉 쇠우렁이(Parafossarulus manchouricus)와 물달팽이(Radix auricularia coreana)의 소화기관 중에서 식도, 소화선 및 장에 대한 미세구조 관찰을 시도하였다. 이 부위들은 간흡충(간디스토마)과간질(소간디스토마)의 유생들이 그들의 생활사 중 거쳐가는 곳으로 알려진 소화관들이어서 이후 흡충류의 유충들이 위의 소화관에 주는 영향을 연구하는데 필요한 기초자료를 얻고자 수행된 것이었다. 관찰해 본 결과 다음과 같은 결론을 얻을 수 있었다. 식도의 상피조직은 두 종류에서 공히 원주세포와 원주섬모세포 및 점액분비 세포로 이루어져 있었다. 식도강상피 내에서도 어느 정도의 흡수와 소화가 이루어 지고 있음은 특이한 현상이라 하겠다. 소화선은 두 종에서 공히 복분지 관상선으로서 그 상피는 micovilli를 선강 또는 도관에 연한 유리표면에 가지고 있어 brush boredr을 이루고 있는 원주세포과 원주섬모세포로 구성되어 있었다. 이들 세포들의 내부 구조로 보아 소화세포와 배석세포로 구분할 수 있었다. 장의 상피는 원주세포와 원주섬모세포로 구성되어 있었으며 이들도 장강에 연한 유리표면에는 brush border를 이루고 있었다. 흡수와 분비기능이 활발한 것으로 사료된다. 전반적으로 보아 본 연구에서 관찰한 두 복족류의 소화관은 모든 부위에서 세포의 유리표면에 microvilli를 가지고 있어 물질의 흡수기능을 가지고 있음을 시사해주고 있었고, 이들 세포 중에는 때로 밀집한 cilia를 가지고 있어 소화관 내의 액체물질이나 이에 내포된 미세입자들의 유동을 도와주고 있음을 추측할 수 있었다.)은 결합조직으로 이루어진 근육질의 두꺼운 벽을 가지고 있었으며 내강은 돌출부위에 의해 4부분으로 갈라져 있었다. 내강에 연한 상피는 원주세포로 되어 있었다. 상음경(epiphallus)의 벽은 근섬유 다발은 벽의 외곽으로 갈수록 밀도가 높아졌다. 상부에 내강과 연결되는 함입구조(groove)를 가지며, 내강에 연한 상피는 섬모가 없는 원주세포로 이루어져 있었다. 음경(penis)은 근섬유가 산재된 두꺼운 벽을 가졌으며 상음경보다 굵은 원통형이었다. 내강은 많은 돌출부에 의해 복잡하게 나뉘어 있으며 상피세포는 원주 세포로 이루어져 있었고 섬모는 관찰되지 않았다. 내강 내의 분비물과 세포의 형태로 보아 내강상피세포는 분비기능을 가진 것으로 사료된다.술적 문제가 적절히 해결되는 경우 비활성 가스 제너레이터는 민수용으로는 대형 빌딩, 산림, 유조선 등의 화재에 매우 적절히 사용되어 질 수 있을 뿐 아니라 군사적으로도 군사작전 중 및 공군 기지의 화재 그리고 지하벙커에 설치되어 있는 고급 첨단 군사 장비 등의 화재 뿐 아니라 대간첩작전 등에 효과적으로 활용될 수 있을 것으로 판단된다.가 작으며, 본 연소관에 충전된 RDX/AP계 추진제의 경우 추진제의 습기투과에 의한 추진제 물성 변화는 미미한 것으로 나타났다.의 향상으로, 음성개선에 효과적이라고 사료되었으며, 이 방법이 편측 성대마비 환자의 효과적인 음성개선의 치료방법의 하나로 응용될 수 있으리라 생각된다..7%), 혈액투석, 식도부분절제술 및 위루술·위회장문합술을 시행한 경우가 각 1례(2.9%)씩이었다. 13) 심각한 합병증은 9례(26.5%)에서 보였는데 그중 식도협착증이 6례(17.6%), 급성신부전증 1례(2.9%), 종격동기흉과 폐염이 병발한 경우와 폐염이 각

• Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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• v.23 no.7
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• pp.172-180
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• 2019

In this study, the microstructure and gamma-ray shielding efficiency of CRT glass mortar specimen were evaluated with replacement ratio and material properties. The results show that as the replacement ratio of CRT waste glass increases, the volume of pores with diameters below 50 nm and above 400 nm is increased. Also, the half-value layer of CRT glass mortar decreased with the increasing of linear attenuation coefficient. In addition, compressive and flexural strength were reduced when CRT waste glass was replaced as the fine aggregate, but the mechanical performance of CRT mortar specimen could be obtained by substitution of the mineral admixture.

• Journal of the Korean Ceramic Society
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• v.37 no.1
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• pp.82-89
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• 2000

In lithium silicate photosensitive glass-ceramics, the relationship between lithography time and crystallization, and the effect of addition of mineral acid in etching rate and pattern shape were investigated. Irradiation times for micropatterning were less than 5 minutes in which Ce3+ ions in glass were changed rapidly to Ce4+ with ultra violet light. Overexposure to ultra brought about blot of pattern by diffiraction of light. Addition of mineral acid to HF enhanced etching rate as compared with HF solution only. The addition of H2SO4 especially increased the etching rate by 70%. But the mixed solution also increased the etching rate of the noncrystallized portion of the glass and this resulted in heavy etching. Etching with ultrasonic wave showed higher etching rate than that with the static or fluid method.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.4 no.3
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• pp.317-321
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• 2003

A conventional typewriter types letters by hammering a carbon ribbon which is attached at a paper. The laser typing process which write a micro pattern of Chrome on a silicon wafer has been developed. A glass that is coated with 100 nm Chrome (Carbon ribbon) is attached on a silicon wafer (paper). An Nd-Yag laser (hammer) is irradiated on the glass, and the Chrome is transferred on the silicon wafer. Micro patterns are made by controlling laser beam trajectory. The suggested micro pattering can be used at the high density data storage of TeraBit/in$^2$ or at the improvement of productivity of semiconductor manufacturing procedure.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.193.1-193.1
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• 2015

실리콘 (Si) 기판 위에 고품질의 갈륨질화물 (GaN) 박막을 성장시키기 위한 노력이 계속되고 있다. 실리콘 기판은 사파이어 기판 보다 경제적인 측면에서 유리하고, 실리콘 직접화 공정에 GaN 소자를 쉽게 접목 가능하다는 장점이 있다. GaN 박막은 2차원 전자 가스형성을 통한 고속소자, 직접 천이형 밴드갭을 이용한 발광소자 및 고전압 소자로써 활용 가능한 물질이다. 종래에는 Si(100) 및 Si(111) 기판 위에 GaN 박막 성장에 대한 연구가 주로 진행되었다. 하지만 대칭성과 격자 불일치도 등 결정학적 특성을 고려할 때 Si(100) 기판 위에 고품질의 GaN 박막을 성장시키는 것은 쉽지 않다. Si(111) 기판은 실리콘 소자 직접화 공정에 적합하지 못한 단점을 가지고 있다. 반면, 최근 Si(110) 기판 위에서 비등방적 변형 제어를 통한 고품질 GaN 박막 성장이 보고 되어 실리콘 집적 소자와 결합한 고전압 소자 및 고속소자 구현에 관한 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 투과전자현미경 연구를 바탕으로 Si(110) 기판 위에 성장된 GaN의 미세구조에 관한 연구를 소개한다. 열팽창계수의 차이에 의한 GaN 박막 내 결함 생성을 줄이기 위하여 AlN 완충층이 사용되었다. GaN 박막을 암모니아 ($NH_3$) 유량이 다른 조건에서 성장시킴으로써 GaN 박막 미세구조의 암모니아 유량 의존성에 관한 연구를 진행하였다. GaN 박막에서 투과전자현미경 연구와 X-ray 회절 연구를 통하여 결함 거동 및 결정성을 확인하였다. $NH_3$ 유랑이 증가함에 따라 GaN의 성장 거동이 3차원에서 2차원으로 변화됨을 관찰하였다. 또한, 전위밀도의 증가도 확인되었다. $NH_3$ 유량이 낮은 경우 GaN 전위는 AlN와 GaN 경계에 주로 위치하고 GaN 표면 근처에는 전위밀도가 감소하였으나, $NH_3$ 유량이 높을 경우 GaN 박막 표면까지 전위가 관통됨을 확인하였다.