• The Transactions of the Korean Institute of Power Electronics
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• v.2 no.4
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• pp.28-35
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• 1997

본 논문에서는 송전선로에 직렬로 삽입되어 선로의 리액턴스를 동적으로 보상하는 인버터식 직렬보상기에 대한 동적 응동 해석을 기술하고 있다. 이 직렬보상기는 다중펄스로 동작하는 전압원인버터와 결합변압기, 그리고 제어장치로 구성되어 있으며, 점호각을 조절하여 선로의 리액턴스를 가변하고 용량성 뿐만 아니라 유도성 보상도 가능하다. 이 보상기로 선로의 리액턴스를 감소시키면 전송 유효전력의 증각가 가능한데, 이러한 효과를 본 논문에서는 단일기-무한대-버스 전력계통에 대해 EMTP를 이용한 시뮬레션으로 확인하였으며, 또한 축소모형 제작과 실험을 통해 실험적으로 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.195-195
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• 2000

TFT-LCD의 제조공정은 박막층의 식각 공정에 대해 기존의 습식 공정을 대치하는 건식식각이 선호되고 있다. 건식 식각 공정은 반도체 공저에 응용되면서 소자의 최소 선폰(CD)이 감소함에 따라 유도결합셩 프라즈마를 비롯한 고밀도 플라즈마 이용한 플라즈마 장비 사용이 증가하는 추세이다. 여기에 평판디스플레이의 공정을 위해서는 대면적과 사각형 기판에 대한 균일도를 보장할 수 있는 고밀도의 균일한 플라즈마 유지가 중요하다. 본 실험에서는 자장강화된 유도결합형 플라즈마의 플라즈마 밀도 및 균일도를 살펴보고 TFT-LCD에 gate 전극으로 사용되는 Al-Nd 박막의 식각을 통하여 식각균일도와 식각속도 및 식각 선택도 등의 건식 식각 특성을 보고자 한다. 영구자석 및 전자석의 설치는 사각형의 유도결합형 플라즈마는 소형 영구자석을 배열하여 부착하였으며, 외부에는 chamber와 같이 사각형태의 전자석을 500mm$\times$500mm의 크기를 갖는 z축 방향의 Helmholtz형으로 제작하였다. 더. 영구자석 배열에 대해서는 자석간의 거리와 세기 변화를 조합하여 magnetic cusping의 변화를 주었으며 전자석의 세기는 전류값을 기준으로 변화시켜 보았다. 실험을 통하여 플라즈마 균일도를 5% 이하로 개선하고 이러한 균일도를 유지하며 플라즈마 밀도를 높일 수 있는 조건을 찾을 수 있었다. 이러한 적합화된 조건에서 저장강화된 유도결합형 프라즈마를 Al-Nd 박막 식각에 응용한 결과, Al-Nd의 식각속도 및 식각 선택도는 유도결합형 프라즈마에 비해 크게 증가하였으며, 식각균일도가 개선되는 것을 관찰하였다. 또한 electrostatic probe(Hiden, Analytical)를 이용하여 Al-Nd 식각에 사용된 반응성 식각가스에 대한 저장강화된 유도결합형 플라즈마의 특성 분석을 수행하였다.c recoil detection, Rutherford backscattering spectroscopy, X-ray diffraction, secondary electron microscopy, atomic force microscoy, $\alpha$-step, Raman scattering spectroscopu, Fourier transform infrared spectroscopy 및 micro hardness tester를 이용하여 기판 bias 전압이 DLC 박막의 특성에 미치는 영향을 조사하였다. 분석결과 본 연구에서 제작된 DLC 박막은 탄소와 수소만으로 구성되어 있으며, 비정질 상태임을 알 수 있었다. 기판 bias 전압의 증가에 따라 박막의 두께가 감소됨을 알 수 있었고, -150V에서는 박막이 거의 만들어지지 않았으며, -200V에서는 기판 표면이 식각되었다. 이것은 기판 bias 전압과 ECR 플라즈마에 의한 이온충돌 효과 때문으로 판단되며, 150V 이하에서는 증착되는 양보다 re-sputtering 되는 양이 더 많을 것으로 생각된다. 기판 bias 전압을 증가시킬수록 플라즈마에 의한 이온충돌 현상이 두드러져 탄소와 결합하고 있던 수소원자들이 떨어져 나가는 탈수소화 (dehydrogenation) 현상을 확인할 수 있었으며, 이것은 C-H 결합에너지가 C-C 결합이나 C=C 결합보다 약하여 수소 원자가 비교적 해리가 잘되므로 이러한 현상이 일어난다고 판단된다. 결합이 끊어진 탄소 원자들은 다른 탄소원자들과 결합하여 3차원적 cross-link를 형성시켜 나가면서 내부 압축응력을 증가시키는 것으로 알려져 있으며, hardness 시험 결과로 이것을 확인할 수 있었다. 그리고 표면거칠기는 기판 bias 전압을 증가시킬수록 더 smooth 해짐을 확인하였다.인하였다.을 알 수 있

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.423.2-423.2
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• 2014

비정질 실리콘 박막 태양전지는 1970년대 중반 개발된 이후 현재까지 지속적으로 연구 개발이 이루어져 왔으며, 대면적의 용이성 및 재료 사용의 효율성 등 산업적 측면에서 많은 장점을 보이고 있다. 하지만, 재료 특유의 무질서(disorder)로 인한 Voc의 한계 및 광 열화 현상 등의 문제점이 극복해야 할 과제로 남아있다. 이를 개선하기 위한 시도 중 하나로 나노입자를 포함한 실리콘 박막 제작을 통해 재료의 무질서도를 낮추고 전기광학적 물성을 개선하는 방법이 제안되고 있다. 본 연구에서는 유도결합 플라즈마(ICP, Inductively coupled plasma)를 사용하여 제작한 실리콘 나노입자 박막으로 비정질 실리콘 박막의 한계를 극복하고자 한다. 실리콘 나노입자를 사용하여 조밀한 박막을 제작하는데 중요한 변수로는 유도결합 플라즈마 반응기 상, 하부의 압력차 및 이로 인한 제트분사의 속력, 그리고 나노 입자의 크기 등이 중요하게 작용한다. 합성된 입자의 크기와 물성의 변화는 유입되는 반응 가스의 양, 공정압력과 파워에 의존한다. 실리콘 나노입자 박막을 다양한 플라즈마 조건에 따라 제작한 후 XRD, Raman, SEM, TEM을 이용하여 물성 변화를 관찰하였으며, 이를 통해 박막태양전지로의 응용 가능성을 제시하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference
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• 1997.10a
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• pp.52-54
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• 1997

고주파 유도결합 플라즈마(RFICP)에서 루우프법에 의해 자기장특성을 계측하였다. 자기장 계측은 플라즈마의 거시적 변화를 시간적으로 접근하며, 반도체 프로세스의 관건인 균일하고, 고집적인 분포를 얼마나 교란, 응집하는가를 검증하고, 밀도와의 관계를 비교, 분석하여 방적의 최적화를 규명할 수 있을 것이다. 작은 루우프 안테나($\Phi$:외경 7.5mm)는 RF 자기장의 크기와 방향을 결정하기 위해 방전속에 삽입된다. 자기장의 세기는 전형적으로 입력파워 50 - 500 [W]에 대해 0.1에서 2.5 G 사이로 변화하였다. 사용가스는 아르곤가스(99.9% 고순도)를 사용하였으며, 동작압력은 20 [mTorr] 에서 15 [sccm]까지하였다. 반경방향의 공간분포에서는 아스펙트비(aspect ratio : R/L)를 2로 하여 자기장 분포를 계측하였다. 자기장은 입력파워의존성에 대해서 200 [W]까지 상승하고, 300[W]에서 안정성을 지속한다. 압력에 대한 의존성은 300[W]에서 60 [mTorr]이상 일 때는 플라즈마의 균질한 압력상태를 벗어남을 보인다. 아르곤 가스유량에 대해서는 무거운 중성기체입자가 자기장의 영향을 거의 받지 않기 때문에 일정한 경향이 나타났다. 반경방향의 공간분포 측정에서는 자기장은 RFICP의 대구경 특성에 맞게 전체적으로 일정한 분포를 이루고 있음을 확인하였다. 이러한 결과로부터 고주파유도결합 플라즈마에서의 동작생성, 유지기구등의 파악에 도움이 될 것이다.

• The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.14 no.4
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• pp.369-376
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• 2003

In this paper, Ka-Band NRD guide band pass filter with newly designed inductive post structure is proposed and analyzed with its test results. Generally, millimeter-wave filters are very sensitive in their physical dimensions, hence, it is requires extreme precisions of several micron so as to get the designed performance. In case of common NRD Guide filter with air gap coupled structure, it is fabricated with dielectric blocks coupled via air gap. In these structures, however, it was not easy to fabricate and to process of each NRD guide dielectric resonator blocks using PTFE, so it was almost impossible to assemble with several microns in precision. In this our research, however, each dielectric resonators are coupled with a pair of inductive metal post, so all resonators are located in a single NRD Guide. The dielectric parts between two pairs of posts are operated as resonators of each stage, and the positions of the post decide the couplings between resonators. The structure we suggested is suitable fur mass production, because it is very simple and easy to process. As a result of measurements, designed NRD guide inductive post filter has a superior performance. The center frequency is 39.475 GHz with 350 MHz bandwidth, insertion loss is less than 1.8 dB, and the return loss is below than -18 dB.

• The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.13 no.8
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• pp.741-747
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• 2002

In this paper, NRD guide band pass filter with newly designed inductive iris structure is proposed and analyzed with its test results. In case of common NRD guide filter with air gap coupled structure, it was not easy to fabricate and process or each NRD guide dielectric resonator blocks using PTFE. However, in this our research, each dielectric resonator fabricated in a single NRD guide is coupled with inductive iris located on metal plates. The structure is suitable for mass production of a precise and reliable millimeter-wave filter applications. As a result of measurements, designed NRD guide inductive iris filter has superior performance. The pass band is 38.66~39.06 MHz with 400 MHz bandwidth, insertion loss is about 1.4 dB and return loss is below -18 dB.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.17 no.4
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• pp.474-479
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• 2016

As the Eco-energy is recently required, electrical energy is fast increased. Several induction heating methods are attractive for Eco-energy and energy saving. In this paper, electrical fan heater was designed and developed with new concept for energy saving by electromagnetic induction heating. Proposed system was composed of three module, blast part, induction heating part and power transformation part. Induction heating method was adapted for heating and the resonant inverter was used for increasing of the power transformation efficiency. Full-bridge resonant inverter was adopted to resonant inverter. This system was composed of induction heating part made with metal(SUS 40 series), and power transformation part made with rectifier module, filter module and resonant inverter. From these results, the proposed new electric heater could be saved the energy from faster increasing the temperature compared to commercial gas and other electric heater. This electrical fan heater is possible to be used in field of home, commercial and agricultural area for eco-energy saving heater.

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.24 no.5
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• pp.70-76
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• 2010

It is required to analyze the characteristics of inverter-fed induction motor according to the increase of inverter uses. However the previous simulation researches usually uses simplified induction motor model and fixed power source because the difficulties of their modeling and analysis. In this study, high frequency induction motor is simulated and the induction motor model considering high frequency characteristics is developed and it is combined with inverter model. With these, from the sinusoidal commercial frequency to PWM high frequency, induction motor characteristics can be simulated and analyzed.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.232-232
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• 2004

최근 초고속 광통신 시스템이 발달함에 따라, 광통신 시스템 및 초고속 광통신 시스템의 핵심 부품인 평면도파로형 분배기(Splitter) 및 결합기(Coupler), 파장분할 다중화소자(WDM), AWG(Arrayed Wave Guide) 필터와 같은 소자부품 수요가 급격히 늘고 있다. 그러나 이러한 소자를 생산하는 공정은 수공적인 방법에 의존하여 생산성 향상을 위한 자동화에 대한 요구가 시급하다 특히 소자(Devices)와 광섬유(Optical fiber) 사이의 광학적인 정렬(Alignment)과 접속(Attachment) 공정은 부품 성능 및 생산성 향상, 그리고 비용절감을 위한 가장 핵심적인 문제로 대두되고 있다.(중략)

• Journal of Biomedical Engineering Research
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• v.5 no.2
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• pp.143-148
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• 1984

비접합성 골절의 치료를 위한 전기적인 방법으로는 관혈적이 방법, 부분적으로 관혈적인 방법, 비관혈적인 방법 들이 있는데, 비관혈적인 방식은 다른 방법들과는 달리 수술 등 외과적 처기 등이 필요하지 않을뿐더러 환자에게도 가장 안전한 방식이다. 본 논문에서는 유도 결합 현상을 이용한 반관혈적인 전기 자기 자극기를 설계, 제작하였으며, 임상 실험 겨과 좋은 결과를 보이고 있다.