Reactive Ion Etching of GaN & InP Using Inductively Coupled Plasma (유도결합 플라즈마를 이용한 GaN 및 InP의 건식 식각에 관한 연구)

• 정석용;박철희;김성대;김호성;이병택;허증수
• • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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  • 1999.11a
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  • pp.131-131
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  • 1999
• PDF

대면적 다결정 실리콘 증착을 위한 내장형 유도결합 플라즈마 소오스에 대한 연구

• Kim, Hong-Beom;Lee, Hyeong-Cheol;Yeom, Geun-Yeong
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 2007.02a
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  • pp.94-94
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  • 2007
• PDF

강자성체 코어를 갖는 변압기형 유도결합 수소 플라즈마원의 인가 전력에 따른 전기적 특성 변화

• Lee, Seok-Hwan;Jeon, Sang-Jin;Kim, Gon-Ho
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 2009.08a
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  • pp.374-374
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  • 2009
• PDF

A study on the chromium deposition using inductively couple plasma (유도결합 플라즈마를 이용한 크롬 증착에 관한 연구)

• 정승재;이광희;이정중;주정훈
• • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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  • 2001.06a
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  • pp.11-12
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  • 2001
• PDF

A study on RF sputter cleaning using Ar/$H_2$ inductively coupled Plasma (아르곤/수소 유도결합 플라즈마를 이용한 RF sputter cleaning에 관한 연구)

• 이원석;이진호;남욱준;염근영
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 1995.06a
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  • pp.102-102
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  • 1995
• PDF

Survey on the Characteristics of Inductively Coupled Plasma with Optical Spectrometer and Electrostatic Probe (분광분석기와 정전탐침을 이용한 유도결합 플라즈마의 특성조사)

• 이교응;김병철;한전건
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 1996.02a
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  • pp.108-108
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  • 1996
• PDF

고밀도 유도결합 플라즈마 장치의 $SiH_4/O_2$/Ar 방전에 대한 공간 평균 시뮬레이터 제작

• Bae, Sang-Hyeon;Gwon, Deuk-Cheol;Yun, Nam-Sik
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 2008.02a
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  • pp.194-194
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  • 2008
• PDF

펄스 파워 유도결합 플라즈마 특성 연구

• Seo, Sang-Hun;Lee, Jeong-Beom;Yun, Ju-Mi;Yu, Dae-Ho;Jang, Hong-Yeong
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 2008.08a
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  • pp.296-296
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  • 2008
• PDF

유도결합 플라즈마를 이용한 폴리머 표면개질

• Sin, Gyeong-Sik;Jeon, A-Ram;Song, Du-Hun;Kim, Yong-Mo;Han, Jeon-Geon
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 2007.08a
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  • pp.161-161
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  • 2007
• PDF

내장형 유도결합 플라즈마 소스를 이용한 나노 다결정 실리콘 증착 및 특성 연구

• Kim, Heung-Beom;Lee, Hyeong-Cheol;Yeom, Geun-Yeong
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 2007.08a
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  • pp.80-80
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  • 2007
• PDF

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