• 한국정밀공학회지
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• 제17권12호
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• pp.26-33
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• 2000

• 한국정밀공학회지
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• 제25권4호
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• pp.26-31
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• 2008

본 논문은 정밀 위치결정 시스템의 잔류진동을 효과적으로 제거할 수 있는 입력성형기법을 소개하고, 실시간 입력성형기법을 적용하는 방법을 설명하였다. 또한 두 가지 응용 분야에 대한 실험결과를 바탕으로 입력성형기법의 성능을 고찰하였다. 일반적으로 입력성형기법은 정밀 위치결정 시스템에 대해 동작 완료시간을 단축시키는 효과가 있을 뿐만 아니라 위치결정 정밀도를 향상시키는 효과가 있다. 그리고 되먹임제어 방법에 비해 적용방법도 간단하며 저렴하게 구성할 수 있다는 장점이 있으므로 많은 정밀 위치결정 시스템에 유용할 것으로 생각된다.

• 한국우주과학회:학술대회논문집(한국우주과학회보)
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• 한국우주과학회 2011년도 한국우주과학회보 제20권1호
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• pp.25.2-25.2
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• 2011

저궤도위성의 정밀궤도결정은 GPS 위성과 수신기의 시계 공통오차를 제거하기 위해 이중 차분하는 방법으로 요구된 위치 정밀도를 충족시켜왔다. 그러나 빠른 속도로 지구를 회전하는 저궤도위성의 정밀궤도결정에 있어 이러한 이중 차분방법은 지구상에 광범위하게 분포된 지상 IGS 망 처리에 많은 계산 부담을 안고 있다. 그리고 지상 측지뿐만 아니라 저궤도위성을 이용한 기상관측 또는 긴급한 영상 처리 응용분야에서도 고정밀도 준실시간(Near Real Time-NRT) 처리가 요구되고 있다. 고정밀 준실시간 정밀궤도결정을 위한 대안은 이중주파수 GPS 수신기으로 IGS에서 제공되는 정밀궤도력을 갖고 고정밀 단독측위가 가능한 정밀단독측위(precise point positioning) 기법으로 상대측위와 버금가는 위치 정밀도를 얻을 수 있다. 다목적실용위성 5호는 고정밀 합성 레이더 영상 처리를 위해서 요구되는 20 cm 위성 위치 정밀도를 만족시키고, 대기 기상관측을 위해 GPS 전파 엄폐 측정값 수집을 목적으로 고정밀 이중주파수 GPS 수신기(Integrated GPS and Occultation Receiver, IGOR)를 탑재하고 있다. 이 논문에서는 IGOR의 이전 제품인 Blackjack 수신기를 탑재한 GRACE 위성의 실제 GPS 데이터를 사용하여 대략 3 ~ 5cm의 위치 정밀도를 얻었다. 준실시간 정밀궤도결정에서 정밀도 손실없이 궤도결정 처리 지연시간(latency)을 줄이는 것이 중요하다. 이 지연시간은 GPS 측정값의 양에 따라 크게 좌우되기에 GPS 측정값 샘플링 주기를 10초에서 640초까지 변화시켜가면서 정밀도를 분석한 결과, 위치 정밀도 손실없이도 궤도결정처리 지연시간을 단축시킬 수 있음을 제시하고 있다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2003년도 추계학술대회 논문요약집
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• pp.285-285
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• 2003

• 한국정밀공학회지
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• 제17권12호
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• pp.9-15
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• 2000

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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• pp.320-320
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• 2004

반도체용 노광장비나 검사장비, 초정밀 광학렌즈, 비구면 렌즈 가공 등의 핵심이 되는 것은 초정밀결정기술이다. 서브미크론의 정밀도를 갖는 장비는 한치의 오차도 허용치 야고 계획된 경로대로 정확하게 목표지점에 도달해야 초정밀 가공을 기대 할 수 있다 초정밀 공기정압 스테이지는 저마찰 특성과 높은 운동정밀도, 청정환경유지가 가능하여 반도체 노광장비에서 PDP 나 LCD검사장비, 초정밀가공 가공기 등 다양한 정밀장비에서 활용된다.(중략)

• 한국측량학회:학술대회논문집
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• 한국측량학회 2003년도 춘계학술발표회 논문집
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• pp.115-118
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• 2003

높은 정밀도를 갖는 상대위치결정은 매우 정밀한 반송파 측정값을 이용하며, 단기간에 높은 정밀도를 얻기 위해서는 미지정수가 결정되어야 한다. 본 논문에서는 LAMBDA 방법을 이용하여 이중차 미지정수를 해결하는 알고리즘을 정립하고, L1 반송파를 이용하여 상대위치를 결정하는 프로그램을 개발하였다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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• pp.137-137
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• 2004

최근, 나노 위치결정 시스템이 우주항공, 광통신, 의학 등 많은 분야에서 사용되고 있다. 이러한 나노위치결정 시스템에 있어서 가장 중요한 것은 안정성이다 열팽창과 가공에 의한 오차를 줄이기 위해 단일재료를 사용하고 대칭구조로 구성해야만 한다. 또한 나노 스케일의 분해능을 가지기 위해서는 스틱 슬립(stick-slip) 마찰이나 백래쉬(backlash) 기구가 없어야만 가능하다. 이러한 조건들을 만족하기 위해서 선행 연구자들은 유연힌지(flexure hinge)를 사용한 컴플라이언스 기구(compliance mechanism)를 제안하였고 이미 마이크로/나노 위치결정 시스템에 대한 연구와 개발이 이루어졌다.(중략)

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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• pp.162-162
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• 2004

위치결정 기술은 초정밀 미세 기술의 발달과 제품의 소형화, 경량화에 대한 요구가 늘어나면서 고정밀화가 가속화되어 현재는 나노미터 수준의 위치정밀도를 요구하고 있다 현재 널리 사용되어지는 표면형상 측정기인 AFM은 분해능과 정밀도는 우수하지만, 이송 스테이지의 제한으로 측정영역이 좁은 단점이 있다. 이를 극복하기 위해서 이중서보를 사용한 방식들이 많이 제안되어 왔고 단일 서보를 사용하는 방식들도 연구되고 있다. 하지만 이중서보 방식은 여러 가지 액츄에이터와 컨트롤러를 사용해야하므로 제어알고리즘과 시스템이 복잡해지는 단점을 가지고 있다.(중략)

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 1995년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.251-255
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• 1995

정밀위치결정 기구는 정밀가공기, 계측기기, 반도체 제조장치등의 각종산업기기에 있어 중요 장치로 많이 이용되고 있다. 반도체 회로의 고정밀화, 고집적화, 가공기의 고정도화와 함께 위치결정기구의 기술은 매년 엄격해지고 있다. 현재는 0.1 -0.01 .$\mu$ m의 정도가 요구되고 있어 이에 대응할 수 있는 고정밀 미동제어 위치결정 제어에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 또한 고정도와 함께 대스트로크(Stroke)를 가지며, 동시에 고속동작의 실현이필요하다. 따라서 이런 여러 성능을 만족시키는 것은 고부가가치 산업에 있어 매우 중요한 조건 중의 하나이다.