• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.137-137
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• 2004

최근, 나노 위치결정 시스템이 우주항공, 광통신, 의학 등 많은 분야에서 사용되고 있다. 이러한 나노위치결정 시스템에 있어서 가장 중요한 것은 안정성이다 열팽창과 가공에 의한 오차를 줄이기 위해 단일재료를 사용하고 대칭구조로 구성해야만 한다. 또한 나노 스케일의 분해능을 가지기 위해서는 스틱 슬립(stick-slip) 마찰이나 백래쉬(backlash) 기구가 없어야만 가능하다. 이러한 조건들을 만족하기 위해서 선행 연구자들은 유연힌지(flexure hinge)를 사용한 컴플라이언스 기구(compliance mechanism)를 제안하였고 이미 마이크로/나노 위치결정 시스템에 대한 연구와 개발이 이루어졌다.(중략)

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2001.10a
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• pp.159-163
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• 2001

마찰구동은 다른 구동방식에 비하여 구조가 간단하고, 기계적인 정도를 얻기 쉬우며, 백래쉬 등에 기인하는 비선형 요소인 로스트모션이 없고 관성이 작아 구동력이 작은 이점이 있다. 그 반면에 접촉부에서 미끄럼이 발생하여 큰 구동력을 얻기 어렵고 마찰저항에 의하여 마멸이 생기는 결점이 지적되고 있다. 본 연구에서는 초정밀가공기용 위치결정기구로 마찰구동기구를 사용하기 위하여 위치 결정도에 관한 설계, 구동력의 설계 및 재료의 선택에 관하 여 분석하고 시작품을 제작하여 특성을 연구하였다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2003.10a
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• pp.285-285
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• 2003

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1995.04b
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• pp.251-255
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• 1995

정밀위치결정 기구는 정밀가공기, 계측기기, 반도체 제조장치등의 각종산업기기에 있어 중요 장치로 많이 이용되고 있다. 반도체 회로의 고정밀화, 고집적화, 가공기의 고정도화와 함께 위치결정기구의 기술은 매년 엄격해지고 있다. 현재는 0.1 -0.01 .$\mu$ m의 정도가 요구되고 있어 이에 대응할 수 있는 고정밀 미동제어 위치결정 제어에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 또한 고정도와 함께 대스트로크(Stroke)를 가지며, 동시에 고속동작의 실현이필요하다. 따라서 이런 여러 성능을 만족시키는 것은 고부가가치 산업에 있어 매우 중요한 조건 중의 하나이다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.17 no.12
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• pp.26-33
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• 2000

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.17 no.12
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• pp.20-25
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• 2000

• Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers
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• v.8 no.3
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• pp.9-14
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• 1999

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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• v.30 no.6 s.249
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• pp.622-630
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• 2006

This paper is about the magnetic suspension stage based on the Switched Reluctance propulsion principle. Because the previous studies on contact-free stage adopted the Lorentz force for main force generation mechanism they have suffered from thermal problem deteriorating the precision. Thus, the magnetic suspension stage adopting SR principle which can achieve high force density is proposed. The main operating principle and structure for achieving high resolution and long travel range are represented. The magnetic force analysis of each actuator, providing back data for dynamic modeling and controller design are carried out. By conducting basic experiments, the feasibility of the proposed system is shown. In addition the problems which should be improved and their solutions are represented.

• Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers
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• v.9 no.6
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• pp.164-169
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• 2000

Recently, High accuracy and precision are required in various industrial field especially, semiconductor manufacturing apparatus, Ultra precision positioning apparatus, Information field and so on. Positioning technology is a very important one among them. As such technology has been rapidly developed, this field needs the positioning accuracy as high as submicron. It is expected that the accuracy of 10nm and 1nm is required in precision work and ultra precision work field, respectively by the beginning of 2000s. High speed and low vibration are also needed. This work deals with the design method and control system of Ultra precision positioning apparatus. Control performance and stability analysis were performed in advance by modeling and designing the controller with Simulink.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.15 no.11
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• pp.199-207
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• 1998

This paper presents the design and the control of three degree-of-freedom(DOF) fine positioning device based on an electro-magnetic force. The device is designed by use of a magnetic circuit theory and it is capable of fine motion due to the electro-magnetic force. The device consists of permanent magnets, yokes and coils. The magnetic fluxes generated from the permanent magnets constitute magnetic paths through steel, whereas the coils are arranged into the gap between two surfaces of the yokes. Therefore, by supplying current to the coils, the coils are capable of some motions due to Lorentz forces. For the optimal design of the actuating system, the system parameters are defined and investigated under the given constraints. From the system modeling in small displacement, three decoupled equations of motion are obtained. To get better performance of the system, a PID controller is implemented. Experimental results are presented in terms of time response and accuracy.