• 제목/요약/키워드: 원통형 마이크로 접촉인쇄

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대면적 미세 금속전극 인쇄를 위한 원통형 마이크로 접촉 인쇄공정 (Roll-type Micro Contact Printing for Fine Patterning of Metal Lines on Large Plastic Substrate)

  • 김준학;이미영;송정근
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제48권6호
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    • pp.7-14
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    • 2011

  • 본 논문은 PDMS(polydimethyl siloxane) 스탬프를 이용한 원통형 마이크로 접촉인쇄(roll-type micro-contact printing)에 관한 것으로 대면적 플라스틱 기판에 미세 금속 전극 인쇄를 PDMS 스탬프의 평탄화, 은 나노 잉크의 은 함량, 공정변수인 코팅속도, 잉킹속도, 프린팅속도, 프린팅 압력을 조절하여 가장 우수한 인쇄특성을 나타내는 조건을 도출하였다. 그 결과 면적 $4.5cm\;{\times}\;4.5cm$ 기판에 최소선폭 10 um, 두께 300 nm, 표면거칠기 40 nm 이하, 비저항 $2.08\;{\times}\;10^{-5}{\Omega}{\cdot}cm$의 특성을 갖는 은미세 전극을 인쇄하였다.

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