• Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers
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• v.18 no.4
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• pp.369-374
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• 2009

In micro/nano-scale contacts in MEMS and NEMS, capillary and van der Waals forces generated around contacting micro-asperities significantly influence the performance of concerning device as they are closely related to adhesion and stiction of interacting surfaces. In this regard, it is of prime importance to accurately estimate the magnitude of surface forces so that an optimal solution for reducing friction and adhesion of micro/nano-surfaces may be obtained We introduced an effective method to calculate these surface forces based on topography information obtained from an atomic force microscope. This method was used to calculate surface forces generated in the contact interface formed between diamond-like carbon coating and $Si_3N_4$ ball. This method is shown to effectively demonstrate the influence of capillary force in the contact area, especially in humid atmosphere.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.21 no.9
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• pp.12-19
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• 2004

수십 MN(10/sup 6/ N) 이상의 하중을 다루는 건설산업 및 중공업으로부터 수십 kN- 수 MN의 힘을 사용하는 재료시험기, 프레스, 및 공장 자동화설비 그리고 수십 N-수 kN 용량의 상업용 저울까지 힘 측정은 산업의 근간이 되는 기술이며 우리 실생활에 폭 넓게 이용되고 있다. 제품을 생산하고 대형 구조물을 건설하는 공장이나 건축현장에서 힘을 정확히 측정한다는 것은 공정을 일정하게 유지 관리하고 있다는 표시이므로 제품의 품질관리나 건축물의 안전관리의 척도가 된다. (중략)