• Proceedings of the KSME Conference
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• 2001.06b
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• pp.36-41
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• 2001

The performance of an inductive position sensor is described by the accuracy and the dynamic characteristics of the sensor. Both of these performance indices are affected by magnetic hysteresis and eddy currents. In this paper, a model of an inductive sensor is presented. This model includes the effects of hysteresis and eddy currents. Computer simulation shows that the sensitivity of the sensor is greatly affected by hysteresis and eddy currents. Repeability error increases with hysteresis and eddy currents effects. Results also show that eddy currents influence more on the sensor performance than hysteresis does. To reduce the effects of hysteresis and eddy currents, the sensor should be made out of thin laminations with high resistivity.

• Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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• 2022.01a
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• pp.403-405
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• 2022

본 논문에서는 4차 산업에서 필요로 하는 스마트 기기의 소형 및 저전력 부품에 사용되는 센싱 플랫폼을 제안하였다. 특히 스마트팩토리의 공장 자동화와 정밀 측정의 핵심 부품인 리니어 모션 가이드(LM Guide)를 고정밀, 고정도로 제어할 수 있는 센싱 시스템을 개발하였다. 이를 위하여 기존의 변위 센서 기법의 한계를 극복할 수 있도록 와전류(Eddy Current) 기법을 이용함으로써 LC 공진기와 전도체를 LM 가이드에 장착할 수 있도록 구현하였다. 또한 미세 인덕턴스 값을 측정할 수 있도록 디지털 신호처리 기술과 컴퓨터/산술 기술을 FPGA를 이용한 HW 시스템을 제작하여 구현함으로써 실험을 진행했다. 본 논문에서 구현한 HW 센싱 시스템을 이용하여 LM 가이드를 동작시킴으로 실시간으로 변위 값을 디스플레이 부로 출력되어 측정이 가능하고, 변위 값의 분해능과 응답속도 면에서 우수함을 확인할 수 있다.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 2013.10a
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• pp.383-385
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• 2013

반도체소자의 고속실현을 위해서 알루미늄배선에서 40% 가량 성능을 높이는 반면 제조비용은 30%까지 낮출 수 있는 구리를 선호하고 있으나, 식각이 잘 되지 않아 원하는 패턴으로 만들어 내기가 곤란한 공정기술의 어려움과 구리물질이 지닌 유독성문제를 가지고 있다. 기존의 식각기술로는 구리패턴을 얻을 수 없는 기술적 한계 때문에 화학.기계적 연마(CMP)를 이용한 평탄화와 연마를 통해서 구리배선을 얻는 다마스커스(Damascene)기술이 개발됐고 이를 이용한 구리배선기술이 현실적으로 가능하게 됐다. CMP를 이용한 평탄화 및 연마 공정에서 Wafer에 도포된 구리의 두께를 실시간으로 측정하여 정밀하게 제어할필요가 있는데, 본 논문에서는 와전류를 이용하여 옹고스트롬 단위의 두께를 실시간으로 측정하여 제어 하는 시스템구현에 대해 기술한다.

• Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference
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• 2006.06a
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• pp.96-97
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• 2006

• Proceedings of the KSME Conference
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• 2005.11a
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• pp.199.1-199.1
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• 2005

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2012.10a
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• pp.905-906
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• 2012

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2009.06a
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• pp.477-478
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• 2009

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2005.06a
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• pp.1788-1792
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• 2005

Eddy current sensor is representative instrument measuring gap to base metal and sensing trouble in base metal. The existing eddy current sensor works as measuring variance of sensor coil's inductance. But, sensor coil have phenomenon that not only inductance but also real resistance varies in real action. Conductivity and Permeability are main variable in sensor coil's varying impedance(inductance, real resistance). By searching relationship between conductivity-permeability and sensor coil's impedance, eddy current sensor gain advantage of elevation of accuracy, removal of alignment to each base metal, and continuous sensing to varying base metal.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2007.07a
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• pp.2036-2037
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• 2007

반사형 펄스와전류(Pulsed Eddy Current; PEC) 탐상을 위한 여러 가지 탐촉자를 설계하고, 수치해석 방법을 사용하여 신호특성과 두께변화에 대한 만감도를 조사하였다. 구리와 페라이트를 차폐체로 사용한 결과, 구리로 차폐한 여자코일이 페라이트로 차폐한 센서코일보다 안쪽에 있는 것이 두께변화에 더 민감하였고, 페라이트만으로 차폐한 경우에도 여자코일이 안쪽에 있는 것이 더 민감하다는 것을 알 수 있었다. 한편, 두께가 두꺼워지면 펄스신호의 피크치는 감소하며 피크 발생시간이 변화하는 것을 관찰할 수 있었다.

• Journal of Power System Engineering
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• v.15 no.3
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• pp.65-69
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• 2011

This paper introduces the multi-coil eddy current sensor and its characteristic in magnetic material gas turbine rotor. In the past, magnetic particle inspection method was used for qualitative defect evaluation in magnetic material gas turbine rotor. And the ultrasonic inspection method was used for quantitative defect evaluation. Nowadays, eddy current method is used in magnetic gas turbine rotor inspection due to advanced sensor design technology. We developed multi-coil eddy current sensor for the rotor dovetail inspection. At first, rotor stress is analyzed for the determination of sensor position and number. The sensor coils are designed to cover the stress concentration area of rotor dovetail. We select optimum frequency according to material standard penetration data and experiment results. The rotor mock-up and artificial defects were made for the signal detection and resolution analysis of multi-coil eddy current sensor. The results show that signal detection and resolution capabilities are enhanced in comparison to the commercialized sensor enough for the gas turbine rotor inspection. So, this developed multi-coil eddy current sensor substituted for commercialized one and it applied in real gas turbine rotor inspection.