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고속 열처리 공정 시스템에서 웨이퍼 상의 다중점 계측에 의한 온도분포 추정 기법 연구 (A Prediction Method of Temperature Distribution on the Wafer in a Rapid Thermal Prossing System with Multipoint Sensing)

  • 심영태;구진모;김학배
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1999년도 하계학술대회 논문집 B
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    • pp.618-620
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    • 1999
  • 웨이퍼내의 온도 균일도를 확보하는 것은 고속열처리공정장비(RTP)에 있어서 입력신호 수집을 통해 달성해야 할 중요한 제어 요소이며, 이러한 온도의 균일도를 향상시키기 위해서는 웨이퍼의 각 지점에 대한 정확한 온도 계측이 필수적으로 선행되어야 한다. 그러나 RTP의 구조적 특징과 동작특성 때문에 정확한 온도계측이 매우 어려운 면이 있다. 온도계측은 주로 고온계를 통해 이루어지는데 대류와 복사 등 여러 가지 원인에 의해서 웨이퍼내에 온도가 불균일하게 되는 경우 한정된 개수의 고온계로 온도 분포를 정확히 추정할 수 없는 한계를 지니고 있다. 본 논문에서는 RTP 공정을 열역학적으로 접근하여 단일점 온도 계측에 의한 전체 온도 분포 추정 기법을 연구하고 이것을 다중점 온도 계측에 의한 온도 분포 추정 기법으로 확장 발전시켜 웨이퍼에 상대적으로 영향을 끼치는 요소 중 예측 불가능하거나 측정 불가능한 요소까지 포함하여 최소의 측정치를 활용하여, 적절한 제어입력 유도에 필요한 형태로 웨이퍼상의 온도계측을 가능하게 하였다.

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비대칭 아크 플라즈마의 온도 분포 측정 (Temperature Measurement of asymmetric arc plasma by abel inversion)

  • 조영태;나석주
    • 대한용접접합학회:학술대회논문집
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    • 대한용접접합학회 2004년도 춘계 학술발표대회 개요집
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    • pp.109-111
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    • 2004
  • 아크 플라즈마의 온도 분포를 측정하는 방법으로 개발된 CCD 카메라를 이용한 온도 측정 방법을 비대칭 플라즈마의 온도 분포 측정에 적용하기 위해 비대칭 플라즈마의 데이터 변환에 이용 가능한 아벨 역산 방법을 개발하였다. 비대칭 플라즈마 중 V-groove 상의 아크는 타원형의 플라즈마로 볼 수가 있으므로 타원형의 단면을 가지는 플라즈마에 대해 온도 측정을 수행하고 그 결과로서 모재로 전달되는 아크의 열속(heat flux)의 분포를 예측 할 수 있었다.

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어뮤즈먼트 자판기 시장의 뉴트랜드, '뮤직온' 자판기

  • 한국자동판매기공업협동협회
    • 벤딩인더스트리
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    • 제5권3호통권15호
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    • pp.44-48
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    • 2005
  • 자판기는 진화한다. 관련 기술의 발달과 새로운 신사업 창출을 위한 도전들이 항상 기발하고 이색적인 자판기를 탄생시킨다. 금호에 소개될 뮤직온 자판기 역시도 이 부류에 해당이 된다. MP3폰, MP3 플레이어 등에 음악파일을 다운로드 받을 수 있는 이 제품은 LG텔레콤에 의해 국내 최초로 선을 보였다. 어뮤즈먼트 자판기 시장의 뉴트랜드 조성할 제품으로 큰 기대를 모으고 있는 뮤직온 자판기는 필드에 본격 전개되며 조심스러운 시장 가능성을 타진하고 있다. 뮤직온 자판기가 과연 급성장을 보이는 디지털 음원시장의 한축으로 굳건한 자리매김을 할 수 있을 까. 어뮤즈먼트 자판기 시장에 있어 성공을 다운로드 받는 자판기로의 힘찬 비상을 꿈꾸는 뮤직온 자판기의 행보를 따라가 봤다.

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극저온 볼 밀링을 통한 Ibuprofen 분말의 나노화

  • 조현갑;이경엽;박훈재;이상목
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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    • pp.158-158
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    • 2004
  • 본 연구에서는 이부프로펜(Ibuprofen)분말을 마이크론(Micron) 크기의 입자로 만들기 위하여 극저온 볼 밀링 공정(Cryogenic Ball Milling Process)을 사용하였다. 극저온 볼 밀링 공정은 약 -18$0^{\circ}C$의 질소 분위기에서 6시간 동안 실행되어 졌다 이부프로펜 분말 형상의 변화는 SEM(Scanning Electronic Microscope)촬영을 통하여 관찰하였으며, 분말의 입자 크기와 분포는 입도 분석기(Particle Size Analysis)를 사용하여 극저온 볼 밀링 공정 전ㆍ후의 변화를 관찰하였다(중략)

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각 환경기온하에서의 성인남자 피부온에 관한 연구

  • 심부자
    • 대한인간공학회:학술대회논문집
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    • 대한인간공학회 1996년도 춘계학술대회논문집
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    • pp.250-251
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    • 1996
  • 인간의 온열환경에 대한 적응은 인간-의복-환경 System사이의 산열과 방열의 열교 환을 통해 보유량을 일정하게 유지하는 항체온 조절에 의해 이루어진다. 이러한 인체와 의 관계와의 열교환은 주로 피부표면을 통해 이루어지므로 피부온은 외계로의 방열을 예측 하여 인간의 체온조절반응을 나타내며, 온열감각을 좌우하는 인자로 의복의 온열생리, 의 복의 보온력, 쾌적성을 평가하는 중요한 생리적인 지표가 되어 착의의 적부를 검토하는 데 의미를 지니면서 의복설게의 기초가 된다. 이에 본 연구는 국내의 기후 및 변화된 온열환경에 적응된 인체의 각 환경기온하에서의 피부온을 기존의 연구와는 달리 장시간의 노출에 의한 변동을 파악하여 쾌적 착의의 관점에서 인체와 환경사이에 존재하는 의복에 있어서 설계의 기초가 되는 피부온의 의의를 재검토함을 목적으로 한다.

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누리온 시스템 상에서 거대 규모 딥러닝 수행 연구 (A Study on Running Large-Scale Deep Learning on Nurion System)

  • 명훈주
    • 한국정보처리학회:학술대회논문집
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    • 한국정보처리학회 2019년도 추계학술발표대회
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    • pp.115-117
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    • 2019
  • 누리온 시스템은 Intel Xeon Phi 아키텍쳐를 기반한 8305개의 노드로 구성되었고, 이론 성능 25.7페타플롭스를 갖춘 시스템으로 2018년도에 도입되었다. 누리온 시스템은 그동안 KISTI가 지속적으로 수행해 온 국내 계산과학자를 지원하는 한편, 빅데이터를 기반으로 하는 거대 규모의 딥러닝 등의 새로운 AI 분야에서도 슈퍼컴퓨팅을 활용할 수 있도록 전략적으로 지원하고 있다. 본 논문에서는 이러한 거대 규모 딥러닝을 수행하는데 있어 발생하는 주요 이슈들과 이러한 이슈들을 누리온 시스템에서는 어떻게 해결하고 있는지에 대해 소개한다.

스마트빌딩내 화재감시용 온도 센서 데이터 처리에 관한 연구 (A Study on Temperature Sensor Data Processing For Fire Alarm Database in Smart Building)

  • 심형석
    • 한국정보처리학회:학술대회논문집
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    • 한국정보처리학회 2009년도 춘계학술발표대회
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    • pp.585-588
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    • 2009
  • 건물내의 열을 온도 센서를 통해 모니터링함으로써 발생되는 온도 데이터의 양은 온도 센서의 정밀도가 향상되고 센서의 수가 증가함에 따라 기존의 화재감시시스템이나 공기조화냉동시스템에서 발생하는 것과는 비교할 수 없이 증가하게 된다. 이 과정에서 화재를 감시하기 위하여 유용한 데이터만을 처리해 데이터베이스화하고, 화재 예방에 활용하기 위해 온도 데이터의 효과적인 처리 방법을 연구함으로써 보다 작은 시스템의 구축으로도 안정적인 화재 감시 및 예방이 가능한 방안을 제시한다.

온게임네트워크 VS. MBC게임- 게임 방송 온게임네트워크 VS. MBC게임

  • 김문영
    • 디지털콘텐츠
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    • 12호통권139호
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    • pp.56-60
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    • 2004
  • 온게임네트워크와 MBC게임은 게임 강국 코리아가 게임을 또다른 어떤 형태로 산업화할 수 있는가를 보여준 업체들이다. 이들은 세계에도 유례가 없는 게임전문 채널 사업자로서 게임이 단순한 오락거리에 머무르지 않고‘e-스포츠’로 성장하는 계기와 동력을 제공했다. 이들이 있었기에 프로 게이머가 탄생했고 게임 리그가 하나의 산업으로 성장할 수 있었다. 게임 전문 케이블 채널의 두 주자, 온게임네트워크와 MBC게임을 살펴봤다.

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산업 - 수리온, 초도비행 통해 개발성공 자신!

  • 한국항공우주산업진흥협회
    • 항공우주
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    • 통권107호
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    • pp.32-33
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    • 2010
  • 한국형기동헬기(Korean Utility Helicopter) 수리온이 비행 모습을 일반에 최초 공개했다. 뿐만 아니라 시험 개발기라는 사실이 무색할 정도로 뛰어난 비행성능을 과시했다. 지난 6월 22일, 경남 사천에 위치한 한국항공우주산업(주)에서 진행된 '수리온 초도비행성공 기념행사'를 통해 현재까지의 수리온 개발 경과와 향후 발전방향을 전망해 본다.

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V+동아리 (주)유비온 레저동아리 'COT' - 생활속 작은 일탈을 꿈꾼다 (주)유비온 레저동아리 'COT'

  • 김은미
    • 벤처다이제스트
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    • 제2호통권127호
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    • pp.28-29
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    • 2009
  • 매일 아침 정해진 시간에 출근해 일하고, 퇴근하는 따분한 일상. 일상의 대부분을 회사생활속에서 스트레스의 해소는 물론, 직원 간의 끈끈한 정이 있는 작은 일탈은 약이 된다. 평생교육 및 성인자격증 콘텐츠를 인터넷 등을 통해 서비스하는 이러닝 산업의 선두주자, (주)유비온의 레저동아리 'COT'는 일탈을 꿈꾸는 유비온들의 휴식공간이 되어주는 사내동호회다.

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