미세 기계가공법과 SAM을 이용한 폭 $1{\mu}m$ 이하의 실리콘 선 가공
(Micro-mechanical machining and SAM coating for sub-micro line patterning on silicon)
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- 한국정밀공학회:학술대회논문집
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- 한국정밀공학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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- pp.157-158
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- 2007