• 제목/요약/키워드: 옆벽

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전자기파 산란을 이용한 Submicron 광학 MASK의 특성 및 최적화 (The characteristics and optimization of submicron optical mask using electromagnetic scattering effect)

  • 최준규;박정보;김유석;이성묵
    • 한국광학회지
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    • 제8권4호
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    • pp.345-352
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    • 1997
  • 최신(4GDRAM)의 MASK design에서는 전자기파의 산란에 의한 효과를 고려해 주는 것이 매우 중요하다. 이를 위하여 시간 영역에서의 요한 차분법을 도입하여 직접 마스크 함수를 계산하였다. 새롭게 도입한 마스크 함수를 사용함으로써 마스크와 렌즈의 효과뿐만 아니라, submicron 노광용 위상 변이 마스크의 식각된 옆벽에서의 산란효과를 정확하게 설명할 수 있었다. 산란효과를 줄이기 위해 변형된 마스크의 형태에 따른 특성을 살펴보았고, dual etch back에 의한 마스크 변형이 가장 좋은 공정 여유도를 제공함을 확인하였다.

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PIV에 의한 흡입수조내 흡입관 주위의 유동특성에 관한 연구 (A Study on the Flow Characteristics around Intakes within a Sump by PIV)

  • 최종웅;김정환;김경엽;김유택;이영호
    • 한국유체기계학회 논문집
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    • 제5권3호
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    • pp.33-39
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    • 2002
  • The head-capacity corves for pumps developed by the pump manufacturer are based on tests of a single pump operating in a semi-infinite pool with no nearby walls or floors and with no stray currents. Hence, flow into the pump suction is symmetrical with no vortices or swirling. Pump station designers rely on these curves to define the operating conditions for the pump selected. However, various constraints such as size, cost, and limitations on storage time require walls, floors, and pump intakes to be close proximity to each other. From this background, the authors are carrying out a systematic study on the flow characteristics of intakes within a sump found in pump stations. Model pump intake basin is designed and PIV is adopted as a measuring tool to capture the instantaneous flow patterns. Special attention is paid to investigate the flow patterns near the free surface, side-wall, and back-wall due to different clearances from back-wall to vortical intake pipe. Moreover, the locations and patterns of the various types of vortices that were found in the examinations are discussed.

펌프장의 흡입수조내 흡입관의 유동특성에 관한 PIV 측정 (A PIV Measurement on Flow Characteristics of Intakes within a Sump in a Pump Station)

  • 이영호;김유택;김정환;최종웅
    • 유체기계공업학회:학술대회논문집
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    • 유체기계공업학회 2001년도 유체기계 연구개발 발표회 논문집
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    • pp.209-215
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    • 2001
  • The head-capacity curves for pumps developed by the pump manufacturer are based on tests of a single pump operating in a semi-infinite pool with no nearby walls or floors and no stray currents, Hence, flow into the Pump suction is symmetrical with no vortices or swirling. Pump station designers rely on these curves to define the operating conditions for the pump selected. But various constraints such as size, cost, and limitations on storage time require walls, floors, and pump intakes to be close proximity to each other. From this background, the authors are carrying out a systematic study on the flow characteristics of intakes within a sump found in pump stations. Model pump intake basin is designed and PIV is adopted as a measuring tool to capture the instantaneous flow patterns. Special attention is paid to investigate the flow patterns near the free surface, side-wall and back-wall due to different clearances from back-wall to vertical in take pipe. Moreover, the locations and vorticities of the various types of vortices that were found in the examinations are discussed.

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PIV에 의한 흡입수조내 흡입관 주위의 유동특성에 관한 연구 (Study on Flow Characteristics around Intakes within a Sump by PIV)

  • 최종웅;김정환;남청도;김유택;이영호
    • 대한기계학회:학술대회논문집
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    • 대한기계학회 2001년도 추계학술대회논문집B
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    • pp.563-569
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    • 2001
  • The head-capacity curves for pumps developed by the pump manufacturer are based on tests of a single pump operating in a semi-infinite pool with no nearby walls or floors and no stray currents, Hence, flow into the pump suction is symmetrical with no vortices or swirling. Pump station designers rely on these curves to define the operating conditions for the pump selected. But various constraints such as size, cost, and limitations on storage time require walls, floors, and pump intakes to be close proximity to each other. From this background, the authors are carrying out a systematic study on the flow characteristics of intakes within a sump found in pump stations. Model pump intake basin is designed and PIV is adopted as a measuring tool to capture the instantaneous flow patterns. Special attention is paid to investigate the flow patterns near the free surface, side-wall and back-wall due to different clearances from back-wall to vertical in take pipe. Moreover, the locations and vorticities of the various types of vortices that were found in the examinations are discussed.

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극저온 저장용기의 내부압력 거동에 대한 비정상해석 (Transient Analysis of Pressure Behavior of Cryogenics in Closed Vessel)

  • 강권호;김길정;박영무
    • 에너지공학
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    • 제5권1호
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    • pp.19-27
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    • 1996
  • 극저온 물질의 저장용기가 외부로부터 일정한 열유속을 받을 때 저장용기내의 압력상승을 해석하였다. 저장용기는 원통형 축대칭이고 윗벽과 아래벽은 단열되었으며 열유속은 옆벽에서 받는다. 유한차분법을 이용하여 저장용기내의 자연대류현상을 해석하였으며, 대상물질로는 산소, 수소 및 질소를 대상으로 하였다. 액체는 비압축성 유체, 기체는 virial 상태방정식을 만족하는 것으로 가정하였다. 기체의 2차 virial 계수는 Lennard-Jones 모형으로부터 구했다. 저장용기내의 압력상승에 미치는 주요한 인자는 외부열유속과 저장용기벽의 열용량 그리고 기체의 초기 부피비였으며, 이들중 가장 중요한 변수는 외부열유속이었다. 산소에 대해 기체를 이상기체를 가정했을 때와 virial 상태방정식을 만족하는 기체로 가정했을 때의 압력차이를 비교했다.

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직각 광정 위어를 지나는 천수 흐름 모의에서 흐름률 보정 계수 (Flux correction coefficient in numerical simulation of shallow-water flow over square-edged broad-crested weir)

  • 황승용
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
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    • 한국수자원학회 2023년도 학술발표회
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    • pp.503-503
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    • 2023
  • Hwang(2022; J.KWRA, 55, 10)은 수심 적분 모형으로 불연속 지형을 경사로 완화하지 않고 직접 해석하는 Hwang(2015; J.KSCE, 35, 6)의 기법이 적용된 수치 모형의 정확도를 높이기 위해 지형 전면에 실제로 작용하는 정수압 분포와 차이를 해명하는 흐름률 보정 계수(flux correction coefficient)를 도입하였다. 직각 광정 위어 실험 중에서 널리 알려진 다섯 가지 월류 실험으로부터 218회의 시행을 추려 실험과 모의에서 월류량 값이 서로 잘 일치하는 흐름률 보정 계수를 각각 산정하였는데, 이때 광정 위어를 지나는 흐름을 모의하기 위해 계산 영역을 평면 2차원으로 두고 삼각형 계산 격자로 분할하였다(Hwang, 2022). 실험에 사용된 실험 수로들이 수로의 길이 방향으로 그 폭이 일정하므로 옆벽의 영향이 크지 않다면 수로의 단위 폭에 모형을 적용함으로써 계산 영역의 차원을 한 수준 낮출 수 있다. 실질적으로 1차원 모의가 되어 모의 시간을 획기적으로 줄일 수 있으므로 다양한 분석이 가능하겠으나, 2차원 모의로부터 결정된 흐름률 보정 계수를 수정없이 그대로 적용하는 것이 적절한지 검토할 필요가 있다. 이 연구에서는 Hwang(2022)이 검토한 218회의 직각 광정 위어 실험 시행에 수로의 단위 폭에 불연속 지형을 직접 해석할 수 있는 Hwang(2015)의 1차원 모형을 적용하고 모의와 실험에서 월류량의 차이가 최소가 되는 흐름률 보정 계수를 각각 산정하였다. 결정된 흐름률 보정 계수의 평균값을 별도로 선정된 두 가지 직각 광정 위어 실험에 적용하였으며, 보정에 따른 모형의 성능을 평가하기 위해 Willmott의 일치 지표(index of agreement)를 이용하였다. 흐름률 보정 계수를 적용하였을 때, 한 실험 경우에 대해 모형의 성능이 대폭 개선됨을 확인하였고 성능 개선이 미미한 나머지 실험 경우는 보정 전에 일치 지표가 이미 상당히 높은 편이었다. 2차원 문제에 이어 1차원 모형의 적용에서도 흐름률 보정 계수를 결정함으로써 계단이나 직립 보와 같은 불연속 지형을 넘나드는 천수 흐름의 월류량을 더 쉽고 정확하게 파악할 수 있을 것으로 기대된다.

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