• 제목/요약/키워드: 영역 성장

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$SiN_x$ 덮개층의 성장조건이 InGaAs/InGaAsP 양자우물 무질서화에 미치는 영향

  • 최원준;이희택;우덕하;김선호;김광남;조재원
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.92-92
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    • 1999
  • 양자우물 무질서화 기술은 양자우물구조의 성장후 그 구조의 밴드갭을 국부적으로 변화시킬 수 있는 기술적 특성으로 인해 기존의 광기능 소자 제작을 위한 결정재성장방법을 대체 혹은 보완할 수 있는 장점이 있기 때문에 최근 활발히 연구되고 있다. 여러 가지 양자우물 무질서화공정중 유전체 박막을 사용하는 impurity free vacancy disordering (IFVD) 공정은 불순물이 개입하지 않는 공정으로 공정후 양질의 반도체 표면을 유지할 수 있는 장점이 있으며 고아소자 제작시 광손실의 증가를 초래하지 않는다. 이 공정은 vacancy의 source로 작용하는 유전체박막의 특성에 크게 의존하며 GaAs/AlGaAs 계열의 양자우물에서는 많은 연구가 진행되었으나, 광통신용 광소자의 제작에 사용되는 InGaAs/InGaAsP 계열의 양자우물에 대한 연구는 충분하지 않다. 그림 1은 IFVD를 위해 본 연구에서 사용된 CBE로 성장한 InGaAs/InGaAsP SQW 구조이다. 성장된 구조는 상온에서의 QW peak, λpl=1550nm 이었다. IFVD를 위한 유전체 덮개층으로는 PECVD로 성장 조정하여 박막성장시의 조건을 변화시킴으로써 유전체 덮개층 박막의 특성을 변화시켰다. 그림 2는 질소 분위기의 furnace에서 75$0^{\circ}C$로 8분간 IFVD를 수행한후 측정한 무질서화된 양자우물의 상온 PL spectrum을 보여준다. 그림에서 보는바와 같이 동일한 SiNx 덮개층을 사용하는 경우에도 적어도 24meV의 bandgap차를 갖는 양자우물을 영역을 동일한 기판상에 제작할 수 있음을 알 수 있다. 일반적으로 IFVD 방법으로 국부적으로 양자우물을 무질서화 하기 위해서는 SiNx/SiO2와 같은 강이한 박막을 사용하였지만 이 방법을 사용하는 경우 상이한 박막을 사용하는 데서 야기되는 제반 문제를 해결할 수 있을 것으로 판단된다. 따라서 이 기술은 기존의 광소자 제작을 위한 IFVD 방법의 문제점을 해결할 뿐만 아니라 결정 재성장 없이 도일한 기판상에 국부적으로 상이한 bandgap 영역을 만들 수 있기 때문에 광소자 제작에 적극 이용될 수 있다.

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탐만법에 의한 $CaF_2$ 단결정 육성 (The Growth of $CaF_2$ Single Crystal by Tammann Method)

  • 장영남;채수천;문희수
    • 한국결정학회지
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    • 제10권1호
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    • pp.20-27
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    • 1999
  • CaF2 단결정을 흑연도가니를 사용하여 He 분위기 하에서 탄만법으로 성장시켰다. 수화방지를 위해 PbF2를 출발물질에 도포하였다. 열구배에 따른 계면의 움직임인 성장속도는 배플판에 의해 성공적으로 조절되었다. 결정성장의 최적조건은 온도구배가 37℃/cm, 냉각속도가 10℃/hr 및 2.5tw% PbF2를 사용한 경우로, 성장속도는 약 3.2 mm/hr이었으며, 위로 볼록한 고액계면을 갖는 단결정이 성장되었다. IR분석 결과, 1500∼4000 cm-1(6.7∼2.5 ㎛)영역에서 약 96%의 투과도를 보였다. 결함밀도를 측정하기 위해, 성장축에 수직 및 수평으로 절단한 면을 농축 H2SO4에서 약 30분간 에칭하여 간섭현미경으로 관찰한 결과, 각각 3.4×104/cm2였다. 이러한 결과는 수화에 따른 성장된 단결정의 투명도의 경향과 일치하였다. 결정에 대한 XRD분석 결과 우선성장 방향은 <311>이었다.

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증착조건 변화에 따른 화학증착 알루미나 휘스커의 성장 및 특성변화

  • 김준규;김효준;최두진
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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    • pp.66-66
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    • 2010
  • 알루미나는 높은 온도에서 열적으로 안정되고 경도가 높으며 내화학, 내마모 특성이 우수하며 또한 강도대비 비중이 낮아 무게를 줄일 수 있다는 장점을 가지고 있다. 이러한 특성으로 인하여 우주항공, 국방, 원자력등 극한의 온도를 견뎌야 하는 고도의 신뢰성이 요구되는 고온구 조물로서 응용이 되고 있다. 특히 알루미나를 휘스커 형태로 만들어 세라믹 복합체에 결합 할 경우 복합체의 기지 내에서 강화재의 역할을 함으로써 취성 파괴를 억제하고 열 전도율 저하등의 이점을 가져올 수 있다. 그리하여 본 연구에서는 알루미나 휘스커를 성장을 위하여 Al-triisoproxide계를 이용하여 화학기상증착법으로 가장 안정된 열적 특성을 가지고 온도의 변화에 따라 상 변화가 일어 나지 않는 알파 알루미나 상을 가지는 알루미나 휘스커를 성장시키기 위한 연구를 하였다. 또한 증착 온도, 압력, 입력기체비등 증착 조건을 변화시켜가면서 알파 알루미나 휘스커의 성장 거동을 살펴 보았다. 증착 조건 변화에 따라 알파 알루미나는 막이 증착되는 부분과 휘스커가 성장되는 부분이 있으며 휘스커의 밀집도와 길이방향, 직경방향 성장등 여러 가지 성장 특성을 달리하였다. 이러한 결과를 바탕으로 증착조건에 따른 알파 알루미나 휘스커 성장영역을 도식화하였다.

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Effect of DC bias on structure of hydrogenated amorphous silicon and microcrystalline silicon

  • 이윤정;주성재;임승현;윤의준
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2000년도 제18회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.84-84
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    • 2000
  • 수소화된 비정질 실리콘(a-Si:H)과 미세결정질 실리콘 ($\mu$c-Si:H)은 저온.건식 공정인 PECVD로 값싼 유리 기판을 사용하여 넓은 면적에 증착이 가능하다는 큰 장점으로 인해 광전소자(photovoltaic device)와 박막 트랜지스터(TFTs)등에 폭넓게 응용되어 왔으며 최근에는 nm 크기의 실리콘 결정(nc-Si)에서 가시광선 영역의 발광 현상이 발견됨에 따라 광소자로서의 특성을 제어하기 위해서는 성장 조건과 공정 변수에 따른 구조 변화에 대한 연구가 선행되어야 한다. 본 연구에서는 UHV-ECR-PECVD 법을 이용하여 H2로 희석된 SiH4로부터 a-Si:H과 $\mu$c-Si:H를 증착하였다. 그림 1은 SiH4 20sccm/H2 50sccm/25$0^{\circ}C$에서 기판의 DC bias를 변화시키면서 박막을 증착시킬 때 나타나는 박막의 구조 변화를 raman spectrum의 To phonon peak의 위치와 반가폭의 변화로 나타낸 것이다. 비정질 실리콘 박막은 DC bias를 증가시킴에 따라 무질서도가 증가하다가 어떤 critical DC bias에서 최대치를 이룬후 다시 질서도가 증가한다. 이온의 충격력에 의해 박막내에 응력이 축적되면 박막의 에너지 상태가 높아지고 이 축적된 응력이 ordering에 대한 에너지 장벽을 넘을 수 있을 만큼 커지게 되면 응력이 풀리면서 ordering이 가능해지는 것으로 생각된다. 그림 2는 수소 결합 형태의 변화이다. 박막의 무질서도가 증가할 경우 알려진 바와 같이 2000cm-1근처의 peak은 감소하고 2100cm-1 부근이 peak이 증가하는 현상을 보였다. 본 논문에서는 여러 공정 변수, 특히 DC bias에 따르는 박막의 구조 변화와 다른 성장 조건(온도, 유량비)이 critical DC bias나 결정화, 결정성 등에 미치는 영향에 대한 분석결과를 보고하고자 한다.등을 이용하여 광학적 밴드갭, 광흡수 계수, Tauc Plot, 그리고 파장대별 빛의 투과도의 변화를 분석하였으며 각 변수가 변화함에 따라 광학적 밴드갭의 변화를 정량적으로 조사함으로써 분자결합상태와 밴드갭과 광 흡수 계수간의상관관계를 규명하였고, 각 변수에 따른 표면의 조도를 확인하였다. 비정질 Si1-xCx 박막을 증착하여 특성을 분석한 결과 성장된 박막의 성장률은 Carbonfid의 증가에 따라 다른 성장특성을 보였고, Silcne(SiH4) 가스량의 감소와 함께 박막의 성장률이 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 줄어들어 성장률이 Silane가스량에 의해 지배됨을 볼 수 있다. UV-VIS spectrophotometer에 의한 비정질 SiC 박막의 투과도와 파장과의 관계에 있어 유리를 기판으로 사용했으므로 유리의투과도를 감안했으며, 유리에 대한 상대적인 비율 관계로 투과도를 나타냈었다. 또한 비저질 SiC 박막의 흡수계수는 Ellipsometry에 의해 측정된 Δ과 Ψ값을 이용하여 시뮬레이션한 결과로 비정질 SiC 박막의 두께를 이용하여 구하였다. 또한 Tauc Plot을 통해 박막의 optical band gap을 2.6~3.7eV로 조절할 수 있었다. 20$0^{\circ}C$이상으로 증가시켜도 광투과율은 큰 변화를 나타내지 않았다.부터 전분-지질복합제의 형성 촉진이 시사되었다.이것으로 인하여 호화억제에 의한 노화 방지효과가 기대되었지만 실제로 빵의 노화는 현저히 진행되었다. 이것은 quinua 대체량 증가에 따른 반죽의 안정성이 저하되어 버린 것으로 생각되어진다. 더욱이 lipase를 첨가하면 반죽이 분화하는 경향이 보여졌지만 첨가량 75ppm에 있어서 상당히 비용적의 증대가 보였다. 이것은 lipase의 가수분해에 의해

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고정초점렌즈에서 가격 격차 줄이며 varifocal 렌즈 쪽으로 시장성장 - Security lens 시장 동향

  • 정진명
    • 광학세계
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    • 제15권2호통권84호
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    • pp.25-28
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    • 2003
  • 보안산업은 국내 총 시장규모가 2002년에 약 2,400억 정도로 매년 10$\%$이상 성장하고 있으며 제품 경향도 점차 핵심소자인 CCD 및 CMOS소자의 소형화와 고해상도의 개발에 따라 종래 IT TYPE의 CCD에서 PS TYPE 및 CMOS TYPE으로 변화하며 디지털 및 인터넷의 확대에 따른 그 영역이 변화하고 있다. 현재 많은 국내 업체들이 보드(Board) 렌즈 및 가변초점(varifocal) 렌즈를 주 아이템으로 생산하

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결합에너지의 층별 의존성이 고려된 다층흡착에서의 헨리법칙 거동 (Henry성s law behavior on multilayer adsorption considered layer location dependence of the bonding energy)

  • 김철호
    • 한국결정성장학회지
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    • 제8권1호
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    • pp.106-110
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    • 1998
  • 본 논문에서는 먼저 다층흡착에서 각 흡착층의 결합에너지가 서로 다른 경우의 흡착 등온선을 유도한다. 그리고 유도된 흡착등온식이 저압영역에서 헨리의 실험법칙을 잘 만족시킴을 보인다.

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프린팅 월드 - 비즈니스 기회의 성장 연포장 인쇄!

  • 조갑준
    • 프린팅코리아
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    • 제13권2호
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    • pp.120-121
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    • 2014
  • 지난 10년 동안 디지털 인쇄는 많은 업체가 디지털 인쇄 시스템을 통해 높은 이익과 부가가치를 실현함으로써 틈새시장이라는 딱지를 떼고, 신성장 동력이라는 찬사를 받기에 이르기까지 성장했다. 특히 최근에는 연포장 분야에서의 가능성이 크게 주목받기 시작했는데, 디지털 기술의 확산은 각각의 사업 영역을 하나의 시스템으로 융합하는 결과를 도출하기에 이르렀다.

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업체탐방 - 계사 시설 자동화 선두기업 - 범진시스템 -

  • 김수영
    • 월간양계
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    • 제41권8호
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    • pp.104-107
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    • 2009
  • 자동난상, 슬랫, 환기시설, 종계급이기 등을 주력으로 수입 및 제조하는 범진시스템(대표 김흥순)은 1990년에 육계급이기를 판매하는'범진축산기계'라는 작은 회사로 출발했다. 이후 김흥순 대표의 남다른 뚝심과 사업수완으로 지속적인 성장을 거듭해 사업영역을 늘려나갔고, 이제는 20여명의 직원들이 닭 사육 시스템의 발전을 갈구하며 함께 호흡하는 업체로 성장했으며, 최근에는 상호도 '범진시스템'으로 변경하면서 더 큰 도약을 준비하고 있다.

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생의 마지막 단계.삶의 완결.완화간호 모델 (The Last Phase of Life.Life Completion.Palliative Care Model)

  • 김달숙
    • Journal of Hospice and Palliative Care
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    • 제12권3호
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    • pp.115-121
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    • 2009
  • 근래의 호스피스 완화 서비스에 대한 국가의 관심과 지원 정책은 매우 고무적이다. 그럼에도 불구하고 호스피스 완화 의료의 정착과 발전이라는 명목을 가지고 우리는 호스피스 완화간호와 관련된 우리 주위의 현실에 비판과 반영의 눈으로 돌아볼 필요가 있다. 본 연구는 호스피스 철학에 부합되는 완화 간호 모델을 찾아내어 생의 마지막 단계에 있는 사람과 가족의 완화 간호에 적합한 모델인가를 심사하는 것은 목적으로 하였다. 소개되고 심사된 모델은 Eagan, Labyak의 호스피스 경험 모델과 Byock의 삶의 완결(life completion)을 위한 성장 모델이었다. 호스피스 경험 모델은 생의 마지막 단계에 있는 환자와 가족의 경험과 가치관에 근거한 임종 간호 모델로서 개개인의 경험의 독특성을 인정하며 환자 가족 개개인의 다 영역의 역동성과 상호작용적 관련성과 다 영역적 특성을 가진 개개인의 상호 관계성을 인정한다. 또한, 생의 마지막 단계에서도 다 영역적 상호 관계성은 긍정적인 성장과 발달을 만들 수 있음을 인정한다. 이 모델은 생의 마지막 단계에 있는 개인과 가족의 개개인 요구에 부합된 삶의 질 개선, 고통 제거, 삶의 완결, 좋은 죽음을 이끄는 완화 간호를 이끌 수 있다고 평가되었다. Byock의 성장 모델은 임종의 시기를 마지막 삶의 발달 단계로 보았다. 이 모델은 생의 마지막 단계에 있는 개인과 가족을 삶의 완결의 과정을 경험할 수 있는 존재로 보았다. 모델은 세속적인 일/사회적인 일/개인적인 관계들/개인 내재적인 영역/초월적 영역들의 세부 항목으로 이루어진 이정표와 발달 과업을 포함한다. 이 모델에서는 전문 의료인이 이정표 및 과업을 이용하여 성장의 주체의 변화를 얼마나 잘 파악하여 내고 도와주는 가가 환자 및 가족의 성장의 열쇠가 되며 한 인간이 인간 실존 안에서 삶을 마칠 수 있게 만드는 결과를 낼 수 있다.그 결과 개인은 평화와 안녕 속에서 삶을 마감할 수 있다. 이 두 모델은 호스피스 철학에 부합되는 완화 간호의 모델로 고려되었다.

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성장시 zinc nitrate의 농도에 따른 ZnO 나노구조체의 미세구조와 광학적 성질

  • 양희연;박경훈;이대욱;김태환
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.187-187
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    • 2010
  • ZnO의 나노 구조는 화학적으로 안정하고 큰 결합에너지를 가지는 성질 때문에 청색 영역에서 작동하는 광전소자의 제작에 대단히 유용하다. ZnO 나노 구조들은 화학 기상 성장법, 기상 에피텍시 성장법, 화학적 용액 성장법과 같은 여러 가지 방법으로 성장하고 있다. 여러 가지 성장방법 중에서도 전기 화학 증착법으로 성장된 ZnO의 나노 구조는 가격이 저렴하고 낮은 온도에서 성장이 가능하며 대면적화를 할 수 있는 장점이 있다. 전기 화학 증착법으로 ZnO을 성장할 때 3개의 전극을 사용하여 성장하였다. ITO 기판을 음극으로 백금 전극을 양극으로 사용하였고 기준 전극은 Ag/AgCl을 사용하였다. Zinc Nitrate의 몰 농도를 변화하면서 ZnO 나노구조를 성장 하였다. 성장한 ZnO 나노구조를 $400^{\circ}C$에서 2 분정도 열처리를 하였다. 성장된 ZnO을 X-선회절장치를 분석하게 되면 (0002) 피크가 $34.35^{\circ}$에서 주되게 나타났다. 주사 전자 현미경상은 Zinc Nitrate의 몰 농도가 낮을 때 성장한 ZnO 는 나노세선 형태로 형성되었음을 보여주었다. Zinc Nitrate의 농도가 높아지게 되면 ZnO 나노구조가 나노 막대 또는 나노 접시 모양으로 변화되었다. 300 K에서 광루미네선스 스펙트럼은 형성된 나노구조가 엑시톤과 관련된 주된 피크가 Zinc Nitrate 농도에 따라 변화하게 되는 것을 알 수 있었다. 이 실험결과는 ZnO 나노구조의 미세구조와 광학적 성질이 Zinc Nitrate의 농도에 영향을 많이 받는 것을 알 수 있었다.

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