반도체 소자의 고집적화 및 고속화에 따라 다층 금속배선에서의 RC 지연이 전체 지연의 주된 요소로 되고 있다. 이런 RC 진연을 줄이기 위해서 현재 다층 금속배선의 층간 절연막으로 사용하고 있는 SiO2 박막(k~3.9)을 보다 낮은 유전상수(low-k)를 가지는 물질로 대체할 것이 요구된다. 층간 절연막으로서 가져야 할 가장 중요한 것은 낮은 유전상수와 높은 열적안정성($\geq$45$0^{\circ}C$)이다. 본 연구에서는 Toluene을 precursor로 사용한 PECVD방법으로 low-k 유사중합체 유기박막을 성장시켰으며 부동한 온도에서 성장된 박막의 특성을 비교하여 증착온도가 박막의 특성에 미치는 영향에 대하여 조사하였다. 유사중합체 유기박막은 platinum(Pt)기판과 silicon 기판위에 같이 증착되었다. Precursor는 4$0^{\circ}C$로 유지된 bubbler에 담겨지고 증발된 precursor molecules는 Argon(Ar:99.999%) carrier 가스에 의해 process reactor 내부로 유입된다. Plasma는 RF(13.56MHz generator로 연결된 susceptor 주위에 발생시켰다. Silicon 기판위에 증착한 시편으로 Fourier transform infrared (FTIR) spectra 및 열적 안정성을 측정하였고, Pt 기판위에 증착한 시편으로 Al/유기박막/Pt 구조의 capacitor를 만들어 열적안정성을 측정하였고, Pt 기판위에 증착한 시편으로는 Al/유기박막/Pt 구조의 capacitor를 만들어 K값 및 절연성을 측정하였다. Capacitance는 1MHz 주파수에서 측정하였다. 열적안정성은 30분동안 Ar 분위기에서 annealing하기 전후의 증착막의 두께의 변화를 측정함으로써 조사하였으며 유기박막의 두께는 surface profilometer로 측정하였다. 증착온도가 45$^{\circ}C$에서 15$0^{\circ}C$, 25$0^{\circ}C$로 높아짐에 따라 k값은 높아졌지만 대신 열적안정성은 좋아졌다. plasma power 30W인 경우 45$^{\circ}C$에서 증착했을 때 유전상수는 2.80으로 낮았지만 40$0^{\circ}C$에서 30분 동안 열처리한 후 두께가 49% 감소하였다. 그러나 25$0^{\circ}C$에서 증착했을 때 유전상수는 3.10으로 좀 높아졌지만 열적으로는 40$0^{\circ}C$까지 안정하였으며 45$0^{\circ}C$에서도 두께의 감소는 8%에 불과했다.
본 논문에서는 Membrane형 LNG선의 구성 요소를 대상으로 단열창의 열적 분포를 알아보기 위해 극저온 상태에서부터 온도 별로 각 소재의 열적 물성치인 열전도도(thermal conductivity)를 실험을 통해서 알아보았다. 극저온 상태인 $-163^{\circ}C$의 온도상태로 유지되어야 하는 LNG선 화물탱크는 단열재료로 하여금 열을 차단하기 위해 많은 연구가 되어야 하는데 특히 여러 재료로 구성되어 있는 단열 화물창(CCS: Cargo containment system)은 열적 물성치가 온도에 따라 각각 어떠한 값을 가지는 것이 주요 관심대상이고, 이를 통해 전체 LNG 단열 화물창이 어떤 열적 분포를 가지는 것에 대한 연구가 필요하다. 실험을 통해 얻은 물성치를 가지고 전체 화물창의 온도분포를 정적 열해석을 통해 알아보았다. 또한 외부의 충격에 의해 LNG가 누수되었을때 2차 방벽 특히 hull 부분에서는 누수량에 대해서 어떠한 온도분포와 열적 안전성에 대해서 알아보았다.
HCCI 엔진연소에서 열적성층화 효과는 노킹을 회피하는 수단으로서 생각되고 있다. 본 연구에서는 DME 와 n-Butane 을 연료로 하는 HCCI 엔진연소의 열적성층화 효과를 조사하였다. 예혼합기가 연소실내부에 투입되고 부력의 효과를 이용하여 연소실 내부에 열적성층화를 형성한다. 그 뒤에 피스톤의 압축에 의해서 단열압축 시킨 후 연소실압력과 2 차원화학발광법을 계측하여 해석하였다. 열적성층화가 존재하는 경우에는, 저온산화반응과 고온산화반응의 시작시기가 균질한 경우에 비해서 진각되었고 연소기간은 길어졌다. 발광의 시작은 온도가 높은 곳에서부터 시작하여 온도가 낮은 곳으로 전파 되는 것을 확인하였고 발광기간도 길어짐을 확인하였다.
울릉분지의 VI-1에서 최근에 상업적인 가스전이 발견되어 생산하기 시작하였다. 이와 같은 상업적 가스전을 발견할 때까지 많은 시추 탐사가 이루어졌으며, 많은 탐사 자료가 축적되었다 이들 탐사자료를 이용하여 VI-1 광구 내의 석유 시스템 규명에 필요한 유기물의 열적 성숙 특성을 연구하였다. 광구 내에서 유기물의 열적 성숙은 지역에 따라 다르게 나타난다. 돌고래 5 구조에서 석유 생성대의 심도가 가장 얕으며, 이를 중심으로 하여 북쪽과 서쪽으로 가면서 석유 생성대 상한에 도달하는 심도가 깊어진다. VI-1광구의 변형대 2 지역에서는 구조 운동 이전에 현재의 열적 성숙도에 도달한 반면 다른 지역에서는 구조운동 이후에도 열적 성숙이 진행되었을 가능성을 보여준다.
본 연구에서는 전산유체역학 코드인 FLUENT를 이용한 열전달 해석을 통해 대규모 열에너지 저장을 위한 다중 암반공동의 이격거리별 열적 성능을 분석하였다. 저장공동 내부의 열성층화와 공동 외부로의 열손실 측면에서 열적 성능을 평가하였으며, 이격거리별로 시간경과에 따른 공동 주변 암반의 히팅 특성을 조사하였다. 분석결과, 주변 암반이 히팅되지 않은 초기 운영단계와 암반이 열적 정상상태에 도달한 장기 운영단계에서는 다중 암반공동의 이격거리에 따른 열적 성능의 차이가 거의 없는 것으로 검토되었다. 그러나 공동간 이격거리가 감소함에 따라 공동 사이의 암반이 열적 정상상태에 더 빠르게 도달하고, 이에 따라 저장공동 외부로의 열손실이 주변 암반의 열적 정상상태 조건에서의 열손실 값으로 빠르게 수렴하는 경향을 보였다. 이러한 결과는 다중 암반공동의 이격거리를 줄임으로써 주변 암반의 히팅에 소요되는 운영비용을 줄일 수 있음을 나타내며, 이로부터 다중 열저장 공동의 이격거리 결정시 공동의 건설비용과 함께 암반히팅에 대한 운영비용을 고려해야 함을 알 수 있었다.
유리의 제조공정에 있어서 열적 문제들을 고찰하여 보았다. 비단 유리뿐 아니라, 여러 가지 다른 재료의 공정 (예컨대 철강, 세라믹 등)에 있어서도 다양한 열적 문제가 관찰되며, 이러한 점에서 열공학자들의 관심의 확대가 절실하다고 하겠다. 이 글이 우리 열공학자들의 시야를 넓히는 데 일조를 하였기를 바라마지 않는다.
본 연구는 거실조명환경을 시계열적으로 분석하기 위하여 1985년, 1991년, 1996년의 조사결과를 고찰한 것이다. 그 결과, 평균조도가 증가되기는 하였으나 아직도 충분한 밝기를 확보하지 못하고 있음이 밝혀졌다. 그리고 조명환경이 향상되었음에도 불구하고 거주자의 의식 및 평가는 그리 높지 않았다.
우리나라에서 발생한 화재 중 전기재해는 균일한 사고분포를 나타내고 있다. 따라서 도체로 가장 많이 사용되고 있는 동전선에 열적 스트레스를 인가했을 때 특성변화를 이용하여 그 변화를 분석하고, 사고현장에서의 나전선의 특성을 알아보고 사고원인을 알아봄으로써 전기재해 예빵에 보다 주의를 기울이는 데 도움이 되고자 한다.
본 논문은 누전에 관한 것으로 누설전류에 의한 열적 상관관계를 도출하는데 그 목적을 두고 있다. 누전 모델은 개방 및 밀폐상태(분전반 내부)로 구분하고, 누전개소에 목 분진과 빗물, 목탄을 첨가하여 누전전류에 대한 열적 상관관계를 특성을 분석하였다. 개방상태의 90mA에서 목 분진과 빗물은 $88.8^{\circ}C$, 목탄의 경우는 $105^{\circ}C$로 목탄시료가 목분진과 빗물보다 높은 열적 특성이 나타났다. 또한 목탄에 누설전류 110mA를 흘렸을 때 $238.6^{\circ}C$로 주위의 전기설비(전기배선, 분전반)의 재질의 변형을 초래할 수 있다. 밀페된 상태에서는 같은 90mA에서 목 분진과 빗물에서는 $90.8^{\circ}C$, 목탄의 경우 $250.6^{\circ}C$로 목분진과 빗물의 경우는 비슷한 양상을 보이나, 목탄의 경우는 2배 이상의 높은 열적 특성을 보였다. 개방 및 밀폐상태에서 시료에 따른 열적특성 데이터는 전기화재 조사나 누전전류에 대한 열적 기초 자료로 활용 가능하다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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