반도체 식각 공정용 초저온 냉각 시스템 설계를 위한 비가연성 혼합냉매 응축 및 비등 열전달 계수 측정 (Measurement of Condensation and Boiling Heat Transfer Coefficients of Non-flammable Mixed Refrigerant for Design of Cryogenic Cooling System for Semiconductor Etching Process)
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- 반도체디스플레이기술학회지
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- 제22권3호
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- pp.119-124
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- 2023