• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국정보통신학회 2013년도 추계학술대회
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• pp.911-913
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• 2013

본 논문에서는 선박의 외벽 청소용으로 사용되는 연마장비에 사이클론 집진방식을 채용한 연마장비를 개발을 위한 최적화된 설계를 위한 기본적인 메카니즘과 설계를 소개하고자 한다. 사이클론 방식은 공기의 유입 및 유출 속도 및 압력에 따른 미립자 등을 분리하는 기능을 하게 되는데 본 연구에서는 이러한 연마장비설계를 위한 사이클론 집진기의 효율과 압력, 유입 공기속도에 따른 설계방법을 소개하고 일부 실험결과를 제시하도록 한다.

• 한국기계가공학회지
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• 제11권1호
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• pp.7-12
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• 2012

Chemical mechanical polishing(CMP) technology is faced with the challenge of processing new electronic materials. This paper focuses on the balance between chemical and mechanical reactions in the CMP process that is required to cope with a variety of electronic materials. The material properties were classified into the following categories: easy to abrade(ETA), difficult to abrade(DTA), easy to react(ETR) and difficult to react(DTR). The chemical and mechanical balance for the representative ETA-ETR, DTA-ETR, ETA-DTR and DTA-DTR materials was considered for defect-free surfaces. This paper suggests the suitable polishing methods and examples for each electronic material.

• 한국세라믹학회지
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• 제42권4호
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• pp.287-291
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• 2005

나노인덴테이션 시험시의 알루미늄의 팝인 변형에 대하여 연구하였다. 팝인 현상은 알루미늄의 표면 상태에 따라서 발생 유무가 결정되었다. 기계연마한 알루미늄에서는 팝인이 일어나지 않았고, 전해연마한 시편에서만이 팝인이 일어났다. 팝인이 일어나는 경우에는 나노인덴테이션 초기단계에서 탄성변형이 일어났으며 그 후에 갑자기 팝인 변형이 일어났으며 팝인 후에는 탄소성 변형이 일어났다. 전위 활동에 근거한 팝인 발생 메카니즘을 제시하였으며 이는 FIB와 TEM에 의한 미세구조 분석 결과와 일치하였다.

• 한국정밀공학회지
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• 제14권12호
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• pp.121-126
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• 1997

The use of CBN tool material has been greatly increased because of the superior metal cutting performance for the machining of hardened steel. This paper presents some experimental results on the ball endmiling of harened steels. Three different hardnesses of STD11 workpieces were machined using CBN ball endimills, and the machining characteristics including cutting forces tool wear, and surface roughness of machined surface were compared. It has been found that the CBN ball endmill works better in the machining of harder workpieces. The microscopic examination explains that this unusual phenomenon is caused by the difference of microstructure of each workpieces.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.371-371
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• 2013

사파이어 단결정 웨이퍼는 제조과정에서 결정 성장 조건 및 기계적 연마에 의하여 내부적인 결함이 발생할 수 있다. 사파이어 단결정은 일반적으로 LED용 기판 재료로 사용되며, 내부결함이 발생 시 기판 위의 GaN 등 layer의 결함도 함께 증가하므로 기판의 결함을 줄이는 과정이 중요한 이슈이다. 이 과정에 X-선 토포그래피는 단결정의 내부 결함을 모니터링 하는데 있어서 매우 유용한 방법이다. 이에 본 연구에서는 사파이어 단결정 웨이퍼에 내재하는 결함 형태를 X-선 Lang 토포그래피 방법(X-ray Lang Topography)으로 이미징하여 관찰, 분석하였다. Lang 토포그래피 방법은 X-선 투과법으로 넓은 부분을 우수한 강도와 분해능으로 내부 결함을 관찰할 수 있는 장점을 지니고 있다. X-선 source는 Mo $k{\alpha}$ 1을 사용하였으며, 시료는 c-plane 사파이어 웨이퍼를 사용하였다. 사파이어 웨이퍼의 (110), (102) 회절면의 X-선 토포그래피 이미지를 통해 전위 결함의 유형에 따른 이미지 패턴의 형성 메커니즘에 대해 연구하였고, 측정 회절면과 두께, 표면 데미지에 따른 전위 결함 이미지의 변화를 확인하였다. X-선 토포그래피 이미지를 통해 단결정 c-plane 사파이어 웨이퍼의 전위 결함의 형성 메카니즘 연구와 유형별 이미지와 회절면, 두께, 표면 데미지에 따른 이미지 변화 등을 확인하였다.

• 대한화학회지
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• 제26권6호
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• pp.369-377
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• 1982

염기성 용액에서 니켈표면에 생성되는 양극 산화막의 성질과 그 생성 메카니즘을 알아보기 위하여 반사율 측정과 타원편광 반사법 측정을 동시에 하는 실험방법을 이용하였다. 과도적 변화의 측정을 위하여 파라데이 효과에 의한 평면편광의 변조를 이용하여 타원편광 반사계를 자동화하였다. 높은 순도의 다결정성 니켈을 연마한 후 환원전위에서 부동화전위로 전위를 갑작스럽게 변화시켜 전기화학적으로 부동화를 유도하면서 생성되는 표면막의 반사율(r)과 타원편광 반사법 파라미터들(${\Delta},{\Psi}$)의 변화를 자동화타원편광 반사계를 사용하여 기록하였다. 생성된 표면막의 광학상수들 n,k와 두께 ${\tau}$를 결정하기 위해서 컴퓨터로 세가지 광학 측정치를 포함하는 세개의 연립방정식을 풀었다. 이러한 계산값들의 크기와 그 값들이 pH와 시간에 따라 변하는 모습을 살펴 본 결과, 니켈의 부동화는 $15{\AA}$ 미만의 얇은 표면막으로도 효과적으로 이루어질 수 있으며, 이 부동화막은 작은 흡광계수를 갖고 있는 것으로 보인다. 또한, pH가 클수록 부동화상태에 빨리 도달하며 생성된 부동화막의 구조도 더욱 치밀해지는 것으로 보인다. 실험 결과들은 부동화막의 조성은 부동화가 이루어지는 초기에는 $Ni(OH)_2$에 가까우나 시간이 경과함에 따라 부분적으로 탈수되어 NiO로 변한다는 추정과 부합한다.