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추가 열처리 공정에 의한 GaN계 LED소자의 광학 및 전기적 특성에 대한 연구

  • 한상현;이재환;송기룡;이성남
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.309.1-309.1
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    • 2014
  • III-N계 기반의 광 반도체는 직접 천이형 넓은 밴드갭 구조를 갖고 있기 때문에 자외선에서 가시광을 포함한 적외선까지 포함한 폭 넓은 발광이 가능하여 조명 및 디스플레이 관련 차세대 광원으로 많은 관심을 받고 있다. 하지만 p형 GaN의 경우, 상온에서 도펀트로 사용되는 마그네슘(Mg)이 수소(H)와 결합하여 보상 효과를 나타내기 때문에 높은 정공농도를 갖기에 어려움이 있다고 알려져 있다. 따라서, 대부분의 연구 그룹에서는 GaN계 LED 소자를 성장 후 rapid thermal annealing 공정이 요구되고 있고, 최근에는 박막 성장 후 반응로 내에서 자체적으로 열처리를 진행하고 있는 실정이다. 하지만, 열처리 조건은 LED 소자의 발광특성에 큰 영향을 주기 때문에 본 연구에서는 반응로에서 열처리가 된 LED 샘플에 대해 추가적인 열처리 공정의 유무에 따른 GaN계 LED소자의 광학적 및 전기적 특성에 대해 알아보고자 하였다. 금속유기화학증착법을 이용하여 c-면 사파이어 기판에 저온 GaN 완충층 및 $2.0{\mu}m$두께의 GaN 박막을 성장한 후, $3.0{\mu}m$두께의 n-형 GaN에피층과 InGaN/GaN 5주기의 양자우물구조를 형성하고 $0.1{\mu}m$두께의 p형 GaN층을 성장하였다. P-형 GaN층 성장 후 온도를 내리면서 $750^{\circ}C$, N2 분위기에서 5분간 Mg 활성화를 위한 열처리를 반응로에서 in-situ로 진행하였다. 그 후 급속열처리 장비에 장입하여 $650^{\circ}C$, N2 분위기에서 5분간 추가적인 열처리를 진행하여 추가 열처리 유무에 따른 LED소자의 특성을 분석하였다. 추가적인 열처리 유무에 따른 LED소자의 레이저 여기에 의한 포토루미네선스 스펙트럼과 전계발광 스펙트럼을 조사한 바, 포토루미네선스 스펙트럼의 경우 추가적인 열처리를 진행하였을 경우, 이전보다 발광 세기가 감소함을 나타내었다. 이는 추가적인 열처리에 의해 InGaN/GaN 활성층이 손상되었기 때문이라고 추측된다. 그러나 전계발광 스펙트럼에서는 활성층이 손상되었음에도 불구하고 전계 발광세기가 3배 가량 증가한 것을 확인할 수 있었다. 또한, 20 mA 인가 시 4.2 V 에서 3.7 V로 전압이 감소하였다. 상기 결과로 미루어 볼 때 열처리에 의한 InGaN/GaN 활성층 손상에도 불구하고 광 세기가 크게 증가한 것은 금속유기화학증착장치의 in-situ 열처리에 의한 Mg가 충분히 활성화되지 못하였고, 추가적인 열처리에 의하여 p형 GaN에서 Mg-H 복합체의 분리로 인한 Mg 활성화가 더욱더 효과적으로 이루어졌기 때문이라고 추측된다.

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참치 뼈를 이용한 Hydroxyapatite 세라믹 복합체의 합성 및 생체 친화성(제1보)-건식법으로 분쇄한 Hydroxyapatite 및 Wollastonite가 첨가된 소결체의 특성- (Synthesis and Biocompatibility of the Hydroxyapatite Ceramic Composites from Tuna Bone(I) - The Sintering Properties of Hydroxyapatite and Hydroxyapatite- Containing Wollastonite Crushed with Dry Milling Process -)

  • 김세권;이창국;변희국;전유진;이응호;최진삼
    • 공업화학
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    • 제8권6호
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    • pp.994-999
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    • 1997
  • 참치 뼈로부터 추출한 hydroxyapatite [$Ca_{10}(PO_4)_6(OH)_2$] 와 여기에 소결성 증진을 위해 wollastonite($CaSiO_3$)를 첨가하여 고상반응시킨 세라믹 소결체의 결정상, 미세구조와 꺽임강도(bending strength) 등의 특성을 고찰하였다. 참치 뼈에서 추출한 hydroxyapatite자체의 소결성은 매우 취약하였는데, 이는 건식법의 입자분쇄 한계 때문으로 보인다. Hydroxyapatite에 wollastonite가 첨가된 경우 소결온도가 $1250^{\circ}C$이하에서는 hydroxyapatite와 pseudowollastonite(${\alpha}-CaSiO_3$)가 혼재된 결정상을 보였으나, 온도가 증가할수록 hydroxyapatite의 분해에 따른 whitlockite [$Ca_3(PO_4)_2$] 상이 관찰되었다. 소결온도가 $1250^{\circ}C$이하에서는 미세한 입자들과 많은 기공들이 분포하였으며, 소결온도가 증가할수록 입자의 크기는 증가하여 소결이 상당히 진행된 미세구조를 나타내었다. Wollastonite가 첨가된 소결시편의 평균 꺽임강도는 18MPa로서 해면골(cancellous bone)의 최대 꺽임강도인 20MPs에 근접한 것으로 나타났다.

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가열온도별 습식방식 폐슬러지를 활용한 모르타르의 특성에 관한 연구 (A Study on the Properties of Mortar using Wet-type Waste Sludge according to Heating Temperature)

  • 강석표;조구영;이준;김창오
    • 한국건설순환자원학회논문집
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    • 제6권1호
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    • pp.111-119
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    • 2011
  • 근래 도시 재개발사업 및 사회기반 시설의 확충 등으로 건설현장에서는 막대한 양의 건설폐기물이 발생량은 매년 증가되는 추세에 있다. 이와 같은 건설폐기물의 처리는 국가, 사회적으로 이슈로 부각되고 있으며, 이중 폐콘크리트의 중간처리 과정에서 발생되는 폐슬러지는 현재까지 유효활용되지 못하고 대부분 폐기 또는 매립되고 있는 실정이다. 따라서 본 연구에서는 건설폐기물 중간처리시설 중 습식방식에 의한 순환골재 생산시 필연적으로 부산되는 폐슬러지를 시멘트 복합체용 사용재료(바인더, 충진재 등)로 활용하기 위한 방안을 모색하기 위하여 순환미분말의 가열온도, 혼입조건, 적용용도별에 따른 모르타르의 물리, 역학적 특성을 검토하였다. 연구결과 모든 가열온도 조건에서 순환미분말의 주성분은 $SiO_2$와 CaO인 것으로 나타났으며, 여기에서 유의할 점은 순환미분말의 CaO 함량은 종래 일반적으로 활용되는 보통 포틀랜드 시멘트에 비하여 작은 함량을 나타냈다. 그리고 건조 및 가열온도 조건별에 따른 모르타르의 유동특성은 가열온도가 증가함에 따라 감소되는 결과를 나타냈고 압축강도 및 기공특성의 경우는 $600^{\circ}C$에서 가장 우수한 특성을 나타냈다. 따라서 건설폐기물 중간처리시설에서 발생되는 순환미분말의 재수화성 부여를 위한 유효 온도조건은 $600^{\circ}C$인 것으로 확인되었다.

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선산 지역 중생대 심성암류의 저어콘 헝태 및 암석화학 (Zircon Morphology and Petrochemistry of Mesozoic Plutonic rocks in Seonsan Area, Korea)

  • 이윤종;박순자;장용성;정원우;김중욱;황상구;윤성효
    • 암석학회지
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    • 제13권2호
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    • pp.81-102
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    • 2004
  • 선산 지역의 심성암류는 선캠브리아기 변성암 복합체를 관입하고 있고 낙동층에 의해 부정합으로 피복되어 있으므로 그 관입 시기는 백악기 이전으로 생각된다. 이 심성암류는 섬록암-섬장암질암과 편마상 화강암, 쥬라기의 흑운모 화강암과 세립질 흑운모 화강암으로 구분된다 모드 조성상 섬록암-석장암질암은 석영몬조니암-화강섬록암-토날라이트에 해당되고, 편마상 화강암, 흑운모 화강암과 세립질 흑운모 화강암은 모두 화강암에 해당된다. 섬록암-섬장암질암은 암석화학적으로 다른 화강암에 비해 낮은 SiO$_2$ 함량, 분화지수와 라센지수를 가지며, 저어콘의 형태에서도 기타 화강암들이 (100)형과 (110)형의 중간형이 주로 나타나는데 비해서 (100)형이 우세하게 나타난다 이런 경향은 섬록암-섬장암질암이 보다 고온의 마그마에서 형성되었음을 지시한다. 이 심성암류는 칼크알칼리 암석계열을 따르고 대부분 I-형 화강암이며 자철석 계열이 주를 이루나 부분적으로 티탄철석 계열에 해당되는 부분도 있다. 각 암체의 화성과정은 먼저 섬록암-섬장암질암이 지하 약 17km 부근에 약 5kb의 수증기압을 가지고 관입하였다. 그 후 지하 10km에 3kb 정도의 수증기압을 갖는 편마상 화강암이 관입되었다. 계속적으로 지하 약 2km에 흑운모 화강암이 약 0.7kb의 수증기압을 가지고 관입하였다. 마지막으로 지하 약 8km 정도 지반의 침강이 일어났으며, 여기에 약 3kb 정도의 수증기압을 가진 세립질 흑운모 화강암이 10km 위치에서 관입한 것으로 추정된다.

항 NCA-95 단일클론항체의 $^{99m}Tc$표지 키트 제조 및 특성 연구 ($^{99m}Tc$ Labeling Kit Preparation and Characteristics of Anti-NCA-95 Monoclonal Antibody)

  • 홍미경;정재민;정준기;최석례;김채균;이용진;이동수;이명철;고창순
    • 대한핵의학회지
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    • 제30권4호
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    • pp.541-547
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    • 1996
  • 우리는 국내에서 개발한 항 NCA-95 단일클론항체의 면역학적 특성을 규명하고 $^{99m}Tc$ 표지법을 연구하여 골수면역 신티그라피법을 개발한 바 있다. 그러나 $^{99m}Tc$ 단일클론항체의 표지효율이 낮고, 과정이 복잡하여 시간이 오래 걸리는 단점이 있어 임상적용에 어려움이 있었다. 본 연구에서는 $^{99m}Tc$ 표지 단일클론항체의 표지과정을 개선하여 시간을 단축하고 표지효율을 높이는 연구를 실시하였다. 티올기와 아민 및 하이드록시 그룹을 가진 착화제(chelator)와 $^{99m}Tc$은 안정한 복합체를 형성하므로, 이러한 화학적 성질을 이용하여 항체를 환원시켜 티올기를 생성하고 여기에 약한 착화제와 결합한 $^{99m}Tc$을 가하는 transchelation법을 연구하였다. 본 연구에서는 방법 1. ${\beta}$-mercaptoethanol로 항체를 환원하고 환원제의 존재하에 $^{99m}Tc$-gluconate 를 이용한 표지법, 방법 2. 항체의 환원후 ${\beta}$-mercaptoethanol을 제거하고 $^{99m}Tc$-gluconate를 사용한 표지법, 방법 3. 환원제를 제거한 항체에 MDP를 먼저 가하고 여기에 $^{99m}Tc$을 가하는 표지법을 시도하여 보았다. 고정상으로는 ITLC-SG를, 이동상으로는 생리식염수와 아세톤을 사용하여 표지효율을 구하였다. 방법 1은 표지효율이 40-70%이나 좋은 골수영상을 얻었고, 방법 2의 경우 표지효율은 70-80%로 개선되었으나 혈액풀의 방사능이 높았다. MDP를 착화제로 이용한 방법 3은 표지효율이 $92.4{\pm}5.9%$(n=15) 이고 면역반응성은 약 60%였으며 골수면역 신티그라피에서도 좋은 영상을 얻을 수 있었다. 때로는 $^{99m}Tc$- MDP 방사능이 높아 뼈에 흡수되는 방사능이 증가하는 단점이 있지만 PD-10 컬럼을 이용하여 분리가 가능하였다. 환원된 항체를 냉동보관하여 사용하였을 경우에도 안정하여 냉동보관 47일 까지 90%이상의 표지효율을 보였다. 본 연구 결과 $^{99m}Tc$ 표지 항 NCA-95 단일클론항체의 표지법의 개선으로 더 쉽게 임상에 이용할 수 있게 될 것으로 생각된다.

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프로조디(prosodie) 분석을 통한 시조의 가락 고찰 시론(試論) - 윤선도(尹善道)의 <오우가(五友歌)>를 대상으로 - (A Study on the Rhythm of Sijo Using Prosodie Analysis - Centering on < Ouga > by Seon-do Yun -)

  • 김성문
    • 한국시조학회지:시조학논총
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    • 제43권
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    • pp.41-66
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    • 2015
  • 시조의 가락에 대한 연구는 대체로 운율론의 차원에서 이루어져 왔으며, 이는 3장 4음보격의 정형적인 시조의 가락을 규명한다는 측면에서 그 의의를 인정받아 왔다. 그러나 가락을 운율이나 율격보다 상위 개념으로 이해한다면, 이를 온전히 이해하기 위해서는 정형시로서 시조가 갖는 가락과 함께 서정시로서 시인 각자가 갖는 개성적인 가락, 다시 말해 비정형적인 가락을 함께 살펴볼 필요가 있어 보인다. 그리고 여기에 앙리 메쇼닉(H. Meschonnic)의 프로조디(prosodie)분석 기법이 유의미한 방법론이 될 수 있다. 이에 본고는 앙리 메쇼닉의 프로조디 분석 기법을 적용하여 시조의 가락을 기존의 운율론이 아닌 새로운 차원에서 살필 수 있는 가능성을 모색한다는 측면에서 시론(試論)격에 해당된다고 볼 수 있다. 메쇼닉이 새롭게 제안한 프로조디는 언어의 자 모음적 조직과 그것의 계열체를 지시하는 말로, 이는 전통적으로 언어의 소리와 의미를 분리하여 이분법적으로 이해해 온 관점과 전적으로 대립된다. 그에 따르면 각 자 모음 조직들은 그 자체로 의미를 가지는, 이른바 소리와 의미의 복합적인 층위를 형성하는 단위이기 때문이다. 따라서 시 텍스트 안에 불규칙적이고 비주기적으로 산포되어 존재하는 프로조디를 분석하는 작업은, 어떻게 시가 음성적 의미론적으로 통합되는지를 확인하는 방법론이라 할 수 있다. 그리고 이렇게 조직화된 음운들이 어떠한 양상으로 시의 주제와 길항하면서 존재하는지를 살피는 것이 프로조디 분석의 핵심이라 할 수 있다. 이는 곧 개별적인 시가 지닌 독특한 미적 구조를 해명하는 일이자 시인의 언어 사용의 특수성을 보여준다는 측면에서 궁극적으로 시인의 문체를 규명하는 작업과 궤를 같이 한다고 볼 수 있다. 본고에서는 본격적으로 프로조디 분석의 방법론을 시조 전반에 적용하기에 앞서 예비적으로 고산(孤山) 윤선도(尹善道)의 <오우가(五友歌)> 6수를 분석 대상으로 삼아 일단 자음계열체에 한정하여 프로조디 분석 작업을 진행하였다. 그리고 그 결과로 시 텍스트에 산포되어 있는 프로조디가 시적 대상의 이미지를 형상화하거나 시의 주제를 드러내는데 있어서 소리와 의미의 복합체로서 기여하면서 기존의 율격과는 또 다른 층위에서 가락을 형성하고 있음을 확인할 수 있었다.

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