• 제목/요약/키워드: 에너지 균등성

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Cu(dmamb)2 전구체를 이용한 구리박막제조 시 캐리어가스가 박막성장에 미치는 영향

  • 최종문;이도한;진성언;이승무;변동진;정택모;김창균
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2009년도 추계학술발표대회
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    • pp.29.2-29.2
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    • 2009
  • 구리는 낮은 비저항, 높은 열전도도, 우수한 electromigration(EM)저항특성 등을 바탕으로 차세대 nano-scale집적회로의 interconnect application에 적합한 금속재료로서 각광받고 있다. copper interconnect는 damascene process 를주로 이용하는데 CVD를 이용하면 step coverage가우수한 seed layer얻을 수 있어 고집적 소자의 구현이 가능하다. 최근에 비 균등화 반응(disproportionationreaction)을 이용하여 고 순도 구리박막을 제조하기위해 $\beta$-diketonate Cu(I) Lewis-base의 전구체를 많이 이용하는데 그중에서 hexafluoroacetylacetonate(hfac)Cu(I)vinyltrimethylsilane (VTMS)가 널리 이용되고 있다. 그러나 (hfac)Cu(I)(VTMS) 또는 유사계열의 전구체들은 열적안정성및 보관안정성이 부족하여 실제 양산공정에 적합하지 못한 단점이 있었다. 본 연구에 이용된 2가 전구체Cu(dmamb)2는 높은 증기압($70^{\circ}C$, 0.9torr)을 가지며 종래에 주로 이용하던 1가 전구체 (hfac)Cu(VTMS)에 비해 높은 활성화 에너지(~113 kJ/mol)를가짐으로서 열적안정성 및 보관안정성이 우수하다. 다른 한편으로 2가전구체는 안정성이 우수한 만큼 낮은 증기압을 극복하기 위해 리간드에 플루오르를 주로 치환하여 증기압을 높이는데 플루오르는 성장하는 박막의 접착력을약하게 하는 단점을 가진다. 하지만 본 연구에 사용된 Cu(dmamb)2는 리간드에 플루오르를 포함하지 않으며, 따라서 고품질의 박막을 용이한성장환경에서 제조할 수 있는 장점들을 제공한다. 비활성가스 분위기에서 2가전구체는 열에너지에 의해 리간드의 자가환원에따라 금속-리간드 분해가 발생한다. 하지만 수소분위기에서는수소가 환원제로 작용하여 리간드의 분해를 용이하게 하는 특징을 가지며 따라서 비활성분위기일 때 비해 낮은 성장온도를 가진다. 또한 수소는 잔류하는 리간드 및 불순물과 결합하여 휘발성화학종들을 생성하여 고순도의 구리박막제조를 가능하게한다.

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이동 애드혹 네트워크에서의 부하 균등화 및 공평성 지원 방법 (Load-Balancing and Fairness Support Mechanisms in Mobile Ad Hoc Networks)

  • 안상현;유영환;임유진
    • 정보처리학회논문지C
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    • 제11C권7호
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    • pp.889-894
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    • 2004
  • AODV(Ad Hoc On-Demand Distance Vector)나 DSR(Dynamic Source Routing)과 같은 대부분의 에드혹 라우팅 프로토콜은 네트워크 토폴로지가 변하지 않는 한 새로운 경로 설정을 하지 않는다. 따라서 노드의 이동성이 적은 경우, 트래픽은 몇몇 노드에게 집중될 수 있으며 그 결과로 해당 노드들의 혼잡으로 인한 긴 종단간 지연이 발생할 수 있다. 게다가 몇몇 특정 노드들만 오랫동안 계속해서 사용됨에 따라 그들의 배터리가 빠르게 소모될 것이다. 노드의 배터리 방전은 노드 사이의 연결 단절뿐만 아니라 동시에 새로운 경로 설정을 위하여 많은 route re-quest 패킷(RREQ)을 생성시킨다. 본 논문에서는 각 노드가 자신의 트래픽 부하 상태를 기반으로 RREQ 패킷을 무시하거나 패킷 포워딩을 포기할 수 있게 함으로써 트래픽 집중화 문제를 해결할 수 있는 SLA(Simple Load-balancing Approach)를 제안한다. 그러나 어떤 이기적인 노드들은 자신의 에너지를 절약하기 위하여 고의적으로 패킷 포워딩을 거부할 수도 있다. 이러한 노드들을 패킷 포워딩에 참여시키기 위하여 본 논문에서는 PIFA(Protocol-Independent Fairness Algorithm) 보상 방식을 제안하였다. SLA 성능의 우수함을 증명하기 위하여 SLA를 채택한 AODV 방식과 SLA를 채택하지 않은 AODV 방식을 비교 실험하였고, 이를 통하여 SLA를 채택한 방식이 트래픽 부하 분산에 효율적이며 이로 인하여 전체 에드혹 네트워크 성능 또한 향상시킴을 확인하였다.

2000년대 원자력과 유연탄 화력 발전의 경제성 평가 -동일 보건 위험도 기준- (Economic Assessment of Coal-fired & Nuclear Power Generation in the Year 2000 -Equal Health Hazard Risk Basis-)

  • Seong, Ki-Bong;Lee, Byong-Whi
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • 제21권3호
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    • pp.171-185
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    • 1989
  • 유연탄 발전과 원자력 발전의 경제성 평가를 균등한 인체 위험도 하에서 서기 2000년의 시점에서 수행하였다. 유연탄 발전과 원자력 발전의 인체에 대한 영향 비교에서, 유연탄의 영향이 원자력에 비해서 10배가량 높은 것을 에너지 시스템의 위험도 평가에 관한 여러 연구결과들로부터 알 수 있었다. 그런데 위험도가 0인 상태는 존재하지 않으므로, 유연탄 발전과 원자력 발전간의 위험도 차이만을 본 논문의 위험도로 간주했다. 인체 위험도 비용은 사망과 질병의 두 경우로 나누어서, 사망의 경우에는 Human Life Value로 계산하고, 질병의 경우에는 완치될 때까지의 치료비등 제반 비용으로 계산했다. 이러한 방법에 의한 계산 결과 사망의 비용은 $250,000이 되었고, 질병의 경우는 $90,000이 되었다. (1986 US$) 그리고 비용편익분석을 통해서 유연탄 화력 발전의 최적 규제 기준치를 구했는데, 이 규제치는 최소 사회비용이 발생되는 지점에서 구해졌다. 서기 2000년의 한국에서의 SOx에 대한 최적 규제치는 165ppm으로 나타났다. 이러한 전력 생산의 경제성 평가 방법으로부터, 원자력이 유연탄 화력에 비해서 더 경제적인 것으로 나타났다. 반면에 불확실도는 유연탄화력이 더 작은 것으로 나타났다.

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무선 애드 혹 네트워크에서 보안성을 고려한 Token Escrow 트리 기반의 효율적인 라우팅 프로토콜 (An Efficient Secure Routing Protocol Based on Token Escrow Tree for Wireless Ad Hoc Networks)

  • 이재식;김성천
    • 정보처리학회논문지:컴퓨터 및 통신 시스템
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    • 제2권4호
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    • pp.155-162
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    • 2013
  • 최근 무선 네트워크 기술이 각광을 받으면서 다양한 애드 혹 환경에서의 라우팅 프로토콜이 제안되고 있다. 하지만 애드 혹 네트워크라는 환경의 특성 상 보안상 취약한 문제점을 가지고 있으며, 기존의 유선 네트워크 환경에서 제안되었던 보안 라우팅 프로토콜을 적용시키기 힘들다는 문제점이 있다. 이에 따라 Secure AODV나 SRPTES 등의 보안성을 고려한 새로운 애드 혹 라우팅 프로토콜이 제안되었지만 다양한 무선 네트워크 환경의 변화에 유동적으로 대응하기 힘들고 보안적인 측면에 집중을 한 나머지 에너지소모 측면에서는 단점을 노출하고 있다. 본 논문에서는 다양한 애드 혹 네트워크 환경에 적용 가능하고, 기존의 보안 라우팅 프로토콜에 비해 에너지 효율적인 보안 라우팅 프로토콜을 제안하고자 한다. 보안 정보의 보호를 위해 Tree 구조를 도입하고 보안 단계를 통한 Multi-path를 구성하여 악의적인 노드의 Dropping Attack에 대비하여, 예기치 못한 Data Packet의 손실에 대해서도 효율적으로 대처하게 하였다. 실험 결과 악의적인 노드가 존재하는 네트워크 환경에서 기존의 애드 혹 네트워크 보안 라우팅 프로토콜보다 패킷 전송 성공률을 21%정도 향상시킬 수 있었으며 또한 각 노드의 에너지를 균등하게 소모함으로써 전체적인 네트워크의 생존시간이 연장되는 것을 확인할 수 있었다.

공간적 자기상관성을 이용한 무선 센서 네트워크 에너지 균등화 기법 (An Energy-Balancing Technique using Spatial Autocorrelation for Wireless Sensor Networks)

  • 정효남;황준
    • 인터넷정보학회논문지
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    • 제17권6호
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    • pp.33-39
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    • 2016
  • 센서 기술, CMOS 기반의 반도체 장치, 네트워크 프로토콜 및 통신기술의 주요한 기술적 진보와 함께 무선 센서 네트워크의 활용 범위는 확대 및 다양화 되었으며, 여러 산업에 적용되어 유익하게 사용되고 있다. 특히 주변 환경의 현상을 모니터링하는 무선 센서 네트워크에서는 센서가 측정한 정보를 싱크로 전달하기 위해, 멀티 홉을 통한 전송 경로를 구성하거나 모바일 싱크기술을 사용하여 노드들과 통신하였다. 하지만 데이터 교환에 따른 높은 에너지 비용 및 노드들의 에너지 불균형, 데이터 전송지연으로 인한 측정데이터 값과 실제 값 간의 시간차이 등은 추가적인 연구가 필요한 부분이다. 본 논문에서는 이러한 문제를 해결하기 위한 새로운 무선 센서 네트워크 모델을 제시한다. 빈번한 메시지 교환에 따른 통신비용을 줄이기 위해 무선 센서 네트워크를 구성하는 노드들의 지리적 상관성을 사용하여 주변 노들의 상황을 예측하는 상황 예측 모델을 개발했다. 또한 시스템에 치명적일 수 있는 이상징후가 발생하면 이를 신속하게 모니터링 시스템에 경고하기 위해 이상징후 파악 모델을 개발했다. 모의실험결과에 따르면, 상황 예측 모델 적용한 경우가 그렇지 않은 경우보다 오차가 작았고, 이상징후 파악 모델을 사용하여 데이터 전송 지연 속도를 줄일 수 있었다. 본 연구는 지리적 위치를 식별할 수 있는 무선 센서 네트워크 모니터링시스템의 효율적인 통신기법으로 활용될 수 있을 것으로 기대한다.

선형가속기의 품질관리를 위한 2차원이온전리함배열의 유용성 (Feasibility of Two Dimensional Ion Chamber Array for a Linac Periodic Quality Assurance)

  • 이정우;홍세미;박병문;강민영;김유현;서태석
    • 대한방사선기술학회지:방사선기술과학
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    • 제31권2호
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    • pp.183-188
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    • 2008
  • 본 연구의 목적은 방사선치료용 선형가속기의 품질관리를 수행하기 위한 2차원이온전리함배열의 유용성을 검증하기 위함이다. 물팬톰과 필름으로 수행하던 기존의 품질관리 방법을 2차원이온전리함배열(MatriXX, Wellhofer Dosimetrie, Germany)을 이용하여 유용성을 검증하였다. MatriXX는 1,020개의 평판형 전리함(용적: $0.08\;cm^3$, 직경: 4.5mm, 높이: 5mm, 배열간격: 7.62mm)이 일정한 간격으로 $24{\times}24\;cm^2$의 면적에 배열 되어있다. MatriXX의 유용성을 검증하기 위해 연속된 5개월에 걸쳐 선량균등도, 에너지($TPR_{20,10}$), 그리고 절대 선량을 측정하여 물팬톰과 $0.65\;cm^3$ (FC65G, Wellhofer Dosimetrie, Germany) Farmer형 이온전리함을 통해 얻은 값과 비교, 분석하였다. MatriXX 측정 시 폴리스틸렌 고체 팬톰(${\rho}:\;1.18\;g/cm^3$)을 이용하였으며, MatriXX 고유의 커버 물질의 밀도와 두께(${\rho}:\;1.06\;g/cm^3$, t: 0.36 cm)를 물과 등가의 값으로 환산하여 적용하였다. 또한, 기하학적 점검을 위한 예비실험에서 콜리메이터의 회전축과 하프빔의 접합부를 필름측정의 결과와 비교하였다. 선량계측학적 실험 결과, MatriXX로 얻은 데이터와 물팬톰의 결과가 모든 항목에서 ${\pm}1%$ 이내의 일치를 보였다. 기하학 품질관리의 예비 실험 결과 기존의 필름방식과 유사한 결과를 얻었으며, 기하학적 품질관리의 정량적 분석 가능성을 제시하였다. 본 연구를 통해 주기적인 선형가속기의 품질관리에서 물팬톰과 필름을 대체할 수 있는 MatriXX의 유용성을 확인하였으며, 향후 비용절감과 시간과 인력을 절감할 수 있는 품질관리의 새로운 방법을 제시하였다.

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클러스터 헤드의 변동 거리를 고려한 클러스터 헤드 선출 기법 (Cluster Head Selection Scheme Using Fluctuating Distance of Cluster Head)

  • 김진수;최성용;한승진;최준혁;임기욱;이정현
    • 전자공학회논문지CI
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    • 제45권6호
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    • pp.77-86
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    • 2008
  • 기존의 클러스터 라우팅 방식은 클러스터 헤드를 선출하여 클러스터 내의 멤버 노드들로부터 정보를 수집하고 압축하여 기지국에 전송함으로써 에너지 효율을 높일 수 있는 대표적인 방식이다. 그러나 클러스터 형성 단계 중 매 라운드마다 셋업 단계에서 선출된 클러스터 헤드와 클러스터 내의 멤버 노드들 간의 빈번한 정보 교환으로 인해 발생하는 불필요한 에너지 소모는 클러스터 라우팅 방식이 해결해야 하는 과제이다. 본 논문에서는 셋업 단계에서의 선출된 클러스터 헤드와 기존의 클러스터 헤드 사이에 변경되지 않는 중첩된 영역에 속한 멤버 노드들을 계산함으로써, 중첩된 멤버 노드들의 셋업 단계에서의 불필요한 송수신 횟수를 줄여 정보 교환을 최소화하였다. 또한 최적의 클러스터 구성을 위해 상위 클러스터 헤드의 방향성을 고려하였다. 따라서 셋업 단계에서의 소모되는 에너지를 절약하여 안정 단계에서 효율적으로 사용함으로써, 에너지의 효율적인 사용과 전체적인 네트워크의 생존시간을 증가시키고자 하며, 전체 네트워크내의 멤버들에게 클러스터 헤드가 될 수 있는 균등한 기회를 주고자 하는 클러스터 헤드 선출 기법을 제안한다.

IEEE 802.11 기반 메쉬 네트워크에서 다중 홉 트래픽을 위한 버퍼 관리 방식 (A Buffer Management Scheme for Multi-hop Traffic in IEEE 802.11 based Mesh Networks)

  • 장길웅
    • 한국통신학회논문지
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    • 제34권5B호
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    • pp.455-462
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    • 2009
  • 본 논문에서는 다중 홉으로 구성된 IEEE 802.11 기반의 메쉬 네트워크에서 노드 간에 패킷 전송 시 버퍼 오버플로우에 의한 패킷 손실을 줄이고 수신되는 패킷의 공평성을 높이기 위한 버퍼 관리 방식을 제안한다. 제안된 방식은 전송 패킷을 전달하는 중간 노드에서 인접 메쉬 라우터와 이동 노드로부터 전송된 패킷을 균등하게 수신하고, 각 메쉬 라우터에서 다중 홉을 거친 패킷 수신율을 향상시킴으로써 패킷 전송지연과 노드의 에너지 소모를 줄일 수 있다. 제안된 방식은 기존의 IEEE 802.11 MAC 프로토콜 하에서 수정된 RTS/CTS를 이용하여 전송될 패킷의 크기를 미리 인지함으로써 패킷 손실과 패킷 공평성을 향상시킨다. 시뮬레이션을 이용하여 기존의 방식과 제안된 방식의 패킷 손실률, 각 메쉬 라우터에서 수신되는 패킷 양을 측정함으로써 제안된 방식의 성능을 비교 평가하였다.

수치모형을 이용한 수위-방류량 관계 적용성 검토 (Review of water level-discharge relationship applicability using a numerical model)

  • 주성식;김백민;구자환
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
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    • 한국수자원학회 2016년도 학술발표회
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    • pp.332-332
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    • 2016
  • 수공구조물 설계시 hardware와 software의 발달로 수리계산과 수치해석의 오차율이 감소함에 따라 수치해석을 이용하는 빈도가 높아지고, 신뢰도가 향상되고 있는 추세에 있다. 그러나 댐 설계에 있어 수위별 방유량 관계 검토시 수치해석값은 각 수위에 해당하는 몇 개의 유량값을 대응시켜 경향만 비교하고 수리계산 결과를 설계에 반영해 왔다. 이러한 방법은 여수로 주변에 인접구조물이 없고, 여수로 각 수문별 균등한 유량이 방류될 경우 문제가 되지 않지만, 여수로 직상류 지형에 만곡부나 지형적 특성이 여수로 방류에 영향을 미치거나, 취수탑 등 여수로에 인접한 수리구조물이 설치되어 접근수로에서 복잡한 유동을 형성하는 경우 각 문비마다 방류량의 분배율은 달라질 수밖에 없고, 수리계산 결과를 일괄 반영하기에는 오차가 증가할 수밖에 없다. 이에 본 연구에서는 댐 운영시 중요한 인자 중 하나인 수위-방류량 관계에 대하여 수치모형을 이용한 정밀한 분석을 통하여 댐 여수로 운영시 오차율을 저감시키고, 적용성을 향상시키는 방안을 검토하였다. 첫째, 수위별 방류량 관계 검토시 여수로 상류에서 일정한 시간에 따라 선형적으로 수위가 증가하도록 경계조건을 설정한 후 3차원 수치해석 모형의 Output data를 단위시간에 따라 수위와 방류량이 산정되도록 하고, 기존 검토 방식대로 각 수위별 모형을 steady 상태로 수행하여 비교분석하였다. 수리계산과 기존 방식, 본 연구에서 제시한 방법에 대한 오차율 검토 결과 오차는 3 % 이내로 검토되었다. 둘째, 수치해석을 이용하여 수위별 방류량 산정시 접근유속에 대한 영향을 받게 되므로 수리계산시 에너지 경사를 이용하여 수위값을 반영하지만, 수치해석을 이용하여 수위별 방류량 산정시 경계조건을 부여한 수위값을 반영하거나, 임의의 지점에서의 수위값을 반영하는 경우 등 일괄적이지 않은 수위값을 반영하여 오차율이 증가하는 경향이 있다. 따라서, 본 연구에서는 여수로 지점별 전수두를 측정하여 방류량 값을 산정하여 비교하였다.

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방사선 전신 조사 치료시 정확한 환자자세 및 조사야 재현을 위한 방법 ('THE METHOD OF TBI FOR ACCURATE REPRODUCTION OF RADIATION FIELD AND PATIENT POSITION')

  • 권영호;이병구;황웅구;김유현
    • 대한방사선치료학회지
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    • 제7권1호
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    • pp.156-166
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    • 1995
  • 방사선 전신조사는 일반적인 방사선 치료와는 달리 환자의 몸 전체를 포함할 수 있는 큰 조사야와 확장된 SAD가 요구되어지기 때문에 치료실이 충분히 커야 하고 전신에 균등한 선량을 주기 위해서는 환자 체표면 윤곽의 불규칙성과 조직 불균질성을 보완해 줄 수 있는 보상체가 필요하며 피부선량을 높여주기 위해서는 적절한 두께의 방사선 산란체를 사용하여야 한다. 또한 치료장치 및 사용 에너지, 총선량, 선량률, 선량분할, 환자의 자세, 정상적인 조직과 장기의 차폐 등도 방사선 전신조사를 위한 중요한 인자들로 알려져 있다. 그리고 방사선 전신조사 치료방법은 환자치료를 위한 준비시간과 실제 치료시간이 길기 때문에 일상 치료환자 일정에 지장을 초래할 수도 있으며 연속되는 치료기간 동안 치료조사야의 정확한 재현이 무엇보다 중요한 것으로 사료된다. 본원에서는 환자의 자세를 굴곡좌위로 함으로써 짧은 거리에서도 환자를 조사야내에 충분히 포함시켰고, 납 보상체를 제작하여 조직결손 부위를 보상하여 전신에 균등한 선량을 줄 수 있었으며 폐 차폐물을 제작하여 폐의 선량을 조절하였다. 치료계획시 환자의 음영을 치료실 벽면에 그려넣음으로써 조사야 재현시 도움이 되도록 하였으며 치료시간을 단축할 수 있었다.

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