• Title/Summary/Keyword: 압력저항계수

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Synthesis of nanosized WC powder by Chemical Vapor Condensation Process (화학기상응축법에 의한 WC 나노분말의 합성연구)

  • ;;;Oleg V. Tolochko
    • Proceedings of the Korean Powder Metallurgy Institute Conference
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    • 2002.04b
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    • pp.45-45
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    • 2002
  • 나노미터 크기의 결정립을 가지는 나노분말 및 나노복합분말의 제조와 특성에 관한 연구가 매우 활발하다. 나노복합분말의 제조방법에는 기상증발후 응축법, 화학응축법, 기계적합금법 등이 있으나, 고순도 및 균일한 크기분포의 분말과 응집되지 않은 분말의 제조 조건을 가장 잘 만족하는 방법은 화학기상응축법(Chemical Vapor Condensation; CVC)이다. 본 연구그룹 에서는 CVC밤법으로 이용하여 공구/금형재료에 가장 많이 사용되는 WC/Co 합금의 결정립을 n nm크기로 극미세화고자하는 연구을 진행하고 있다. 본 연구에서는 이들 WC/Co합금제조시 가장 중요한 출발분말인 나노크기 WC 분말의 제조와 그 특성에 관하여 연구하고자 하였다. 나노미터 WC분말을 제조하기 의한 전구체는 고상의 금속유기물인Tungstenhexacarbonyl$(W(CO)_6)$ 을 사용하였다. 수평관상로을 반응기로 사용하였으며, 노내의 온도을 500-110$0^{\circ}C$로 변화시 키면서 WC 분말을 합성하였다. 반응기 및 포집기 내부를 대기분위기, 상압의 Ar분위기, 진공 분위기로 변화시켜 압력 및 분위기의 영향을 조사하였다. 포집기는 상온 및 액체질소로 냉각 한 Chiller을 사용하였다. 형성분말의 상분석은 XRD로 조사하였으며, 형태 및 결정립크기는 TEM로 분석하였다. 반응온도 600 -1 OOO$^{\circ}C$의 온도범위에서 검은색의 WC 분말이 제조되었다. XRD 분석의 결과 로 제조된 분말은 상온에서 준안정상인 Hexagonal 구조의 $\gammar-WC_{1-x}$ 상이였으며, TEM 분석결 과 상압하에서는 약 30nm이하의 WC분말이 제조되었으며, 그 형태는 둥근 4각형의 모양을 지녔다. 감압하에서 진행한 경우 결정립의 크기는 8nm이하를 가졌다.곤가스로 산화를 방지하였고, 냉매로는 질소가스를 이용하였다. 제조된 분말을 기ㅖ적 분급법을 이용하여 분급하였고, 냉매로는 질소가스를 이용하였다. 제조된 분말을 기계적 분급ㅂ법을 이용하여 분급하였고, 압출에 이용된 분말은 250$\mu\textrm{m}$이하의 크기를 사용하였다. 또한 분말제조과정 중 형성되는 표면산화층을 제거하기 위하여 36$0^{\circ}C$에서 4시간동안 수소 환원처리를 행하였다. 제조된 분말은 열간 압출을 위하여 Aㅣcan에 넣고 냉간성형체를 만들고, 진공처리를 한 후 밀봉하여 탈가스처리를 하였다. 압출다이는 압출비가 각각 28:1과 16:1인 평다이(9$0^{\circ}C$)를 사용하여 각각 내경이 9, 12cm이고, 길이가 50, 30cm인 압출재를 제조하였다. 열간압출한 후의 미세조직을 광학현미경으로 압출방향에 평행한 방향과 수직방향으로 관찰하였고, 열간 압출재 이방성을 검토하기 위하여 X선 회절분석을 실실하여 결정방위를 확인하였다. 전기 비저항 및 Seebeck 계수 측정을 위하여 각각 2$\times$2$\times$10$mm^3$ 그리고 5$\times$5$\times$10TEX>$mm^3$ 크기의 시편을 준비하였다.준비하였다.전류를 구성하는 주요 입자의 에너지 영역(75~l13keV)에서 가장 높은(0.80) 상관계수를 기록했다. 넷째, 회복기 중에 일어나는 입자들의 유입은 자기폭풍의 지속시간을 연장시키는 경향을 보이며 큰 자기폭풍일수록 현저했다. 주상에서 관측된 이러한 특성은 서브스톰 확장기 활동이 자기폭풍의 발달과 밀접한 관계가 있음을 시사한다.se that were all low in two aspects, named "the Nonsign

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Fabrication of GHz-Band FBAR with AIN Film on Mo/SiO2/Si(100) Using MOCVD (Mo/SiO2/Si(100)기판 위에 MOCVD법으로 성장시킨 AIN박막이용 GHz대역의 FBAR제작에 관한 연구)

  • Yang, Chung-Mo;Kim, Seong-Kweon;Cha, Jae-Sang;Park, Ku-Man
    • Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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    • v.20 no.4
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    • pp.7-11
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    • 2006
  • In this paper, it is reported that film-bulk-acoustic resonator with high c-axis oriented AIN film on $Mo/SiO_2/Si(100)$ using metal-organic-chemical-vapor deposition was fabricated. The resonant frequency and anti-resonant frequency of the fabricated resonator were observed with 3.189[GHz] and 3.224[GHz], respectively. The quality factor and the effective electromechanical coupling coefficient(${k_{eff}}^2$) were measured with 24.7 and 2.65[%], respectively. The conditions of AIN deposition were substrate temperature of $950[^{\circ}C]$, pressure of 20Torr, and V-III ratio of 25000. A high c-axis oriented AIN film with $4{\times}10^{-5}[\Omega{cm}]$ resistivity of Mo bottom electrode and $4[^{\circ}]$ of AIN(0002) full-width at half-maximum(FWHM) on $Mo/SiO_2/Si(100)$ was grown successfully. The FWHM value of deposited AIN film is useful for the RF band pass filter specification for GHz-band wireless local area network.

Characteristics of Diamond Like Carbon Film Fabricated by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Method with mixed Ar, N2 gas rate (혼합된 Ar, N2 가스 유량에 따른 PECVD 방법에 의하여 제작된 다이아몬드 상 탄소 박막의 특성)

  • Gang, Seong-Ho;Kim, Byeong-Jin;Bae, Gyeong-Tae;Ju, Seong-Hu
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2018.06a
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    • pp.87-87
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    • 2018
  • 다이아몬드 상 탄소(diamond-like carbon, DLC)는 상당량의 $sp^3$ 결합을 가지는 비정질 탄소(a-C) 또는 수소화 비정질 탄소(a-C:H)로 이루어진 준안정 형태의 탄소이다. DLC는 전기 저항과 굴절률이 높고 화학적으로 다른 물질과 반응하지 않으며, 마찰계수가 낮고 경도가 높아 자기 디스크, 광학 소자 등의 다양한 분야에서 적용되고 있다[1,2]. 또한 다이아몬드에 비해 상온에서 성장이 가능할 정도로 합성온도가 낮아 적용 기판의 제한이 거의 없고, 증착 방법과 조건에 따라 탄소 결합의 다양성과 비정질성이 변화하기 때문에 넓은 범위의 특성을 얻을 수 있는 장점이 있다. 지금까지 DLC 박막의 광학적 특성, 특히 굴절률, 광학적인 에너지 밴드 갭, 자외선과 적외선 투과성에 대해서는 많은 연구가 진행되었으나 가시광선의 투과성에 대한 연구는 제한적이며[4], 가시광선 투과도 개선에 대한 연구는 전무하다. 본 연구에서는 ITO 기판 위에 DLC를 합성하고 기계적 특성과 가시광선 영역 투과도를 조사하였다. RF-PECVD(radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition) 방법에 의해서 $C_2H_2+Ar$ 혼합 가스 비율과 $C_2H_2+N_2$ 혼합 가스 비율을 변화시켜 ITO 기판 위에 DLC 박막을 합성하였다. 공정 압력과 rf-power, 증착시간, 기판온도는 0.2 torr, 40 W, 5 분, $50^{\circ}C$로 고정하고, 공정 가스는 $C_2H_2+Ar$$C_2H_2+N_2$가 200 sccm이 되도록 비율을 변화하였다. $C_2H_2:Ar$$C_2H_2:N_2$의 비율은 180 : 20, 160 : 40, 140 : 60, 120 : 80, 100 : 100이 되도록 가스의 유량을 조절하였다. 투과도는 가시광선(380 ~ 780 nm) 범위에서 측정하였고 두께와 표면조도는 AFM으로 측정하였다. 투과도는 $C_2H_2+Ar$의 Ar 가스 비율이 증가할수록 증가해 140 : 60일 때 최댓값을 나타낸 후 다시 감소하였다. $C_2H_2+N_2$ 투과도는 $N_2$ 가스 비율이 증가할수록 감소하는 경향을 나타내었다. 표면 거칠기는 $C_2H_2+Ar$ 혼합 가스를 사용한 경우의 Ar의 가스 비율이 증가할수록 증가하였다. 그러나 $C_2H_2+N_2$ 혼합 가스를 사용한 경우에는 $N_2$ 가스의 혼합 비율이 증가할수록 감소하였다.

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Changes of Brain Natriuretic Peptide Levels according to Right Ventricular HemodynaMics after a Pulmonary Resection (폐절제술 후 우심실의 혈역학적 변화에 따른 BNP의 변화)

  • Na, Myung-Hoon;Han, Jong-Hee;Kang, Min-Woong;Yu, Jae-Hyeon;Lim, Seung-Pyung;Lee, Young;Choi, Jae-Sung;Yoon, Seok-Hwa;Choi, Si-Wan
    • Journal of Chest Surgery
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    • v.40 no.9
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    • pp.593-599
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    • 2007
  • Background: The correlation between levels of brain natriuretic peptide (BNP) and the effect of pulmonary resection on the right ventricle of the heart is not yet widely known. This study aims to assess the relationship between the change in hemodynamic values of the right ventricle and increased BNP levels as a compensatory mechanism for right heart failure following pulmonary resection and to evaluate the role of the BNP level as an index of right heart failure after pulmonary resection. Material and Method: In 12 non small cell lung cancer patients that had received a lobectomy or pnemonectomy, the level of NT-proBNP was measured using the immunochemical method (Elecsys $1010^{(R)}$, Roche, Germany) which was compared with hemodynamic variables determined through the use of a Swan-Garz catheter prior to and following the surgery. Echocardiography was performed prior to and following the surgery, to measure changes in right ventricular and left ventricular pressures. For statistical analysis, the Wilcoxon rank sum test and linear regression analysis were conducted using SPSSWIN (version, 11.5). Result: The level of postoperative NT-proBNP (pg/mL) significantly increased for 6 hours, then for 1 day, 2 days, 3 days and 7 days after the surgery (p=0.003, 0.002, 0.002, 0.006, 0.004). Of the hemodynamic variables measured using the Swan-Ganz catheter, the mean pulmonary artery pressure after the surgery when compared with the pressure prior to surgery significantly increased at 0 hours, 6 hours, then 1 day, 2 days, and 3 days after the surgery (p=0.002, 0,002, 0.006, 0.007, 0.008). The right ventricular pressure significantly increased at 0 hours, 6 hours, then 1 day, and 3 days after the surgery (p=0.000, 0.009, 0.044, 0.032). The pulmonary vascular resistance index [pulmonary vascular resistance index=(mean pulmonary artery pressure-mean pulmonary capillary wedge pressure)/cardiac output index] significantly increased at 6 hours, then 2 days after the surgery (p=0.008, 0.028). When a regression analysis was conducted for changes in the mean pulmonary artery pressure and NT-proBNP levels after the surgery, significance was evident after 6 hours (r=0.602, p=0.038) and there was no significance thereafter. Echocardiography displayed no significant changes after the surgery. Conclusion: There was a significant correlation between changes in the mean pulmonary artery pressure and the NT-proBNP level 6 hours after a pulmonary resection. Therefore, it can be concluded that changes in NT-proBNP level after a pulmonary resection can serve as an index that reflects early hemodynamic changes in the right ventricle after a pulmonary resection.