축전결합형 고주파 $BCl_3$ /He 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식식각
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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- pp.221-221
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- 2010