• 한국전산유체공학회지
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• 제11권3호
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• pp.52-58
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• 2006

A numerical investigation is made of air flow in a spinner equipment used for cleanning and drying flat display panels. A unique feature of the spinner under question is the placement of a torus plate cover over the rotating plate. The turbulent flow is driven by rotation of a large disk and suction by the exhaust system connected to vacuum chamber. The flow is modelled as an axisymmetric two-dimensional flow and computation is conducted by using the FLUENT package with a version of k-$\varepsilon$ turbulence model. The required capacity of the exhaust system is assessed numerically. The usefulness of the cover in controlling air flow circulation is examined. A computational trouble shooting is attempted to resolve the problem of panel rising which occurred in real experiment.

• 한국전산유체공학회:학술대회논문집
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• 한국전산유체공학회 2002년도 추계 학술대회논문집
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• pp.114-119
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• 2002

A numerical model is employed for design of a spinner device to dry the 5-th generation LCD glass panel. The turbulent flow in a spinner is driven by rotation of a large disk and suction by the exhaust system connected to vacuum chamber, which is simulated by using the FLUENT package. Based on numerical simulation, the required capacity of exhaust system is assessed. The effects of the presence of cover on the flow characteristics are examined. A computational trouble shooting is attempted to resolve the problem of panel rising which occurred in real experiments.

• 대한작업치료학회지
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• 제26권4호
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• pp.43-55
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• 2018

목적 : 본 연구는 피젯 스피너를 활용하여 초등학교 저학년 아동의 손 기능과 글씨쓰기 명료도에 미치는 영향을 알아보고자 하였다. 연구방법 : 본 연구는 일반아동 중 우세손이 우측인 1~2학년(만 7~8세) 아동 24명을 대상으로 실험군 12명, 대조군 12명으로 무작위 분류하여 실시하였다. 연구 설계는 사전-사후 설계이다. 중재는 실험군 아동들에게만 실시하였으며, 5주간, 주 2회, 1회 당 40분씩 총 10회기로 진행하였다. 측정도구로는 중재 전, 후의 손 기능과 글씨쓰기 명료도의 비교를 위하여 젭슨-테일러 손 기능 검사(Jebsen-Taylor Hand Function Test; JHFT)와 장악력 검사(Grip Strength Test; GST) 그리고 명료도 검사(Legibility Test; LT)를 사용하였다. 자료 분석은 Wilcoxon signed rank 검정과 Mann-Whitney U 검정, 그리고 교차분석의 카이제곱 검정을 사용하였다. 결과 : 피젯 스피너 훈련은 실험군의 손 기능과 장악력, 글씨쓰기 명료도에 유의한 향상을 보였으며, 실험군과 대조군 사이의 유의한 차이를 보였다. 결론 : 본 연구는 초등학교 저학년 아동의 손 기능과 글씨쓰기 명료도를 효과적으로 향상시키는 도구로써 피젯 스피너의 가치 및 효용성을 확인하였다. 이에 향후 연구에서는 본 연구를 토대로 피젯 스피너 훈련의 효과를 검증하는 다양한 연구가 이어지길 기대한다.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제12권4호
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• pp.1812-1816
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• 2011

본 연구에서는 약액 주입 후 미 도포로 인한 복합적인 공정불량을 예방하기 위하여 100nm 이하의 나노 반도체 제조공정에서 필수적인 스피너(spinner) 장비를 위한 약액 흐름제어 시스템을 개발하였다. 본 연구개발을 통하여 실시간으로 상태요소들을 감시할 뿐만 아니라 상태요소의 비정상적 변화나 웨이퍼 가공불량이 발생할 경우 해당 유니트를 정지시킴과 동시에 원격지에 있는 엔지니어에게 경보를 전송함으로써 즉각적인 대처가 가능하여 모듈의 수율을 향상시킬 수 있을 것으로 기대된다. 또한 세부 동작 시퀀스를 제어하기 위한 H/W와 S/W 시스템을 생산라인에 실장하고 성능점검 및 인증을 수행한 결과 5가지의 유형별 비정상적 프로세스를 정확히 검출하였다.

• 한국분무공학회지
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• 제19권2호
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• pp.69-74
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• 2014

The comparison of the flow characteristics between circular and swirl jets which were controlled by the spinner attachment inside the airtube were conducted in this study. Swirl jet means a flow in whirls by mixing the flow of axial and tangential direction. Swirl flow has been used for the improvement of the combustion efficiency in the combustor. This flow is controlled by the spinner which has several vanes inclined by certain angles to the axial direction. In this study, angle of vane $30^{\circ}$ and diameter ratio of outlet to inlet of the airtube 0.73 were made. These spec. should find on the general gun type burner built in the domestic small size boiler. As the flow characteristics, axial and tangential velocities were measured by using the 2-D hot-wire velocimeter system and analyzed statistically. And also this research conducted a practical experiment considering to the attached belongings likes as ignitor, nozzle etc. on the airtube of the gun type burner. As a result, swirl occurred at the occasion of beingness and flow region extended considerably toward the radial direction. But effect of swirl did not transmit to the downstream. And the complicated flow was appeared regardless of the existence of spinner because of the effect of belongings.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제14권9호
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• pp.4467-4471
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• 2013

본 연구에서는 Nano급 반도체 생산공정에서 필수적인 스피너(spinner) 설비의 감광액 도포(photo resist coating)시스템의 효율을 획기적으로 개선할 수 있는 새로운 완전스캔(Full-scan) 방식의 감광액 도포시스템(FPCS : Full-scan Photo-resist Coating System)을 개발하였다. 또한, 감광액의 미 도포로 인한 복합적인 공정불량을 예방하기 위하여 실시간(real-time)으로 상태요소들을 감시할 뿐만 아니라 상태요소의 비정상적 변화나 웨이퍼 가공불량이 발생할 경우 해당 유니트(unit)를 정지시킴과 동시에 원격지에 있는 엔지니어에게 경보를 전송함으로써 즉각적인 대처가 가능할 수 있도록 개발하였다.