D.C. 마그네트론 반응성 스퍼터링법에 의한 Sn-doped ${In_2}{O_3}$ 박막의 밀도와 전기적 특성과의 관계
(Relationship between Film Density and Electrical Properties on D.C. Magnetron Reactive Sputtered Sn-doped ${In_2}{O_3}$ Films)
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- 한국세라믹학회지
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- 제37권7호
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- pp.686-692
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- 2000