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이온 스파터 가공에 의하 금속표면의 표면거칠기에 관한 연구 (A Study on The Surface Roughness Of Metal Workpieces Machined by Ion Sputtering)

  • 한응교;노병옥;박재민
    • 대한기계학회논문집
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    • 제14권3호
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    • pp.747-754
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    • 1990

  • 본 연구에서는 장시간 가공하는 경우 가공량과 가공물에 입사되는 이온 빔의 입사각도에 따라 이온 스파터 가공이 표면거칠기에 미치는 영향에 대해서 연구해 보았 다.

  • https://doi.org/10.22634/KSME.1990.14.3.747 인용 PDF