• 제목/요약/키워드: 스크롤 점프

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스크롤 펌프의 수소 배기특성 (Hydrogen Pumping Characteristics of a Scroll Pump)

  • 인상렬
    • 한국진공학회지
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    • 제15권1호
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    • pp.14-23
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    • 2006
  • 스크롤 펌프는 초청정 진공 시스템에서 많이 사용되고 있지만 막상 수소 배기 특성에 대해서 잘 알려져 있지 않다 이런 정보부족은 수소를 다량 사용하는 핵융합 실험장치에서 스크롤 점프가 사용 가능한지 판단하기 어렵게 만든다 이 논문에서는 특히 수소에 대한 스크롤펌프의 배기속도, 압측비 및 역류특성을 측정하기 위해 구성한 실험장치, 측정절차와 실험결과에 대해 기술하고 논의했다.