• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.565-566
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• 2011

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 1993년도 추계학술대회 논문집
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• pp.171-176
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• 1993

초정밀 공작기계의 구조물은 Sub-micron의 운동정밀도를 갖추어야 초정밀기계로서의 기능이 유지된다. 특히 가공기의 베드구조물은 구동요소간의 상대 위치를 정.동적으로 규정 해주는 중요한 기본구조물이므로 고강성, 고쇠감성,열안정성, 경년변화에 대한 치수의 안정성등의 성능이 요구되며, 이를위해 공간적인 형상 설계 및 구조재의 선정에 고도의 기술이 필요하다. 따라서 본 연구는 낮은 고유진동수의 특성을 갖으면서 하중의 설치높이의 변화에서도 고유진동수가 일정히 유지되고 또한 구조물의 중심변화에 대한 수평조절이 가능하면서 자동제어가 가능한 공기스프링을 초정밀 가공기의 방진시스템으로 활용방안에 대하여 연구하였다.

• 대한토목학회논문집
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• 제7권1호
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• pp.131-139
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• 1987

본(本) 연구(硏究)는 다중사진기법(多重寫眞技法)(multiple method)에 의한 직각수평(直角水平)의 경우(normal case)와 수검수평(收劎水平)의 경우(convergent case)의 특성(特性)을 비교(比較)함으로써 다중사진(多重寫眞)(multi-photos)의 특성(特性)과 최적촬영(最適撮影) 방법(方法)을 제시(提示)하고 이를 모형구조물(模型構造物)의 재하변형측정(載荷變形測定)에 적용(適用), 종래(從來)의 변형측정방법(變形測定方法)과 비교(比較)하여 그의 정확성(正確性), 효용성(效用性) 및 적용(適用) 타당성(妥當性)을 제연(提硏)하는데 목적(目的)이 있다. 그 결과(結果) 구조물(構造物)의 국부적(局部的) 정밀해석(精密解析)을 위한 최적촬영(最適撮影) 조건(條件)은 $90^{\circ}$ 다중수검수평(多重收劎水平)의 경우 (multiple convergent case)를 이용(利用)하는 것이 가장 이상적(理想的)이며, 이를 변형측정(變形測定)에 적용(適用)할 경우 각(各) 교수(校數)에서 직각수평(直角水平) 경우보다 약 55% 이상(以上)의 정확도(正確度) 향상(向上)과 정밀(精密) level의 측정(測定)값에 $5{\sim}9{\mu}m$ 이내(以內)로 접근(接近)되므로 구조물(構造物)의 정밀측정(精密測定)은 물론 변형해석(變形解析)에 이의 활용(活用)이 기대(期待)된다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.215-215
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• 2012

Sillicon Wafer는 순도 99.9999999%의 단결정 규소를 사용하여 만들어진다. 웨이퍼의 표면은 결함이나 오염이 없어야 하고 회로의 정밀도에 영향을 미치기 때문에 고도의 평탄도와 정밀도를 요구한다. 특히 실리콘의 순도는 효율성에 영향을 주는 주요 원인으로 금속의 오염은 실리콘 웨이퍼의 수명을 단축시켜 효율성을 떨어뜨린다. 표면에 흡착된 구리와 니켈은 Silicon 오염의 주요인 중 하나로 알려져 있다. 이 연구는 Silicon Wafer 표면에 흡착된 구리가 내부로 확산되는 메커니즘을 규명하는 것을 목표로 한다. 표면에 구리가 흡착된 상태는 AES 및 LEED로 관찰하였다. 표면에 흡착된 구리의 표면(수평)및 내부(수직)확산은 SIMS를 이용하여 연구하였다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.1309-1310
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• 2010

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.975-976
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• 2009

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.647-648
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• 2011

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.1533-1534
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• 2011

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2011년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.67-68
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• 2011

• 한국항공우주학회지
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• 제39권8호
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• pp.796-803
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• 2011

정지 상태에서 관성항법장치를 구성하는 가속도계 및 자이로 측정치를 이용하여 초기 자세를 구하는 것을 초기정렬 혹은 자가정렬이라 한다. 초기정렬의 정밀도는 관성항법장치에 탑재되는 관성센서의 성능에 의하여 결정되며 수평축 자세는 수평축 가속도계, 수직축 자세는 E축 자이로 성능에 의해 결정된다. 그러므로 관성센서에서 발생된 불확실한 오차는 초기정렬의 정밀도를 저하시키는 주요원인이 된다. 논 논문에서는 관성센서의 불확실한 오차 중에서 관성항법장치에 전원이 인가되어 온도가 안정화 되는 상태에서의 관성센서 오차가 초기정렬 성능에 어떠한 영향을 미치는 가를 이론적으로 분석하고 시뮬레이션을 통하여 검증한 결과를 제시한다.