• 제목/요약/키워드: 수소 환원

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CVD 텅스텐의 응력 및 접합 누설전류 특성 (Stress and Junction Leakage Current Characteristics of CVD-Tungsten)

  • 이종무;최성호;이종길
    • 한국진공학회지
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    • 제1권1호
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    • pp.176-182
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    • 1992
  • CVD 텅스텐의 응력 및 접합 누설전류 특성을 조사하였다. 응력-연속 어닐링온도 의 그래프는 냉각곡선의 응력이 가열곡선의 그것보다 더 높게 나타나는 이력현상을 보인다. SiH4 환원에 의하여 증착된 텅스텐 막이 수소환원에 의하여 증착된 막보다 전반적으로 내부 응력 뿐만 아니라 열 응력도 더 큰 것으로 나타났으며 전자가 후자에 비해 실리콘 기판과의 부착특성이 불량한 것도 이러한 응력차와 유관한 것으로 생각된다. SiH4 환원에 의하여 형 성된 텅스텐 막은 상온에서 인장 응력 상태에 있으며, 온도가 증가됨에 따라 응력이 감소하 다가 $700^{\circ}C$ 부근에서 압축 응력 상태로 바뀌고, 계속 더 온도가 증가됨에 따라 압축 응력 이 급격히 증가한다. SiH4 환원에 의한 텅스텐 막의 증착 온도가 증가함에 따라 n+/p 접합 의 누설전류가 크게 증가하며, 특히 $400^{\circ}C$로 온도가 증가함에 따라 누설전류의 증가폭이 크게 나타났는데, 이것은 수소환원 반응시와 유사하게 텅스텐의 침투(encroachment)에 의 한 실리콘 소모가 그 원인이다. SiH4/WF6 유속비의 증가에 따라서도 누설전류가 증가하는 데 그 효과는 미소한 것으로 나타났다.

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저온 플라즈마 조건에서 탈황.탈질 반응 특성 연구 (A Study on The Reaction Characteristics of Desulfurization and Denitrification in Non-Thermal Plasma Conditions)

  • 신대현;우제경;김상국;백현창;박영성;조정국
    • 에너지공학
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    • 제8권1호
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    • pp.150-158
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    • 1999
  • 본 연구는 저온플라즈마를 이용하여 배기가스중의 SOx와 NOx를 동시에 처리하는 공정을 개발하는 것으로서, 최적의 반응제 선정과 효율적인 공정의 구성을 위해 SOx, NOx와 반응제와 반응기구를 밝히고자 하였다. 실험은 1.0 N㎥/h의 모사가스를 이용한 기초실험과 20 N㎥/h의 실제 연소가스를 이용한 실험으로 진행되었으며, 반응제로는 NH3와 파리핀계 및 올레핀계 탄화수소를 사용하였다. NH3를 반응제로 한 SO2 제거반응은 비플라즈마 조건에서는 NH4HSO3, 플라즈마 조건에서는 (NH4)2SO4의 생성반응이었고, 두 조건 모두 높은 제거율을 나타냈다. 반응제를 사용하지 않은 플라즈마 조건에서 SO2는 환원반응이 일어나고 O2 농도의 증가는 역반응을 증가시키는 화학평형에 의해 SO2의 제거율이 감소되었다. 플라즈마 조건에서 NO는 O2농도가 낮은 경우는 NO의 환원반응이 주로 일어나고, O2 농도가 높을 경우는 산화반응이 지배적이었다. 올레핀계 탄화수소는 플라즈마 조건에서 NO 산화 반응에 탁월한 효과를 보였을 뿐만 아니라 SO2 제거에도 효과를 보여 최대 40%의 제거율을 나타냈으며, NH3의 사용을 줄일 수 있음을 확인하였다.

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전해환원수를 이용한 탄산염 광물화 원료용 사문석의 전처리 (Serpentine Pretreatment Using Electrolyzed Reduced Water for Mineral Carbonation Materials)

  • 최원경
    • 한국수소및신에너지학회논문집
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    • 제20권5호
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    • pp.447-454
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    • 2009
  • Electrolyzed reduced water was known as an alkaline solvent than piped water, natural water and mineral water etc. By means of reduction property, electrolyzed reduced water could dissolve a solute than other kinds of water without chemicals. In this study, serpentine dissolution in electrolyzed reduced water was investigated as a novel pre-treatment of serpentine which was a minerals for carbon dioxide sequestration. The elements (Ca, Si, Mg etc.) of serpentine were dissolved rapidly at early in the dissolvation then after some minutes the solubilities of serpentine elements showed stable state without abrupt changes. In spite of serpentine elements dissolution, chemical bondings and crystallographic structure of serpentine were not changed. It was explained that the dissolution mechanism of serpentine occurred from surface in electrolyzed reduced water and bulk structure sustained without collapse.

수소환원공정에 의한 니켈 미분말의 합성에 미치는 마그네슘 스테아린산의 첨가 영향 (Effect of magnesium stearate addition on synthesis of fine nickel powders by hydrogen reduction process)

  • 이윤복;이상근;박희찬;이미혜;김광호
    • 한국결정성장학회지
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    • 제13권3호
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    • pp.117-121
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    • 2003
  • 염화 니켈과 마그네슘 스테아린산 혼합 분말로부터 수소환원 공정에 의하여 니켈 분말을 제조하고 반응온도 및 마그네슘스테아린산의 첨가에 따른 분말의 특성을 검토하였다. 마그네슘 스테아린산을 함유한 경우 과도한 입자 성장의 억제로 인하여 입경 감소 효과가 있었다. 마그네슘 스테아린산의 함유량이 증가함에 따라 이에 따른 액상량의 증가로 인하여 입경 감소와 입자들간의 응집 정도에도 영향을 주었다.

국내 A 쓰레기 매립장의 침출수에서 보여지는 동위원소 특성

  • 이광식;김을영;신동복;유동준;엽병우;고경석
    • 한국지하수토양환경학회:학술대회논문집
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    • 한국지하수토양환경학회 2004년도 임시총회 및 추계학술발표회
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    • pp.455-457
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    • 2004
  • 환경동위원소 기법을 쓰레기 매립장의 침출수 및 주변 지하수에 적용해본 결과 미생물의 활동에 의한 유기물의 분해과정에 대한 정보를 얻을 수 있었다. 특히 유기물 분해로 생성된 이산화탄소는 일차적으로 침출수의 알칼리도를 높이고 이차적으로 일어나는 이산화탄소의 환원작용에 의하여 메탄가스가 형성되었다. 이러한 과정에서 침출수에 잔류하는 용존무기탄소(DIC)의 탄소 동위원소 조성이 크게 부화되었으며, 아울러 생성된 메탄과의 수소동위원소 교환반응에 의하여 물의 수소 동위원소 조성이 크게 부화되는 특징이 국내에서 처음 관찰되었다.

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국내 A 쓰레기 매립지의 침출수와 생성가스와 지구화학적 특성

  • 이광식;고경석;김재곤
    • 한국지하수토양환경학회:학술대회논문집
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    • 한국지하수토양환경학회 2005년도 총회 및 춘계학술발표회
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    • pp.433-436
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    • 2005
  • 국내 A군에서 운영중인 한 쓰레기 매립지에서 배출되는 침출수와 주변 지하수를 채취하여 화학분석과 동위원소 분석을 실시하였다. 그리고 생활 쓰레기가 분해되는 과정에서 생성되는 가스들을 채집하여 동위원소 분석을 실시하였다. 유기물 분해로 생성된 이산화탄소는 일차적으로 침출수의 알칼리도를 높이고 이차적으로 일어나는 이산화탄소의 환원작용에 의하여 메탄가스가 형성되었다. 이러한 과정에서 침출수내의 용존무기탄소(DIC)의 탄소 동위원소 조성이 부화되었으며, 아울러 생성된 메탄과의 수소 동위원소 교환반응에 의하여 침출수의 수소 동위원소 조성이 크게 부화되는 특징이 관찰 되었다. 쓰레기장에서 발생되는 혼합가스에서 이산화탄소를 분리하여 탄소 동위원소 조성을 분석해 본 결과 새로운 매립지 보다 오래된 매립지에서 배출되는 이산화탄소의 탄소 동위원소 조성이 부화되는 특징이 관찰되었다.

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질소 제거를 위한 전기화학적 처리 공정의 최적 운전조건 및 폐수 성상에 따른 영향에 관한 연구 (A Study on the Optimum Operating Conditions and Effects of Wastewater Characteristics in Electrochemical Nitrogen Removal Process)

  • 심주현;강세한;서형준;송수성
    • 대한환경공학회지
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    • 제31권1호
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    • pp.29-34
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    • 2009
  • 표면처리폐수 내 질산성 질소를 제거하기 위한 전기화학적 처리공정에서 전극간격, 환원제, 1단 처리수 반송, 타 물질과 동시 처리 등 네 가지 조건을 변화시키며 실험을 진행하였다. 실험 결과, 전극간격은 10 mm일 때 질산성 질소 제거효율이 높았으며 10 mm 보다 전극간격이 좁아질 경우 농도분극 현상의 증가로 인해 제거효율이 감소하며 10 mm 보다 넓어질 경우 전압이 상승하여 에너지 소모가 증가하였다. 환원제 영향에 대한 실험 결과, 질산성 질소가 환원되는 과정에서 수소가 소모되기 때문에 수소이온 농도가 높은 산성조건에서 더 원활한 환원반응이 이루어졌으며 아연을 1.2배 투입할 경우 질산성 질소와의 반응량이 증가하여 질산성 질소 제거효율이 증가하였다. 1단 처리수를 반송할 경우 난류가 형성되어 환원전극에 부착된 아연이 탈착되어 재 이용되고 내부 확산이 증가하여 농도분극현상이 감소함으로 인해 질산성 질소 제거효율이 증가하였으며 아연 투입량 감소 효과가 나타났다. 암모니아성 질소는 질산성 질소 제거에 영향을 미치지 않았고 폐수 내 염소성분이 충분할 경우 질산성 질소와 동시 처리에도 문제가 없는 것으로 나타났다. 중금속은 환원되는 과정에서 전자를 소모하여 질산성 질소 제거효율은 감소하지만 전류밀도 증가나 본 장치의 전단을 중금속 제거용으로 사용하는 방법 등으로 해결이 가능할 것으로 생각한다.

삼중점과 임계점간 파라수소의 증기압 예측 (Prediction of Vapor Pressure of Parahydrogen from the Triple to the Critical Point)

  • 정재관
    • 대한화학회지
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    • 제45권4호
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    • pp.293-297
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    • 2001
  • 문헌에 보고된 삼중점과 임계점간 기존의 파라수소 증기압 측정값을 이용하여 환원증기압과 환원온도 형태의 아래와 같은 식의 지수와 상수를 구하는데 사용하였다. $lnP_r=2.64-{\frac{2.75}{T_r}}+1.48129lnT_r+0.11T^5_r$ 증기압을 계산하기 위해서 필요한 것은 정상 끓는점($T_b$= 20.268K), 임계압력($P_c$= 1292.81 kPa) 및 임계온도($T_c$= 32.976K)뿐이며 153개 파라수소의 증기압 실험자료에 적용하여 본 결과 전체 평균편차가 0.21% 였다.

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