• 대한기계학회논문집B
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• 제35권8호
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• pp.825-829
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• 2011

본 연구에서는, 미소유체시스템 상에서 정밀한 유체 제어를 위해 입력압력이 변하여도 일정한 유량을 유지할 수 있는 수동형 유량제어기를 개발함에 있어, 주기적으로 변화하는 압력에 대한 유량제어기의 동적특성을 평가하였다. 압력 변화의 주기보다 짧은 시간 내에 유량을 측정하기 위하여 입자영상속도계(Particle Image Velocimetry, PIV) 방법을 이용하였다. 지름이 $0.7{\mu}m$ 인 형광입자가 담긴 탈이온수를 유량제어기에 공급하고, 펄스레이저와 형광현미경을 이용하여 $10{\mu}s$ 간격의 연속된 사진을 얻고 이를 분석하여 유량제어기를 통과한 후의 유체의 속도를 측정하였다. 개발된 유량제어기는 20kPa 과 50kPa 사이를 주기적으로 변화하는 60Hz 의 압력 하에서 0.194${\pm}$0.014m/s의 일정한 유속을 유지함을 실험적으로 확인하였다. 압력의 주파수를 1~60Hz 까지 변화시켜가며 수행한 실험에서도 유량제어기는 압력의 주파수에 상관없이 $5.82{\pm}0.29\;{\mu}l/s$ 의 일정한 유량 공급이 가능함을 확인하였다.

• 대한기계학회논문집A
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• 제33권6호
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• pp.573-576
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• 2009

We present a passive flow-rate regulator, capable to compensate inlet pressure variation and to maintain a constant flow-rate for precise liquid control. Deflection of the parallel membrane valves in the passive flowrate regulator adjusts fluidic resistance according to inlet fluid pressure without any external energy. Compared to previous passive flow-rate regulators, the present device achieves precision flow regulation functions at the lower threshold compensation pressure of 20kPa with the simpler structure. In the experimental study, the fabricated device achieves the constant flow-rate of $6.09{\pm}0.32{\mu}l/s$ over the inlet pressure range of $20{\sim}50$ kPa. The present flow-rate regulator having simple structure and lower compensation pressure level demonstrates potentials for use in integrated micropump systems.