• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
• /
• 한국소음진동공학회 2007년도 춘계학술대회논문집
• /
• pp.993-999
• /
• 2007

반도체나 TFT-LCD등을 생산하는 정밀산업 공장구조물에는 진동에 민감한 수많은 정밀장비(검사 및 생산용 장비)가 청정실(Clean Room)에 설치되어 운용된다. 정밀장비는 정상운용을 위하여 주변에 각종 유틸리티 설비가 설치된다. 이러한 수많은 유틸리티 설비들과 그 밖의 많은 장비들로 인하여 공장 내 청정실에는 각종 수 많은 소음/진동원들이 산재해 있다. 이러한 소음/진동원으로 인하여 청정실 내에는 소음/진동의 환경을 저하시킨다. 이에, 본 연구에서는 정밀장비 주변에 설치 된 유틸리티의 가동으로 인하여 발생하는 진동으로 인하여 간헐적으로 정밀장비에 영향을 미치는 과도진동의 현상을 확인하고, 과도진동 현상에 대하여 정밀장비에서 제시한 진동허용규제치와 비교/평가하고, 진동허용규제치의 유효성에 대하여 확인하였다.

• 소음진동
• /
• 제18권4호
• /
• pp.20-24
• /
• 2008

• 소음진동
• /
• 제10권3호
• /
• pp.396-400
• /
• 2000

• 소음진동
• /
• 제14권5호
• /
• pp.24-30
• /
• 2004

• 소음진동
• /
• 제5권4호
• /
• pp.473-481
• /
• 1995

• 소음진동
• /
• 제23권3호
• /
• pp.30-34
• /
• 2013

• 소음진동
• /
• 제8권3호
• /
• pp.375-382
• /
• 1998

• 소음진동
• /
• 제9권3호
• /
• pp.443-450
• /
• 1999

• 소음진동
• /
• 제22권4호
• /
• pp.8-12
• /
• 2012

• 소음진동
• /
• 제13권6호
• /
• pp.345-351
• /
• 2003