• Composites Research
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• v.17 no.4
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• pp.32-39
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• 2004

Among many fiber optic sensors, FBG sensors are being studied more actively than any other sensor due to good multiplexing capabilities. Recently, the application fields of FBG sensors are mainly focused on the composite materials through embedding rather than attaching on the surface. However, there are many limitations on the embedding FBG sensors into composite materials because of the birefringence effects which is induced when FBG sensors are not embedded parallel to the reinforcing fiber. In this study, the fabrication method of FBG sensors with various grating length that are easy to fabricate with good multiplexing capabilities and more stable from the birefringence effects are investigated. The signal characteristics of the FBG sensors are also verified through the cure monitoring of 2 kinds of composite materials.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 1994.07a
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• pp.66-68
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• 1994

강유전체 박막과 마이크로 가공기술을 이용하여 초전형 적외선 센서를 제작하였다. 초전형 적외선 센서는 $Pb_{1-x}La_xTi_{1-x/4}O_3$ (x=0.05) (PLT) 강유전체 박막 커패시터를 RF 마그네트론 스퍼터링 방식으로 백금 전극이 증착된 MgO 기판상에 결정 성장시킨 구조를 갖고 있다. 스퍼터링된 PLT 바닥은 높은 c-축 결정 구조를 가지므로 센서로 사용하기 위한 poling 처리 과정이 필요하다. 이는 적외선 이미지 센서를 구현함에 있어서 수율 향상에 필수적인 요소이다. 마이크로 가공 기술을 사용하여 센서의 열용량을 극소화 함으로서 센서의 효율을 최대화하였다. 제작된 센서의 상부에 폴리이미드를 코팅하고 MgO 기판을 선택적으로 식각하여 코팅된 폴리이미드가 강유전체 박막 커패시터를 지지하고 있는 구조를 구현하였다. 이렇게 제작된 센서의 감도는 상온에서 $8.5{\times}10^8cm{\cdot}{\sqrt}{Hz/W}$로 측정되었으며 이는 마이크로 가공 기술을 사공하지 않은 경우보다 약 100 때의 감도 향상을 가져왔다.

• Proceeding of EDISON Challenge
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• 2017.03a
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• pp.560-565
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• 2017

본 논문에서는 jansen's linkage와 기구설계를 기반으로 Theo Jansen의 strandbeast을 DC모터를 통해 구동하는 8족 보행로봇으로 설계 및 제작하고, 그에 대한 해석을 제시한다. 제작된 로봇은 크게 구동부, 제어부, 센서부로 나눌 수 있으며, 구동부는 모터와 다리로, 제어부는 Arduino 보드로 그리고 센서부는 광센서로 구성되어 있다. 구동부의 다리부분은 에디슨의 M-sketch를 통해 설계하였고, 제어부는 센서의 신호를 트랙에 맞추어 적합하게 받아드릴 수 있도록 코딩을 작성하였다. 제작된 로봇은 일반적인 로봇이 아니라 트랙에 맞추어 특화된 로봇으로 그 목적이 제한되어 있음을 밝히는 바이다.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.9 no.4
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• pp.25-29
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• 2002

We have fabricated a vertical trench Hall device which is sensitive to the magnetic field parallel to the sensor surface. The vertical trench Hall device has been built on SOI wafer which is produced by silicon direct bonding technology using bulk micromachining, where buried $SiO_2$ layer and surround trench define active device volume. Sensitivity up to 150 V/AT has been measured.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.422.1-422.1
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• 2014

E-textile과 같은 웨어러블 전자소자는 휴대용 전자소자, 의료센서 및 디스플레이 등을 포함하는 다기능 직물등의 적용가능 응용분야에서의 잠재력으로 인하여 많은 관심을 가지고 있다. 따라서 본 논문에서는 이같은 응용분야에 적용하기 위하여 전기방사를 이용한 나노크기의 나일론 섬유를 제작하고 reduced graphene oxide를 섬유에 코팅하여 전도성을 가지는 나노섬유를 제작하였다. 나일론 알갱이를 포름산에 녹인 용액을 이용하여 전기방사를 통해 약 100 nm 두께를 가지는 나노섬유를 제작하였다. 제작된 나일론 섬유와 그래핀 옥사이드 사이의 결합력을 향상시키기 위하여 BSA(bovine serum albumin)으로 표면 처리를 하였다. 마지막으로 나일론 섬유에 코팅된 그래핀 옥사이드를 hydrazine을 이용하여 환원하여 전도성을 가지는 섬유를 제작하였다. 제작된 전도성을 가지는 섬유는 약 10 kohm 정도의 저항을 가지는 것을 확인하였으며, 물리적인 외부 변형에서도 안정적으로 전도성을 가지는 것을 확인하였다. 이러한 전도성을 가지는 나노섬유는 웨어러블 전자소자를 제작하는데 응용 가능할 뿐만 아니라, 전기방사를 통한 나노구조물 제작 기술을 가스센서, 바이오센서, 태양전지, 나노소자등 다양한 분야에 적용 가능한 우수한 기술이라고 생각한다.

• 전자공학회논문지 IE
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• v.44 no.1
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• pp.6-9
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• 2007

Twenty four types of thermopile for micro spectrometer infrared sensors were fabricated on low-stress Si3N4 membranes with $l.2{\mu}m-thickness$ using MEMS technology. Thermopile were designed and fabricated for optimum conditions by five parameters of thermocouple numbers $(16\sim48)$, thermocouple line widths $(10{\mu}m-25{\mu}m)$, thermocouple lengths $(100{\mu}m-500{\mu}m)$, membrane areas $(12mm2\sim2.52mm2)$ and junction areas $(150{\mu}m2\sim750{\mu}m2)$, respectively. It was thought that measurement results could be used for thermopile infrared sensors optimum structure for micro spectrometers.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2002.07c
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• pp.1979-1981
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• 2002

새로운 방식의 일체형 flexible sensor module을 제작하였다. MEMS공정을 이용하여 제작된이 센서 모듈은 배선기판은 물론 strain sensor 역시 임의의 곡면에 실장을 위해 자유로운 굽힘이 가능하도록 제작되었다. 실리콘웨이퍼에 구현된 piezoresistor 스트레인 센서는 release-etch 방법을 통해 웨이퍼로부터 분리되어, 폴리이미드를 기판으로 하는 Flexible Sensor Array Module로 완성되었다. 소자와 기판을 따로 제작한 후 조립하는 기존의 방식에 비해, 웨이퍼 위에서 flexible 기판을 형성하여 수율이 높고 사진공정의 정밀도를 그대로 보전한 기판과 센서 어레이의 패키징이 가능하였으며, 칩을 기판에 실장하기 위한 정밀한 조립공정도 불필요하였다. 폴리이미드 기판은 전기도금을 통해 회로를 구성하여 1단계 패키징 (die to chip carrier)과 2단계 패키징 (chip to substrate)을 웨이퍼 레벨에서 완성하였다. 마지막으로 불산 용액을 통해 희생층을 제거함으로서 웨이퍼로 부터 센서어레이 모듈을 분리 하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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• 2011.05a
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• pp.777-778
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• 2011

본 논문에서는 높은 신뢰성과 긴 수명을 특징으로 하는 저가형 센서로 마그네틱 픽업코일 방식의 자기유도작용을 이용한 수동형 차륜 속도센서를 제작하여 그 특성을 분석하였다. 제작된 수동형 차륜 속도센서는 직접적인 유도 기전력을 감지하여 유도하는 Pole piece, 영구자석과 Bobbin역할을 하는 내피와 코일로 구성된 센서부, 세서를 보호하고 외부 노이즈를 제거하는 외피부, 그리고 센서를 보강 및 고정하기 위한 플랜지부로 구성된다. 제작된 센서를 기성품과 특성을 비교, 분석하였다.

• Journal of Sensor Science and Technology
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• v.7 no.4
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• pp.279-284
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• 1998

A surface plasmon resonance (SPR) sensor system for the determination of sucrose concentration was constructed with a gold thin film sensing chip. The properties of gold thin film are critical factors in exciting surface plasmon resonance phenomena. Therefore in the present paper, the fabrication conditions of gold thin film were investigated to optimize the SPR phenomena. The optimum thickness was obtained as $545{\AA}$ with $43.75^{\circ}$ resonance angle and good surface roughness limitation. about $3{\AA}$. The linear resonance angle shifts and rapid response were observed from the sucrose concentrations ranged from 0 to 40wt%.

• Journal of Sensor Science and Technology
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• v.8 no.1
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• pp.1-9
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• 1999

A study has been made on the fabrication of a dual mode(a longitudinal and shear mode) ultrasonic sensor using a single PZT piezoelectric ceramic element. We investigated the mechanism of the dual mode sensor that generated both of the longitudinal and the shear waves simultaneously with the single PZT element. Through the analysis of analytic wave propagation equations, all the possible crystal cuts have been examined to determine appropriate Euler transformation angles for efficient excitations of the dual modes. We studied the performance of a PZT element as a function of its rotation angle so that its efficiency is optimized to excite the two waves of equal strength. Experimental examination of the waveform on a delay line(STS303) setup confirms that the ultrasonic sensor can transmit and detect both longitudinal and shear waves simultaneously.