• Title/Summary/Keyword: 설비개선

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반도체 설비의 Fan Filter Unit 에서 발생하는 진동이 Wafer 생산성에 미치는 영향

  • Jo, Gwi-Yeong
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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    • 2014.04a
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    • pp.121-121
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    • 2014
  • 본 연구에서는 반도체 제조의 Diffusion 공정설비의 FFU (Fan Filter Unit) 진동에 의해 발생한 wafer 불량 현상을 규명 및 개선하였다. EFEM(Equipment Front End Module)의 Loading 부에 장착된 FOUP(Front Opening Unified Pod)에 들어 있는 Wafer 들이 설비 EFEM 하부로 떨어져 깨지거나 FOUP 내에서 겹침 현상이 발생하는 것을 확인하였다. 이에 생산현장의 모든 Diffusion 공정 설비를 조사하였으며, 그 결과 A 사(社)의 특정 설비에서만 발생되는 현상임을 확인하였다. 해당 A사(社)설비군에서만 월 평균 10 건의 Slot Mapping Error 가 발생하였으며, 이로 인해 Wafer가 재 제조된 매수가 월 평균 53 매로 확인되었다. 따라서 본 연구는 A 사(社)설비에서 발생하는 Mapping Error 의 원인 규명 및 개선을 위해 추진되었다. 총 12 개의 항목을 불량 발생 원인 후보 군으로 선정 후 예비 진단한 결과 FFU(Fan Filter Unit)에 의한 문제 발생 가능성이 가장 높을 것으로 추정되었다. 이에 따라 4 개의 서로 다른 물리적 환경/조건에서 진동을 측정하였으며, 최종 평가 결과 Motor 와 Blade 의 불균형에서 기인한 진동이 설비의 loader 부에 직접적으로 영향을 주는 것을 확인하였다. 진동 문제를 해결하기 위해 고 RPM blade 에서 저 RPM 및 유량 감소를 보완할 수 있는 신규모델로 교체하였다. 신규 Module(blade/motor) 장착 후 Load port 에서의 진동 측정 결과 개선 전 대비 91% 감소하였으며, 결과적으로 Slot mapping error 발생 건수가 50% 이상 감소되는 효과와 Wafer 재 제조 매수도 월 평균 약 43% 감소하는 효과를 얻을 수 있었다.

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Development of 23kV Cubicle Typed Power Capacitors with Switchgear (23kV급 방재밀폐형 개폐장치부 전력용 콘덴서 개발)

  • Bahang, S.W.;Baik, S.D.;Koo, B.W.;Hur, Y.H.;Lee, K.C.
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2006.07a
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    • pp.434-435
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    • 2006
  • 154kV 변전소 건설시 표준규모로 조상설비 설치공간을 확보하고 있으나 표준용량대비 초과설치가 필요하거나 기설 구형변전소에 조상설비를 설치하기 위해서는 옥외설치를 위한 추가 부지 확보가 반드시 요구된다. 하지만 산림훼손 최소화, 부지매수비용과다 등 변전소부지 확보가 한층 더 어려워진 현 여건을 감안할 때 전력용 콘덴서 설치를 위한 추가부지 확보는 곤란한 상황이다. 더욱이 도심지나 주택가 인근 변전소에 조상설비를 설치할 경우 옥외설치에 따른 소음발생, 미관훼손 등으로 인해 각종 민원이 끊이지 않는 실정이다. 이러한 문제점을 개선하기 위하여 설치면적을 최소화할 수 있는 조상설비를 개발하여 효율적으로 기기를 배치함으로써 건설예산을 절감하고 기술진보에 따른 변전설비의 소형화, 집적화, 자동화 추세에 부응하여 전력용 콘덴서 설비를 획기적으로 개선함으로써 도심지 및 주택가 인근 옥외 설치 시 발생되는 민원을 예방함과 동시에 설비운전의 안전성을 확보하고자 하였다. 이에 따라 설치면적 최소화, 미관 개선, 설비 신뢰도 및 안전성 향상을 목적으로 전력용 콘덴서 뱅크 구성에 필요한 각종 기기를 수납한 방재밀폐형 개폐장치부 전력용 콘덴서를 개발 추진하게 되었다.

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A Study on the Technical Standards for Improving Customer Cabling Systems (구내통신선로설비 고도화를 위한 기술기준 개선에 관한 연구)

  • 이영환;백종현;이현태
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 1999.11a
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    • pp.71-75
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    • 1999
  • The customer cabling systems play an important role in the telecommunication networks as an distribution network facilities between the exchange and customer premises. The present standards for domestic customer cabling systems are insufficient for supporting high speed multimedia services. In this paper, the status of the related international standardization and technical standards are investigated in order to enhance current customer cabling facilities in Korea. This paper analyzes the problems in the current technical standards and suggests how to improve technical standards.

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법령과 고시-건축물의 설비기준 등에 관한 규칙 개정

  • Korea Mechanical Construction Contractors Association
    • 월간 기계설비
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    • no.3 s.188
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    • pp.34-35
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    • 2006
  • 건축법 중 건축물의 설비기준등에 관한 규칙의 일부가 지난 2월 13일 개정, 공포되었다. 이번에 개정된 주요 내용은 그동안 공동주택 및 다중이용시설의 환기설비기준이 없어 적정수준의 실내의 공기 질을 확보하지 못하여 국민건강을 해치는 등의 문제점을 개선하여 △공동주택의 필요환기 횟수를 시간당 시간당 0.7회 이상이 되도록 하고 다중이용시설 중 지하 역사의 경우 필요 환기량을 1인 기준으로 시간당 25㎡ 이상이 되도록 하는 등 건축물의 용도에 따라 환기설비기준을 정함으로써 공동주택 및 다중이용시설의 실내의 공기 질 개선을 통해 국민의 건강 증진에 기여할 것으로 기대된다. 또한 △피뢰설비의 설치기준을 강화하여 건축물의 높이가 60m 이상인 고층 건축물은 측면에 낙뢰방지시설을 설치하도록 개정함으로써 고층 건축물의 벼락 피해를 예방할 수 있을 것으로 기대된다. 본지는 건축물의 설비기준등에 관한 규칙 중 신∙구조문 대비표를 게재하오니 회원사 여러분의 많은 참고를 바란다.

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Estimation of GHGs Emission to Improvement of Facility Efficiency in the Food wastewater Treatment Process (식품폐수처리시설의 설비효율 개선에 따른 온실가스 배출량 평가)

  • An, Sang-Hyung;Song, Jang-Heon;Kim, San;Chung, Jin-Do
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.20 no.2
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    • pp.378-384
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    • 2019
  • In the food wastewater treatment facilities, the water quality improvement effect and the greenhouse gas emission amount followed by the change in electricity usage through a change of the aeration tank ventilation system were evaluated. also, the amount of greenhouse gas emission followed by the change in electricity usage through the change of the sludge dewatering, storage, transporting method was also evaluated. The total GHG emission from food wastewater treatment facility improvement were divided into direct emissions from the treatment processes and indirect ones from electricity usage. The water quality improvement effect of wastewater treatment plant was found to be 63.3% for BOD removal rate, 42.0% for COD removal rate, 71.0% for SS removal rate and 39.6% for T-N removal rate. and according to the results of calculating output by applying both direct emissions of greenhouse gas (Scope 1) and the indirect emission (Scope 2) of greenhouse gas followed by changes in power consumption. It was estimated that there was a total of 276.0tCO2eq./yr(7.5%) greenhouse gas reduction effect from 3,668.8tCO2eq./yr before improvement to 3,392.8tCO2eq./yr after improvement. In this result is not due to the effects of water quality improvement of emission source, but because the reduction in electricity use has reduced the amount of greenhouse gas emissions.

가스시공 (2): 건축물 가스배관 설치기준 개선 연구 돌입

  • 대한설비건설협회
    • 월간 기계설비
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    • s.246
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    • pp.58-71
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    • 2011
  • 건축물 외벽에 노출해 설치토록 유지해 온 국내 도시가스사업법 가스배관 설치기준의 개정 논의가 본격화됐다. 한국가스안전공사는 지난 해 12월 16일 서울지역본부에서 정책 기술자문위원 8명이 참석한 가운데 '건축물 가스배관 설치기준 개선 공동연구'에 대한 착수회의를 갖고 본격적인 개정작업에 돌입했다. 연구기간은 내년 2011년 10월까지 총 11개월이며 이 연구에는 한국가스안전공사, 한국가스학회, 한국건설생활환경시험연구원, (주)삼천리 등 4개 기관이 참여하여, 안전성 검증과 설치기준, 시공매뉴얼 등을 마련하게 된다. 한국가스안전공사의 '건축물 가스배관 설치기준 개선 공동연구' 추진은 그동안 대한설비건설협회 가스설비공사협의회(위원장 이효련)의 지속적인 건의사항으로, 이 연구가 마무리되면 앞으로 일본, 영국 등 선진국과 같이 가스배관의 건축물 내 매몰 시공이 가능해질 것으로 보인다.

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공동주택 바닥난방 시스템의 현황과 개선방향

  • 조동우
    • 월간 기계설비
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    • s.43
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    • pp.94-100
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    • 1994
  • 본고에서는 기존 공동주택에 적용되고 있는 습식 바닥난방방식의 현황과 조립식 난방판넬의 현황과 문제점을 살펴보고 앞으로 조립식 난방시스템의 적립식 난방시스템에 적용시 검토사항 및 개선방향에 대하여 기술하였다.

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