• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2022.05a
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• pp.477-480
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• 2022

반도체 성능 향상으로 신호를 전달하는 회로의 단위가 마이크로 미터에서 나노미터로 미세화되어 선폭(linewidth)이 점점 좁아지고 있다. 이러한 변화는 검출해야 할 불량의 크기가 작아지고, 정상 공정상태와 비정상 공정상태의 차이도 상대적으로 감소되어, 공정오차 및 공정조건의 허용범위가 축소되었음을 의미한다. 따라서 검출해야 할 이상징후 탐지가 더욱 어렵게 되어, 높은 정밀도와 해상도를 갖는 검사공정이 요구되고 있다. 이러한 이유로, 미세 공정변화를 파악할 수 있는 신규 검사 및 계측 공정이 추가되어 TAT(Turn-around Time)가 증가하게 되었고, 웨이퍼가 가공되어 완제품까지 도달하는데 필요한 공정시간이 증가하여 제조원가 상승의 원인으로 작용한다. 본 논문에서는 웨이퍼의 검계측 데이터가 아닌, 제조공정 과정에서 발생하는 다양한 센서 및 장비 데이터를 기반으로 웨이퍼 제조 결과가 양품인지 그렇지 않으면 불량인지 구별할 수 있는 가상계측 모델을 제안한다. 기계학습의 여러 알고리즘 중에서 다양한 장점을 갖는 XGBoost 알고리즘을 이용하여 예측모델을 구축하였고, 데이터 전처리(data-preprocessing), 주요변수 추출(feature selection), 모델 구축(model design), 모델 평가(model evaluation)의 순서로 연구를 수행하였다. 결과적으로 약 94% 이상의 정확성을 갖는 모형을 구축하는데 성공하였으나 더욱 높은 정확성을 확보하기 위해서는 반도체 공정과 관련된 Domain Knowledge 를 반영한 모델구축과 같은 추가적인 연구가 필요하다.

• The Optical Journal
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• s.112
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• pp.46-49
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• 2007

첨단 기술관련 산업의 핵심을 이루는 광산업과 전자산업의 발전상을 직접 확인하고 희망찬 미래상을 제시하고자 기획된 국제광산업전시회와 한국전자전이 성황리에 개최됐다. 지난 9월 4일부터 6일까지 광주 김대중컨벤션센터에서 열린 국제광산업전시회는 올해 아시아지역에서 가장 권위 있고 규모가 큰 아.태광통신콘퍼런스를 유치하는데 성공함으로써 광산업 관련 신기술을 주제로 발표하는 콘퍼런스를 진행하며 관심을 모았다. 10월 9일부터 13일까지 5일간 경기 고양시 킨텍스에서 열린 한국전자전에는 국내 삼성전자와 LG전자, 소니와 중국의 하이얼 등 글로벌 기업들이 대거 참여해 전자제품을 총 망라한 신기술을 선보였다. 한편, 전자전은 단독 전시회로서는 올해를 끝으로, 내년부터 반도체산업대전, 정보디스플레이전과 통합해 '한국전자산업대전'이라는 명칭으로 같은 장소에서 개최될 예정이다.