• 월간경쟁저널
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• 134호
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• pp.2-15
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• 2007

• 월간경쟁저널
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• 제140호
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• pp.70-83
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• 2008

• 인포메이션 디스플레이
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• 제4권2호
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• pp.7-10
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• 2003

현대는 디스플레이 산업과 같은 표시 소자 산업이 관심의 대상이 되고 있는 시대이다. 이러한 디스플레이 산업의 분야에는 CRT, LCD, PDP가 현재의 산업을 주도해왔고, OLED가 차세대 디스플레이로 주목을 받고 있다. 그래서 에이엔에스는 새로운 SMOLED(Small Molecule Organic Light Emitting Diode)를 제작할 수 있는 장비 및 공정기술을 개발하였다. 현재의 SMOLED 제작공정 및 장비와, 대면적 기판을 사용할 수 있고, 물질의 사용효율 및 공정시간을 단축시킬 수 있는 새로운 에이엔에스 증착장비의 장비 및 공정에서의 장단점을 비교하고 디바이스에서의 기본적인 특성을 비교하여 보겠다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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• pp.28-28
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• 2011

우리나라의 주력산업인 반도체 및 디스플레이의 경우 그 생산 설비의 1/3이상이 진공 장비이며 진공 공정을 통해 만들어진다. 이들 산업 분야에서는 우리나라가 세계 최고의 생산 기술을 가지고 있으므로 자체적인 기술 개발 확보가 중요하다. 최근에는 기존에 개발되어 있는 장비의 성능을 뛰어넘어야 하는 공정 기술력이 요구되면서, 진공 공정 기술 개발이 매우 중요한 이슈가 되었다. 반도체나 디스플레이 산업 등 기존 주력산업의 전후방 산업의 경쟁력 강화 측면에서뿐 아니라 태양전지, LED 등 진공기술을 이용한 신성장 동력 산업의 생산 시스템 경쟁력 확보 측면에서도 진공 공정 기술 개발 중요성은 매우 크다. 지금까지 양산에 적용되는 증착, 식각, 확산 등 진공 공정 운영은, 사전 시험을 통해 얻은 최적 공정의 입력 파라미터들을 정해 놓고 그대로 공정을 진행한 뒤, 생산되어 나오는 제품의 상태를 사후 측정하여 공정 이상 여부를 점검하고 미세 조정하는 형태로 진행되고 있다. 실질적으로 현재 진행 중인 진공 공정에 대한 직접적인 정보가 없으므로 공정 중 발생되는 문제들에 대한 대처는 그 공정이 끝난 후에 이루어지는 상황이다. 공정 미세화 및 대구경화에 따라 기존의 wafer to wafer 제어 개념 보다 발전된 개념으로 센서 기반 실시간 공정 진단 제어 기술의 필요성이 대두되었으며 이를 위한 오류 인식 및 예지기술 (Fault Detection & Classification, FDC) 그리고 이 정보를 이용한 첨단 제어 기술(Advanced Process Control, APC)을 개발하는 노력들이 시작되었다. 한국표준과학연구원에서는 수요기업인 대기업과 장비업체, 센서 개발 중소기업 및 학교 연구소와 공동으로 진공 공정 실시간 측정 진단 제어와 관련된 연구를 하고 있다. 진공 공정 환경측정 기술, 플라즈마 상태 측정 기술, 진공 공정 중 발생하는 오염입자 측정 원천 기술 개발과 이를 구현하기 위한 센서 개발, 화학 증착 소스 및 진공 공정 부품용 소재에 대한 평가 플랫폼 구축, 배기 시스템 진단기술 개발 등 현재 진행되고 있는 기술 개발 내용과 동향을 소개한다. 진공 공정 실시간 측정 기술이 확보되면 차세대 반도체 제작에 필요한 정밀 공정 제어가 가능해지고, 공정 이상에 바로 대응 혹은 예방 할 수 있으며, 여유분으로 필요 이상으로 투입되던 자원(대기시간, 투입 재료, 대체용 장비)을 절감하는 등 생산성을 향상을 기대할 수 있다. 또한 진공 환경에서 이루어지는 박막 증착, 식각 공정 과정에 대한 이해가 높아지고, 공정을 개발하고 최적화하는데 유용한 정보를 제공할 수 있으므로, 기존 장비와 차별화된 경쟁력을 가진 고품위 진공 장비 및 부품 개발에 기여할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

• 한국유통학회지:유통연구
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• 제11권3호
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• pp.79-101
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• 2006

본 연구는 산업재 시장에서 공급업체가 지각한 구매업체의 공정성이 관계품질(신뢰와 만족)과 성과에 미치는 영향을 규명하고자 하였다. 산업재시장의 공급업체 284개를 대상으로 실증분석한 결과, 분배공정성, 상호작용공정성 및 쟁점특수공정성은 신뢰에 정의 영향을 미치며, 분배공정성과 절차공정성은 만족에 정의 유의한 영향을 미치는 것으로 나타났다. 또한 신뢰는 만족에 정의 영향을 미치고, 관계품질은 성과에 정의 영향을 미치는 것으로 나타났다. 끝으로, 연구의 시사점을 제시하였고, 연구의 한계점과 미래 연구방향을 제시하였다.

• 대한안전경영과학회:학술대회논문집
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• 대한안전경영과학회 2005년도 춘계학술대회
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• pp.477-484
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• 2005

SPC와 EPC의 통합은 연속공정산업에서 성공적으로 사용된다. 그러나, 이산적인 부품 제조공정의 모니터링과 연속 생산공정 모니터링 양쪽 모두를 포함하는 산업에서의 통합기법을 적용하기 위해서는 실시간 보정과 공정조절 등에 관한 연구가 필요하다. 본 연구에서는 SPC와 EPC의 차이를 비교분석하고, 혼성 산업에서 SPC와 EPC를 성공적으로 통합하여 효율적인 공정관리의 적용 사례를 제시하고자 한다.

• 한국재난정보학회:학술대회논문집
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• 한국재난정보학회 2017년 정기학술대회
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• pp.337-338
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• 2017

지난 60년간 일본, 한국, 중국은 물론이고 아시아에서의 공정 산업은 크게 성장했다. 그 발전과정에서 다양한 사고들을 겪고 극복해내는 과정이 있었으며, 최근 한국의 화학물질관리법을 포함하여 안전 기술 및 안전 관리에 많은 진전 또한 있었다. 이 발표의 서두에서는 한국의 공정산업의 역사적 발전에 대해 뒤돌아보며 당면 과제들에 대한 논의를 전개하고자 한다. 장기적인 경제발전의 일환으로 중화학공업 육성을 표방하며, 초기 단계에 정부주도의 적극적인 산업 발전 계획을 수립해 산업의 성장을 주도하였으며, 1990년대에는 어려움을 극복하기 위해 시장 중심의 구조 조정이 도입되었다. 지난 30년 동안 한국사회에서는 가스 폭발, 건물 붕괴, 화물 및 여객선의 사고를 비롯한 치명적인 사고들이 있었다. 이러한 사고 후에는 필연적으로 안전 정책 및 법률에 중요한 발전이 있었는데, 가장 최근의 것은 2012년 유독 가스 배출 사고 이후 화학물질관리법(Chemical Control Act)을 시행한 것이다. 또한 앞으로 20년간 (2036 년까지) 다양한 구성요소의 수준을 정량화할 수 있는 지속 가능성 개념에 대한 강한 요구가 있음은 주지의 사실이다. 지속 가능성의 새로운 패러다임은 에너지, 경제 및 환경의 전통적인 구성 요소로 구성된다. 더불어 지속 가능성은 안전, 보안 및 세계화(globalization)를 다루어야 한다. 미래의 지속 가능성 개념은 이러한 6가지 구성 요소 모두를 하나의 기능으로 정량적으로 통합할 것이다. 특히 이 작업에 대한 강력한 리더십은 화학 공정 산업에서 절대적으로 부족한 현실이기에, 이러한 기능의 통합과 특화된 교육 및 훈련에 대해 한국의 사례와 해외에서의 글로벌 응용 프로그램에 대란 논의를 통해 본 발표는 향후의 발전방향과 비전에 대해 논의하고자 한다.

• 산업공학
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• 제10권1호
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• pp.67-77
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• 1997

반도체 제조공정에서 패터닝 공정과 박막형성 공정은 매우 중요한 위치를 차지하고 있다. 본 논문의 목적은 위 두가지의 공정을 최적화하기 위한 품질공학적 접근방법을 소개하는데 있다. 특히, 패터닝 공정의 전사성과 박막현상 공정의 두께의 균일성에 관한 문제를 동특성의 문제로 정형화하고 신호인자를 어떻게 설정할 것인가에 관해 논의하였다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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• pp.155-155
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• 2004

최근 집중 육성산업으로 분류되어 연구 및 투자가 되고 있는 반도체, 정보통신, 바이오산업, 디스플레이 등에서 초정밀화와 저비용, 대량생산을 하기 위해서 기존의 공정을 대체할 수 있는 새로운 나노공정기술의 요구가 급증하고 있다 최근에는 극초단파 특성으로 인하여 극미세 형상을 가공할 수 있는 펨토초 레이저(femto second laser)를 나노공정에 적용하는 다양한 연구가 진행되고 있다. 특히, 기존의 쾌속조형공정을 응용하여 다른 공정으로는 제작이 불가능한 나노 스케일에서 3차원 자유곡면을 가지는 구조물을 제작할 수 있는 공정개발에 대하여 다양한 연구가 진행되고 있다.(중략)

• 안전기술
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• 제145호
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• pp.52-53
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• 2010