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PBMS의 교정 및 이를 이용한 진공 내 나노입자의 실시간 분석 연구

  • Kim, Dong-Bin;Mun, Ji-Hun;Kim, Hyeong-U;Kim, Deuk-Hyeon;Lee, Jun-Hui;Gang, Sang-U;Kim, Tae-Seong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2015.08a
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    • pp.91-91
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    • 2015
  • 반도체 공정의 발전에 의해 최근 생산되는 메모리 등은 십 수 나노미터까지 좁아진 선 폭을 갖게 되었다. 이러한 이유로, 기존에는 큰 문제를 발생시키지 않던 나노미터 영역의 입자들이 박막 증착 공정과 같은 반도체 제조공정 수율을 저감시키게 되었다. 따라서 오염입자의 유입을 막거나 제어하기 위해 transmission electron microscopy (TEM)나 scanning electron microscopy (SEM)과 같은 전자현미경을 활용한 비 실시간 입자 측정 방법 및 광원을 이용하는 in-situ particle monitor (ISPM) 및 전기적 이동도를 이용한 scanning mobility particle sizer (SMPS) 등 다양한 원리를 이용한 실시간 입자 측정방법이 현재 사용중에 있다. 이 중 진공 내 입자의 수농도를 측정하기 위해 개발된 particle beam mass spectrometer (PBMS) 기술은 박막 증착 공정 등 chemical vapor deposition (CVD) 방법을 이용하는 진공공정에서 활용 가능하여 개발이 진행되어 왔다. 본 연구에서는 PBMS의 한계점인 입자 밀도, 형상 등의 특성분석이 용이하도록 PBMS와 scanning electron microscopy (SEM), 그리고 energy dispersive spectroscopy (EDS) 기술을 결합하여 입자의 직경별 개수농도, 각 입자의 형상 및 성분을 함께 측정 가능하도록 하였다. 협소한 반도체 제조공정 내부 공간에 적용 가능하도록 기존 PBMS 대비 크기 또한 소형화 하였다. 각 구성요소인 공기역학 집속렌즈, electron gun, 편향판, 그리고 패러데이 컵의 설치 및 물리적인 교정을 진행한 후 입자발생장치를 통해 발생시킨 sodium chloride 입자를 상압 입자 측정 및 분류장치인 SMPS 장치를 이용하여 크기별로 분류시켜 압력차를 통해 PBMS로 유입시켜 측정을 진행하였다. 나노입자의 입경분포, 형상 및 성분을 측정결과를 토대로 장치의 측정정확도를 교정하였다. 교정된 장치를 이용하여 실제 박막 증착공정 챔버의 배기라인에서 발생하는 입자의 수농도, 형상 및 성분의 복합특성 측정이 가능하였으며, 최종적으로 실제 공정에 적용가능하도록 장치 교정을 완료하였다.

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Preparation and Compressive Strength of Hydroxyapatite/Gelatin Composite (Hydroxyapatite/Gelatin복합체의 제조 및 압축강도)

  • Shin Hyo-Soon;Koo Kwang-Mo;Lee Suk-Kee
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.41 no.9
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    • pp.715-721
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    • 2004
  • Hydroxyapatite (HAp)/Gelatin (GEL) homogeneous composites of four different composition ratio were prepared by the co-precipitation process with synthetic HAp and GEL as a binder, HAP/GEL composites were molding by cold isostatic pressing and were sintering by various condition in air. Crystallinity and structure of sintered HAp/GEL composites were investigated by XRD and FTIR. Also, the compressive strength and the fracture surface of sintered specimens were measured by UTM and SEM. HAp/GEL composites showed a phase transformation to partially ${\alpha}$, ${\beta}$-tricalcium phosphate at the sintered condition of 1200$^{\circ}C$ for 3 h. The porosity of sintered body was in the range of 1.2-30.2%. The compressive strength of the sintered specimens was in the range of 16.2-60.1㎫, and its strength of sintered HAp/GEL comosites was higher than expected when the porosity was considered.

Development and Flight Test of a Small Solar Powered UAV (소형 태양광 무인항공기의 개발 및 비행시험)

  • Ahn, Il-Young;Bae, Jae-Sung;Park, SangHyuk;Yang, Yong-Man
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.41 no.11
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    • pp.908-914
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    • 2013
  • This study has developed a small solar powered UAV and performed its flight tests. In daylight, a solar powered UAV flies by using some of electricity generated from solar cells, and stores the remainder into battery. At night it flies by using electricity from battery. A solar powered UAV should have aerodynamically efficient configurations, light-weight, strong wing and fuselage. Its electric propulsion system and solar power system should also be very efficient. In the present study the solar powered UAV and its solar power system are developed for 12 hour continuous flight and the flight tests are performed to verify its performance. The flight tests performed in fall and winter to prove the present solar powered UAV is successful in four-season 12 hour flight.

A study for Hydrological Infiltration Properties of Permeable Pavement (투수성 포장재의 수문학적 침투 특성에 관한 연구)

  • Lee, Jung-Min;Jun, Sang-Mi;Park, Jae-Hyeon;Lee, Sang-Ho
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2006.05a
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    • pp.1711-1715
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    • 2006
  • 최근 급격한 도시화는 홍수량 증가 및 갈수 시 하천의 건천화 등 유역의 유출특성 변화를 가져왔다. 본 연구에서는 이러한 문제를 해결하는 방안 중 하나인 투수성 포장의 유역 내 수문학적 효과를 분석하였다. 이를 위해 투수성 포장을 이용한 수리모형 실험 및 수치모형(SWMM)을 병행하여 수행하였다. 연구에 사용한 수치모형은 기존 도시유출 모형인 SWMM(Storm Water Management Model) 모형에 투수성 포장의 수문학적 효과를 고려할 수 있도록 수정된 모형이며, 수리모형 실험 결과를 토대로 수치모형의 중요 매개변수를 추정하였다. 또한 실험에 의해 관측된 지표 및 지하수 유출량과 수치모형에 의해 산출된 자료를 비교.분석하여 수정된 SWMM 모형의 유용성을 평가하였다. 강우강도가 65 mm/hr, 90 mm/hr, 95 mm/hr인 강우를 4시간씩 공급하는 경우에 대한 3가지 수리모형 실험을 수행하였다. 수리모형실험 결과 강우강도는 지표면 유출의 크기에 직접적인 영향을 미치고 있었으며 지하수 유출량은 강우강도 보다는 지하수위 조건에 더 큰 영향을 받는 것으로 분석되었다. 수리모형 실험결과 및 수치모형 모의결과를 비교 분석한 결과, 토양 함수량 및 지하수위 변동 특성은 초기에서 정상상태로 전이되는 부분과 강우 정지 후 감소되는 부분에서 수리모형 실험과 다른 양상을 보였다. 지하수위는 실험 시 발생하는 공기층의 포집이 많은 영향을 미치고 있음을 알 수 있었고, 함수량 변화에 있어서는 수치모형(SWMM)의 모의 결과가 과도하게 감소하는 특성을 보여 주고 있었다. 즉, 유출량의 특성은 비슷한 양상을 보이고 있으나 지하수위 변화 및 토양 내 함수량 변화 예측에 있어서는 그 정확도가 떨어지는 것으로 평가되었다. 그러나 본 연구결과를 통하여 투수성 포장과 지하수에 관련된 매개변수의 집적과 분석결과는 현장기술 적용 시 매개변수의 유용한 선택과 도시유역의 물 순환 건전화 대안기술 적용에 효과적인 방법론을 제시할 수 있을 것으로 사료된다.

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A Numerical Study of Automotive Indoor Thermal Comfort Model According to Boarding Conditions and Parameters Related to HVAC (HVAC 관련 매개변수 및 탑승조건에 따른 자동차 실내의 온열쾌적성 평가모델에 관한 수치해석적 연구)

  • Yoon, Seong Hyun;Park, Jun Yong;Son, Deok Young;Choi, Yunho;Park, Kyungseok
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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    • v.38 no.9
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    • pp.979-988
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    • 2014
  • Recently, the interest in the thermal comfort is ever increasing as the time people stay in the automobile is gradually increasing. So far, however, the cooling performance of the HVAC(heating and ventilation air conditioning) system is evaluated by thermal environment criteria such as indoor air velocity and temperature, not by a thermal comfort index. Furthermore, the precise criteria has not been established yet when the thermal comfort for the automobile is evaluated using numerical analysis. In this study, the numerical analysis of automobile indoor thermal comfort according to various parameters such as HVAC operating mode, airflow, passenger boarding conditions is performed during the HVAC system's initial operating time(20 minutes). The solar ray tracing model and S2S radiation model are used and validated to simulate an external heat source. Based on this study, an evaluation model which can predict the thermal comfort index for the combination of the above parameters is presented.

Characterization of CO Oxidatation Using the Cu, Mn impregated zeolit 13X catalyst (Cu, Mn 함침 제올라이트13X 촉매의 CO 산화 전환 반응특성)

  • Jung, Eui-Min;Kim, Dae-Kyung;Lee, Joo-Bo;Peng, Mei Mei;Song, Sung-Hwa;Moon, Mi-Mi;Jeon, Lee-Seul;Ahn, Seon-Hee;Jang, Hyun-Tae
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
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    • 2012.05a
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    • pp.30-32
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    • 2012
  • 본 연구에서는 Cu, Mn을 함침 시킨 상용 제올라이트13X 촉매에 CO 산화 전환 반응에 영향을 연구하였다. 촉매 제조는 담지량별로 Cu, Mn을 서로 다른 비율로 물리 혼합하여 상용 제올라이트에 담지하였다. 함침방법은 과잉용액 함침법을 사용하였고, 건조 후 공기분위기에서 소성하여 산화물 형태로 담지하였다. 기본적인 촉매 특성은 X-선 회절분석, 질소흡탈착 등온곡선을 이용하여 기공크기, 기공부피, 비표면적을 구하였으며, FT-IR, 주사현미경, $NH_3$-TPD/TPR, EDX로 특성을 분석하였다. 촉매 산화반응 실험은 고정층 반응기에서 수행하였으며, 외경1/4 inch(내경 4 mm)석영관에 촉매를 중진하고 Gas Chromatograph로 배출가스를 측정하여 Cu-Mn 제올라이트 촉매의 일산화탄소 산화반응을 연구하였다. 일산화탄소 농도, 온도 및 공간속도, Cu-Mn 함량 비율에 따른 산화반응 실험을 수행하여 최적 산화조건과 촉매를 도출하였다.

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Separation and Recovery of Ce, Nd and V from Spent FCC Catalyst (FCC 폐촉매로부터 Ce, Nd 및 V의 분리 회수 프로세스)

  • Jeon, Sung Kyun;Yang, Jong Gyu;Kim, Jong Hwa;Lee, Sung Sik
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.8 no.4
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    • pp.679-684
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    • 1997
  • The major constituents in spent FCC catalysts are Si, Al, Fe, Ti, alkali metals and some others. The spent catalyst is also composed small amounts of rare metals such as Ce, Nd, Ni and V. The selective adsorption and concentration of Ce and Nd from the leaching solution of spent FCC catalysts with sulfuric acid($0.25mol/dm^3$) were carried out by the column method with a chelate resin having a functional group of aminophosphoric acid type. Ce and Nd were separated from eluate liquor containing Al, Nd and V by the precipitation process with oxalic acid. Vanadium is purified from chloride ion coexistance by solvent extraction, employing tri-n-octyl phosphine oxide as extractant with Al in the raffinate solution. Rare metals with the purity of 99 percent were obtained from the spent FCC catalyst.

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Effect of the Re-oxidation Times on the PTC Properties of $BaTiO_3$ with Sm Contents (Sm 함량을 달리한 $BaTiO_3$계의 재산화 시간에 따른 PTC 특성 변화)

  • Baek, Seung-Kyoung;Hong, Youn-Woo;Shin, Hyo-Soon;Yeo, Dong-Hun;Kim, Jong-Hee
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2008.11a
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    • pp.179-179
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    • 2008
  • $BaTiO_3$를 기본조성으로 하는 PTC 써미스터는 Curie 온도이상에서 저항이 급격히 상승하는 산화물 반도체 세라믹이다. 이러한 성질을 이용하여 degaussing 소자, 정온 발열체, 온도센서, 전류 제한소자 등 상업적으로 여러 분야에서 연구되고 있다. 또한 원가절감 등을 위하여 Ni 내부전극을 사용하여 환원 분위기에서 소결하는 칩 타입에 대한 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 Sm 함량(0.1at%~1.0at%)을 달리한 $BaTiO_3$(Si, Mn, Ca) 계를 선택하여 3%$H_2/N_2$ 분위기에서 1200~$1260^{\circ}C$, 2h 소결한 후 공기 중에서 재산화 처리하고 재산화 시간에 따른 PTC 특성 변화에 대하여 고찰하였다. 재산화 온도와 시간은 각각 $800^{\circ}C$와 0.5h~10h으로 하였다. Sm 함량을 달리하여 환원 분위기에서 소결한 시편의 미세구조와 PTC 특성과의 상관관계를 관찰한 결과, 소결온도가 낮을수록 PTC 특성은 좋아졌으며, 상온 비저항은 Sm 함량이 높아질수록 낮아졌다. 또한 Sm 함량이 높아질수록 jumping ratio$(R_{max}/R_{25^{\circ}C})$는 낮아졌다. 재산화 시간에 따른 PTC 특성은 다소 떨어졌지만 소결온도에 따라 달리 나타났다. Jumping ratio$(R_{max}/R_{25^{\circ}C})$는 Sm을 0.7 at% 첨가한 계에서 재산화를 1시간 처리한 시편에서 가장 우수하였다.

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Prosthetic Treatment with Palatal Obturator for the Patient who had Hemimaxillectomy: Case Report (상악골 부분 절제술을 받은 환자에서 구개 폐쇄 장치를 이용한 보철치료: 증례보고)

  • Choi, Su-Jeong;Jo, Kwang-Hun;Lee, Kyu-Bok
    • Journal of Dental Rehabilitation and Applied Science
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    • v.27 no.3
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    • pp.337-342
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    • 2011
  • Congenital or traumatic loss on the oral and maxillary area or the loss of jaws due to the surgical excision of a tumor causes functional problems, such as masticatory and swallowing disorders, phonetic problems and psychological disorders in patients. In most cases, a prosthetic restoration is needed to resolve these problems and restore the damaged tissue and function. When loss occurs on the maxilla, foods and liquids leak into the nasal cavity, and a nasal sound can be heard due to air leakage into the removed area. In these cases, the palatal obturator can be used to improve the esthetic and functional aspects because it restores the removed area of the maxilla and closes the opened route between the oral cavity and maxillary sinus or nasal cavity. In this case report, a palatal obturator was applied to patients who had a hemimaxillectomy due to the occurrence of squamous cell carcinoma on the right maxillary area. Therefore, fundamental functions, such as phonetic and swallowing functions were restored, and the esthetic aspects of the facial profile were improved.

The Effects of Carbon Dioxide as Additives on Soot Formatio in Jet Diffusion Flames (제트확산화염에서 이산화탄소의 첨가가 매연생성에 미치는 영향)

  • Ji, Jung-Hoon;Lee, Eui-Ju
    • Fire Science and Engineering
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    • v.24 no.6
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    • pp.170-175
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    • 2010
  • The effect of carbon dioxide addition on soot formation was investigated in jet diffusion flames in coflow. Flame temperature were measured with R-type thermocouple and the boundary temperature between blue and yellow flame was confirmed. Light-extinction method was introduced for the relative soot density (1-I/$I_0$) in the in-flame region. He-Ne laser with wave length at 632.8 nm was used for the light source, and the signal attenuated by absorption and scattering was detected directly. Oxidizer velocity effect on soot formation was studied to know that the thermal influence for soot formation. The results showed that the temperature of both blue and yellow flame were decreased according to the dilution of carbon dioxide but boundary temperature was nearly constant. The relative soot density was lower when carbon dioxide was added in oxidizer stream and oxidizer velocity increased. These were caused by the reduction of flame temperature and shorter residence time for soot growth. Also carbon dioxide addition enhanced the instability of jet flames like flickering, so the flame length was a little longer than pure ethylene/air flame.