• Title/Summary/Keyword: 빔의 안정도

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보론 음이온빔 직접증착법을 이용한 c-BN 박막의 합성의 초기성장거동

  • 변응선;이성훈;이건환;이상로;이구현;김성인;윤재홍
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.146-146
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    • 1999
  • BN은 천연에는 존재하지 않는 인공재료로서 특히 섬아연광형 질화붕소인 c-BN은 다이아몬드 다음가는 고경도, 높은 열전도도를 가지고 있을 뿐만 아니라 다이아몬드와는 달리 철계금속에 대해 화학적으로 매우 안정하기 때문에 다이아몬드의 응용이 매우 제한되고 있는 철강제품의 가공공구, 내마모 코팅재료로서 주목받고 있는 차세대 박막재료이다. 최근 c-BN박막 합성에 관한 많은 연구결과들이 보고되었는데 대부분의 연구자들이 성장하는 박막 표면에 입사되는 이온 에너지 및 유량이 c-BN 합성에 중요한 인자이며, 합성된 박막은 sp2결합층(h-BN)과 sp3결합층(c-BN)이 혼합되어 있음을 알 수 있다. 그러나 기존의 이온빔보조 합성법(IBAD) 공정에서는 입사빔과 증착물질이 공간적, 시간적으로 일치되는 경우에만 입사빔의 운동에너지가 증착공정에 기여하기 때문에 입사빔의 정밀한 에너지 조절이 어렵게 된다. 그러나 음이온 빔 직접 증착법에서는 입사이온빔 자신이 운동에너지를 운반하기 때문에 에너지 조절이 정밀할 뿐만 아니라 이를 통해 BN 박막의 상 및 성장거동을 조절할 수 있게 된다. 본 연구에서는 음이온 직접 증착법을 이용하여 c-BN박막을 합성하고 이의 초기성장층의 성장거동을 조사하였다. 증착시 음이온 빔의 에너지가 Bn 박막의 결정성에 미치는 영향을 알아보기 위하여 100~500eV의 보론 음이온빔을 조사하였으며 질소원으로는 낮은 낮은 에너지 범위의 질소이온을 동시에 공급하였다. FRIR 분석결과, 보론 이온의 에너지가 증가하면 cubic 상의 분율이 증가하였으며 증착된 박막은 15nm 두께의 sp2결합층이 먼저 성장한후 sp3결합층으로의 상전이가 일어났다. 질소이온빔의 에너지는 100eV 일 때 최대 cubic 함량과 두께를 보였으며 그 이상의 에너지에서는 c-BN 박막을 sputter시켰다. AFM 관찰결과, h-Bn층은 날카롭고 방향성을 가진 침상이었으며 c-BN 층은 atomically smooth 한 표면을 관찰할 수 있었다.

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High Accruacy and High Stability Switching Magnet Power Supply by 4-Stage Parallel Operation of Full-Bridge (풀-브릿지 4단 병렬운전을 채택한 고정밀, 고안정 스윗칭 전자석 전원장치)

  • Kim S.C.;Ha K.M.;Huang J.Y.;Choi J.Y.
    • Proceedings of the KIPE Conference
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    • 2006.06a
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    • pp.438-440
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    • 2006
  • 포항가속기 연구소의 선형가속기와 빔 전송선에는 22개의 솔레노이드 전자석, 38개의 사극전자석 그리고 전자빔의 궤도 조절을 위한 29개의 2극 전자석이 있다. 전자빔의 정밀 제어를 위한 전자적 전원장치는 고정도, 고안정도 출력 특성을 가져야 한다. 이를 위하여 풀-브릿지 4-상한 DC-DC 컨버터 토플로지의 4단 병렬운전을 채택하였다. 전원장치의 입력전압은 직류 40V이고, 최대 출력전류는 직류 50A이며 그리고 스윗칭 주파수는 50 kHz이다. 고정밀, 고안정도 출력전류를 얻기 위하여 입력단의 전원 노이즈 및 전력변환부의 스윗칭 노이즈를 제거하여야 한다. 이를 위하여 채택된 low-pass 필터의 cut-off 주파수는 입력과 출력단 각각 26 Hz와 4.5 kHz 이다. 출력전류에서 전원장치로부처 발생하는 주파수 성분을 완벽하게 제거하였다. 출력전류의 분해능은 1mA 이하이며, 안정도는 10시간 이상 장시간의 경우 +/-15 ppm 이하이고 1시간 이하 단시간의 경우 +/-10ppm 이하이다. 본 논문에서는 풀-브릿지 4-상한 DC-DC 컨버터 토플로지의 4단 병렬운전을 채택한 전자석 전원장치의 구성, 특성 그리고 실험결과에 대하여 기술하였다.

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Evaluation of Structural Stability for a 75-tonf Class Thrust Chamber Mixing Head (75톤급 연소기 헤드부의 구조안정성 평가)

  • Ryu, Chul-Sung;Lee, Keum-Oh;Choi, Hwan-Seok
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 2011.11a
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    • pp.515-519
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    • 2011
  • Structural tests for the mixing head of a 75tonf class thrust chamber were performed to verify structural stability. The mixing head of a thrust chamber is loaded by high pressure with regeneratively cooled fuel and cryogenic liquid oxygen(LOx) as well as it transfers thrust load generated by liquid rocket engine. Therefore structural stability of mixing head is a very important factor to work without any plastic deformation or structural failure. In this study, two mixing heads were manufactured using different welding methods, Tungsten Inert Gas(TIG) welding and Electron Beam Welding(EBW) and evaluated a structural stability. The results of structural tests showed that the mixing head assembled by EBW can withstand the applied design load without any structural failures and be structurally more stable than that of TIG welding.

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대면적 표면처리용 1.55 m급 선형이온소스 개발 및 공정 기술 연구

  • Gang, Yong-Jin;Lee, Seung-Hun;Kim, Jong-Guk;Kim, Do-Geun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.297-297
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    • 2013
  • 최근 각종 폴리머 및 강판과 같은 유연소재의 수요 증가로 인해 유연소재 표면의 전처리, 증착 및 기능성 부여를 위한 이온빔 또는 플라즈마 표면처리 기술이 세계적으로 활발히 연구개발 되고 있으며, 유연소재 표면처리 공정의 고속화 및 대면적화 기술이 요구되고 있다. 유연소재의 고속 및 대면적 표면처리 기술개발을 위해서는 Roll-to-Roll 공정에 적용 가능한 광폭 선형이온소스 기술 개발이 필요하다. 본 연구에서는 1.55 m급 광폭 Anode Layer 선형이온소스를 개발하였으며, 이온빔 인출 균일도 및 에너지 분포 특성을 평가하였다. 특히, 본 선형이온 소스 개발 시 시뮬레이션 연구를 통해 이온소소의 이온 인출 특성 및 내구성 향상을 위한 최적 구조를 설계하였다. 본 연구에서 개발한 선형이온소스는 최대 5 kV의 방전 전압 조건에서 평균 1.5 keV의 이온에너지를 가지는 Ar 이온빔이 1.55 m 폭에서 약 4.2%의 균일도를 보였다. 표면 처리 성능 평가시(Si wafer 기준) 소스와 기판과 거리 100 mm에서 에칭율은 15 nm/s였고, 이는 다른 표면처리 이온소스 대비 높은 효율을 나타냄을 확인할 수 있었다. 또한 4시간 이상 운전시에도 안정적인 인출 빔 전류 밀도를 확인하였으며, 소스 내부의 효율적인 냉각 구조로 인한 열손상은 발견되지 않았다.

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Controlled beam divergence in a hemiconfocal resonator copper vapor laser (반공초점 공진기 구리증기레이저의 퍼짐각 제어)

  • 정지철;유영태;임기건
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.8 no.4
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    • pp.297-302
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    • 1997
  • A hemiconfocal resonator equipped with an intra-cavity adjustable aperture and a beam splitter has been studied experimentally to achieve a controlled low beam divergence operation in a vapor laser system. The dependences of output characteristics both on the aperture diameter and on the angle of beam splitter have been investigated. By adjusting the aperture diameter from 14mm to 2mm to 2mm, we were able to reduce the beam divergence from 3.1 mrad to 0.25 mrad and achieved the 8-times increase in the far-field power density.

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High Accuracy and Stability Unipolar Magnet Power Supply by Phase-Shifted Parallel Operation of the Buck-Converter (벅-컨버터의 위상천이 병렬운전 방식을 적용한 고정밀, 고안정 단방향 전자석전원장치)

  • Kim, Sung-Chul;Moon, Cheol;Sung, Chi-Woon
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2015.07a
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    • pp.1012-1013
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    • 2015
  • 포항가속기 연구소 PLS-II 저장링은 빔에너지 3.0 GeV, 빔전류 400 mA 그리고 5.8 mm-rad로 성능을 향상 하였다. 저장링 전체의 이극, 사극, 육극 및 셉텀 전자석의 구동을 위하여 디지털 제어기를 적용한 독립된 강압형 buck-converter를 인터리버 방식으로 응용한 고정밀 단방향 전자석전원장치를 개발 하였다. 이들 전자석전원장치의 출력전류 안정도는 +/-10 ppm 이하이다. 본 논문에서는 PLS-II 저장링의 단방향 전자석전원장치의의 설계 및 성능에 대하여 논하고자 한다.

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저항가열 및 전자빔 증발원을 이용한 물질의 증발 특성

  • Jeong, Jae-In;Yang, Ji-Hun;Park, Hye-Seon;Jeong, Jae-Hun;Song, Min-A
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.130-131
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    • 2011
  • 박막의 제조는 많은 연구의 가장 기초가 되는 시편을 만드는 과정으로 현대의 과학기술에서 매우 중요한 공정 중의 하나이다. 그러나 이러한 박막의 제조는 제조하는 사람의 숙련도나 장치에 의존하며 경우에 따라서는 원하는 특성의 박막을 제조하는 것이 매우 어려운 작업이 되기도 한다. 따라서 경험이 없는 연구자의 경우는 때때로 까다로움과 번거로움을 느끼게 되며, 안정된 공정을 찾기까지 많은 시간을 소비 하게 된다. 특히 부적절한 증발방법의 선정에 따른 실험 결과는 경제적인 손실을 초래할 뿐만 아니라 실험하는 사람을 좌절시키는 가장 큰 요인이 되어왔다. 진공증착에 의한 박막의 제조는 증발법과 스퍼터링, 이온플레이팅 등의 방법이 있으며 이중 증발을 이용한 박막의 제조에는 저항가열 증발, 전자빔 가열 증발, 유도가열 증발 등의 방법으로 구분하고 있다. 저항가열 증발원은 가격이 저렴하다는 장점은 있으나 증발원이 손쉽게 파손되거나 증발량이 일정하지 않아 박막의 정밀 제어가 어려울 뿐만 아니라 때에 따라서는 1 ${\mu}m$ 이상의 후막 형성에도 어려움이 있는 등 많은 제약이 있다. 따라서 적절한 증발원의 선정이 실험의 효율성을 좌우하는 경우가 많다. 적절한 증발원의 선정과 효율적인 실험을 위해 증발원 제조회사에서는 증발원의 선정과 증발 조건과 관련된 자료를 카탈로그 형태로 발행하고 있다. 그러나 그러한 자료만으로는 객관적인 정보를 얻기에 충분하지 못한 경우가 많으며, 어떤 경우에는 저자 등의 경험과 일치하지 않는 정보도 포함하고 있었다. 전자빔 증발원은 냉각이 되는 Crucible에 물질을 담고 고전압의 전자빔으로 물질을 가열시켜 증발시키는 증발원으로 1960년대 이후 박막 제조 실험에 이용되기 시작하였다. 전자빔은 고순도의 피막 제조가 가능하고 증발물질의 교체가 쉬우며 고속 증발이 가능함은 물론 다층막의 제조가 용이하고 증발물질의 제조비용이 저렴하다는 장점이 있다. 이러한 장점 때문에 1970년대 이후에는 전자빔을 이용한 박막제조가 폭 넓게 이루어졌고 이때를 즈음하여 전자빔을 이용한 물질의 증발 특성이 논문으로 발표되기도 하였다. 본 연구에서는 증발에 관한 저자들의 경험을 바탕으로 저항가열과 전자빔을 이용하여 증발실험을 진행한 물질계를 중심으로 각 물질의 증발특성과 가장 효율적인 Liner 등에 대해 기술하였다. 특히, 각종 물질의 증발 특성을 체계화함은 물론 효율적인 증발 방법을 객관적인 Data와 함께 제공하여 효과적인 박막 제조 실험에 도움이 되고자 하였다.

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Design of the Railbeam Lengths at the Roadbed (철도 레일빔 설계법에 대한 연구)

  • Jung, Hyuksang
    • Journal of the Korean GEO-environmental Society
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    • v.17 no.1
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    • pp.21-28
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    • 2016
  • This paper deals with contents on the estimation of rail beam from the geotechnical engineering aspect. Rail beam is reinforced rail installed on the inside and outside of rail to prevent differential settlement during the construction period of railroad crossing construction. Such rail beam is frequently being installed to ensure stability of existing railroad facilities because of increasing constructions of underground structures crossing railroad in recent. However, there is a difficulty in design due to lack of design standard on rail beam length. Furthermore, derailing accidents are also occurring as a result of rail beam length shortage. Accordingly, this paper presented flow chart based on the classification into soil ground and bedrock ground for the rail beam length estimation. In addition, case study was conducted on rail combination and location through which effective rail combination and location were ensured.

Output Characteristics of the Copper Vapor Laser with Off-axis Unstable Resonator (비축형 불안정공진기를 이용한 구리증기레이저의 출력특성)

  • 임창환
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 1991.06a
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    • pp.9-12
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    • 1991
  • 방전가열형 구리증기레이저의 비축형 불안정공진기를 사용하여 레이저의 빔발산각을 안정공진기의 경우에 비해 25배 (200 $\mu$rad) 까지 줄였다. 이때 불안정공진기의 배율 M 은 50 이었으며, 평균출력은 안정공진기를 사용할 경우에 비해 53 %를 얻었다. 또한, M이 8.5 일 때 (750 $\mu$rad) 평균출력은 안정공진기의 94% 까지 도달하였다.

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An Active Interference Cancellation Technique for Removing Jamming Signals in Array Antenna GPS Receivers (GPS 수신기에서 간섭신호에 대응하기 위한 배열 안테나기반 능동 간섭 제거 방안)

  • Jeong, Eui-Rim;Won, Hyun-Hee;Cho, Sung-Woo;Ahn, Byoung-Sun
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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    • v.19 no.7
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    • pp.1539-1545
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    • 2015
  • GPS (global positioning system) is a popular system that provides location information by measuring arrival time difference at the receiver between several GPS satellite signals. GPS is widely used in commercial area as well as military systems. Reliable GPS signal reception is more important in the military systems. However, since the carrier frequencies of the GPS signals are well known, the GPS receivers are vulnerable to intentional jamming attacks. To remove jammers but maintain GPS signals at the received signals, a popular technique is an adaptive beam steering method based on array antenna. Among adaptive beam steering techniques, this paper considers MVDR (minimum variance distortionless response) algorithm, and proposes a new adaptive technique that preserves the received signals at desired direction, but removes the jamming signals adaptively. The performance of the proposed method is verified through computer simulation.