An, Jongho;Pak, Soojong;Kim, Sanghyuk;Park, Woojin;Jeong, Byeongjoon
The Bulletin of The Korean Astronomical Society
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v.41
no.1
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pp.73.3-74
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2016
본 연구에서는 비구면 반사경의 형상오차를 3가지 방법으로 측정, 비교하였다. 실험에 사용한 포물면 반사경의 구경은 108 mm, 유효초점거리는 444.5 mm 이다. 첫 번째로 접촉식 형상측정방식인 FTS(Form TalySurf)를 이용하여 표면 거칠기와 반사경의 최적 곡률 반경(BestFitt Radius) 값을 측정하였다. 두 번째로는 비접촉식 형상측정방식인 UA3P(Ultrahigh Accurate 3-D Profilometer)를 이용하여 반사경의 형상 정밀도를 측정하였다. UA3P를 이용할 경우 반사경의 전체 형상을 측정할 수 있다. 세번째로 Shark-Hartmann 센서를 이용한 광학측정방법으로 반사경의 형상 정밀도를 측정하였다. 측정에 필요한 레이저 광학계는 레이저, 콜리메이터, 핀홀, 카메라 렌즈 및 비구면 광학계를 이용하여 설계하였다. 본 연구에서 도출한 각 측정 방법의 신뢰도를 바탕으로 간섭계 사용에 제약이 있는 자유형상곡면의 반사경 표면의 형상오차 측정에 적용할 계획이다.
비구면 광학요소는 광학계에 중요한 이점을 제공하는 반면 정밀한 측정에 제한이 많기에 정밀한 비구면의 생산이 어려운 광학 요소이다. 수년 전 부분 구경 스티칭 방법(Subaperture Stitching Interferometry, 이하 SSI$^{(R)}$)의 개발과 이 기술을 기반으로 하는 장비(SSI-A$^{(R)}$)의 도입으로 비구면 형상오차의 정밀한 측정이 가능하게 되었다. 많은 비구면들이 기존의 SSI-A의 영역에 포함되지만 이에 더 나아가 VONTM(Variable Optical Null)을 도입하면 기존의 측정 영역인 비구면도(best fit sphere에서) $100{\sim}200{\lambda}$대에서 약 $1000{\lambda}$까지 확장하여 측정할 수 있다. 본고에서는 지난 2012년 10월 23일 진행된 QED의 기술강연회에서 발표된 내용 중 VONTM의 원리와 이를 이용한 SSI$^{(R)}$ 기술이 도입된 장치인 ASI$^{(R)}$(Aspheric Stitching Interferometer)의 측정결과를 그 동안 각종 학회 등에서 발표된 자료들을 통하여 소개하도록 하겠다.
A reflecting telescope consists of a concave primary mirror and a convex secondary mirror. The primary mirror is easy to measure, because it converges the beam from an interferometer, while the secondary mirror diverges the beam and so is not easy to measure, even though it is smaller than the primary mirror. In addition, the Korsch-type telescope uses the central area of the secondary mirror, so that the entire area of the secondary mirror needs to be measured, which the classical Hindle test cannot do. In this paper, we propose a double-stitching method that combines two separate area measurements: the annular area, measured using the Hindle stitching method, and the central area, measured using a spherical wave from the interferometer. We test the surface error of a convex asphere that is 202 mm in diameter, with 499 mm for its radius of curvature and -4.613 for its conic constant. The surface error is calculated to be 19.5±1.3 nm rms, which is only 0.7 nm rms different from the commercial stitching interferometer, ASI. Also, the two results show a similar 45° astigmatism aberration. Therefore, our proposed method is found to be valuable for testing the whole area of a convex asphere.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2006.05a
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pp.561-562
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2006
To enhance the precision and productivity of ultra precision aspheric surface micro lens, the development of ultra-precision grinding system and process for the aspheric surface micro lens are described. In the work reported in this paper, an ultra-precision grinding system for manufacturing the aspheric surface micro lens was developed by considering the factors affecting the grinding surface roughness and profile accuracy. This paper deals with mirror grinding of an aspheric surface micro lens by resin bonded diamond wheel and spherical lens of BK7. The optimization of grinding conditions on ground surface roughness and profiles accuracy is investigated using the design of experiments.
The demand for accurate freeform apsheric surface is increasing to satisfy the optical performance. In this paper, we develop the algorithm for opto-mechatronics convergence, that reconstruct the surface 3D profiles from the curvarure data along two orthogonal directions. A synthetic freeform surface with 8.4 m diameter was simulated for the testing. The simulation results show that the reconstruction error is 0.065 nm PV(Peak-to-valley) and 0.013 nm RMS(Root mean square) residual difference. Finally the sensitivity to noise is diagnosed for probe position error, the simulation results proving that the suggested method is robust to position error.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2001.04a
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pp.964-967
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2001
Aspherical lens with the higher numerical aperture has been needed in the optical storage device to increase the recording density on the disk. However, high numerical aperture means the large slope angle at the clear aperture of the lens. Therefore, the measurement and manufacturing technique including the lens molding process for the slope angle should be developed. In this paper, the evaluation technique was described for the optical performance of the aspherical lens. Aspherical form error brings about the wavefront error and the side lobe of the beam intensity profile. A schematic diagram of the aspherical lens manufacturing was drawn to explain the aspherical form error compensation. Finally, form error of the aspherical lens was defined and plotted using the raw data of the Formtalysurf.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.18
no.7
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pp.65-71
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2001
The development process of the polishing system for the aspherical lens mold for opto-electronics industry is described. The system uses the method that polishing tool is scanned on the surface under PC-NC control for the aspherical lens mold. The two axes interpolation of the minimum translation mechanism is applied to give uniform working condition by motion analysis. An aspherical surface is divided into multiple sections and each dwell time is calculated from the polishing rate model based on the Preston equation. As result of form error compensation experiment, initial form error is decreased about 25% while an average value of surface roughness is also reduced successfully from 180nm to 19nm.
Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers
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v.2
no.1
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pp.63-68
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2003
The aspherical lenses are used as objective lens of optical pickup. To examine the design factor the sample product is made before manufacturing of injection mould of lens. The optimum cutting condition of PMMA lens sample with ultra precision SPDT, the roam spindle speed, the depth of cut, the feedrate are found. The demanded surface roughness 100m Ra, aspherical form error $0.5{\mu}m$ P-V for aspherical lens of optical data storage device are satisfied.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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1997.10a
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pp.891-894
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1997
The asphericals lenses are used as objective lens of optical pickup. To examine the design factor the sample product is made before manufacturing of injection mould of lens. The optimum cutting condition of PMMA lens sample with ultra precision SPDT, he main spindle sped, the depth of cut, the feedrate are found. The demanded surface roughness 10nm Ra, aspherical form error 0.5${\mu}{\textrm}{m}$ P-V for aspherical lens of optical data storage device are satisfied.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2003.06a
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pp.525-528
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2003
The aspherical lens are used as objective lens of optical pickup. The sample product is made before manufacturing the injection mould of lens to examine the design factor. The optimum cutting conditions of the main spindle speed, the depth of cut, the feed rate are found when we cut PMMA and PC lens sample with ultra-precision SPDT. The demanded surface roughness 10 nm Ra. aspherical form error 0.5 ${\mu}{\textrm}{m}$ P-V for aspherical lens of optical data storage device are satisfied for PMMA. but not satisfied for PC.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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