• Title/Summary/Keyword: 분포패턴

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반도체 세정 공정용 가스 클러스터 장치 내 발생 클러스터 크기 분포에 관한 수치해석적 예측

  • Kim, Ho-Jung;Choe, Hu-Mi;Yun, Deok-Ju;Lee, Jong-U;Gang, Bong-Gyun;Kim, Min-Su;Park, Jin-Gu;Kim, Tae-Seong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.40-40
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    • 2011
  • 반도체 소자의 미세화와 더불어 세정공정의 중요성이 차지하는 비중이 점점 커지고, 이에 따라 세정 기술 개발에 대한 요구가 증대되고 있다. 기존 세정 기술은 화학약품 위주의 습식 세정 방식으로 패턴 손상 및 대구경화에 따른 어려움이 있다. 따라서 건식세정 방식이 활발하게 도입되고 있으며 대표적인 것이 에어로졸 세정이다. 에어로졸 세정은 기체상의 작동기체를 이용하여 에어로졸을 형성하고 표면 오염물질과 직접 물리적 충돌을 함으로써 세정한다. 하지만 이 또한 생성되는 에어로졸 내 발생 입자로 인해 패턴 손상이 발생하며 이러한 문제점을 극복하기 위하여 대두되는 것이 가스클러스터 세정이다. 가스 클러스터란 작동기체의 분자가 수십에서 수백 개 뭉쳐 있는 형태를 뜻하며 이렇게 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 형성하게 된다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기까지 성장하게 된다. 에어로졸 세정과 다르게 클러스터가 성장할 환경과 시간을 형성하지 않음으로써 작은 클러스터를 형성하게 되며 이로 인해 패턴 손상 없이 오염입자를 제거하게 된다. 이러한 가스 클러스터 세정을 최적화하기 위해서는 설계 단계부터 노즐 내부 유동의 수치해석에 기반한 입자 크기 분포를 계산하여 반영하는 것이 필요하다. 따라서 본 연구에서는 상용 수치해석 프로그램을 이용하여 세정 환경을 조성하는 조건에서의 노즐 내부 유동을 해석하고, 이를 통해 얻어진 수치를 이용하여 aerosol general dynamic equation (GDE)를 계산하여 발생하는 클러스터의 크기 분포를 예측하였다. GDE 계산 시 입자의 크기 분포를 나타내기 위해서는 여러 가지 방법이 존재하나 본 연구에서는 각 입자 크기 노드별 개수 농도를 계산하였다. 노즐 출구에서의 가스 클러스터 크기를 예측하기 위하여 먼저, 노즐 내부 유속 및 온도 분포 변화를 해석하였다. 이를 통하여 온도가 급격하게 낮아져 생성된 클러스터의 효과적 가속 및 에너지 전달이 가능함을 확인할수 있었다. 이에 기반하여 GDE를 이용한 입자 크기를 예측한 결과 수 나노 크기의 초기 클러스터가 형성되어 온도가 낮아짐에 따라 성장하는 것을 확인할 수 있었으며, 최빈값의 분포가 실험적 측정값과 일치하는 경향을 가지는 것을 볼 수 있었다. 이는 향후 확장된 영역에서의 유동 해석과 증발 등 세부 요소를 고려한 계산을 통해 가스 클러스터 세정 공정의 최적화된 설계에 도움이 될 것이다.

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The Formation Factors and Distribution Analysis of High-Class Residential Areas in Seoul (서울시 고급 주택지역의 형성요인과 분포 분석)

  • Kim Min-Hoi;Kim Tae-Hyun;Hong Sun-Gwan;Kim Hong-Kyu
    • Journal of the Korean housing association
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    • v.16 no.6
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    • pp.1-7
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    • 2005
  • 도시화는 현대사회의 가장 큰 특징이며 도시가 성장하면서 과거의 기능이 변화하고 도시내부의 공간구조가 점차 기능적으로 분화하는 경향이 있다. 그 중 가장 주목할 만한 것 중의 하나는 주거지역의 입지변화와 공간적 확산과정에서 나타나는 주거지 분화현상이다. 도시생태학자 Hoyt은 주거지 이동패턴에 대하여 도시 내의 주거지분포 패턴을 결정짓는 핵심적인 요인으로 최고지대를 지불할 수 있는 부유층의 주거입지 선택에 따라 전체 도시의 계층별 주거분포가 영향을 받게 된다고 주장하였다. 서울은 소규모로 계획된 역사도시에서 인구 1000만의 대도시로 성장하여 오면서 많은 구조적 변화를 경험하여 현재의 공간구조를 이루게 되었다. 현재 전체 서울의 주택지는 동일한 것이 아니고 각종 주위환경에 따른 성격과 특성을 달리하는 요소로 구성되어 있다. 이 특성을 달리하는 주택지들이 모여서 각기 상이한 역할을 수행하고 서로 기능적 관계를 맺으면서 주택지를 형성하고 있다. 선형이론(Hoyt's Sector theory)에 따르면 고급주택지역의 도시 공간구조에 많은 영향을 미치고 있다고 주장하였다. 그럼에도 불구하고 서울의 고급주택지역의 분포와 그 입지 특성에 관한 연구는 미비한 실정이다. 본 연구의 목적은 서울시 고급주택지역의 분포를 형성하는 원인을 규명하는데 있다. 고급주택지의 지역적 분포를 파악하여 그 입지 성향과 특성을 알게 되면 도시의 토지이용계획, 특히 주거지계획에 도움이 될 수 있다.

Optimization of Thinned Sensor Arrays Using A Weighted Leastd Square Method (계수 최소 자승 방법을 사용한 희소어레이의 최적화)

  • 장병건;전창대
    • Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference
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    • spring
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    • pp.117-120
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    • 1999
  • 본 논문은 희소어레이의 패턴을 원하는 패턴과 실제 희소어레이의 패턴간의 오차의 계수적 자승치를 최소화하여 최적화하는 방법을 제시한다 센서의 간격이 어레이 중심에 관하여 대칭인 경우와 비대칭인 경우에 대하여 성능을 점검하며, 어레이 공간의 주어진 영역의 오차함수에 성능 향상을 위하여 계수를 적용한다. 주빔 부근의 측면롭의 효과적인 제어를 위하여 지수 함수적인 계수를 제안하였으며 그 결과 측면롭의 수준이 전체적으로 균등하게 분포되는 패턴을 얻을 수 있었다. 이 결과는 입력잡음신호가 어레이 공간상에 균등하게 입사될 때 효과적으로 사용될 수 있다.

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Internal structure of Kongju town(Eup) (공주읍의 내부구조)

  • ;Joo, Kyeong Sik
    • Journal of the Korean Geographical Society
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    • v.27
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    • pp.1-14
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    • 1983
  • 이 글에서는 다음의 내용을 다루었다. 1. 연구방법 2. 연구지역개관 3. 기능체 분석, (1) 기능체의 분포 패턴, (2) 업종의 구성, (3) 주요업종의 분포 4. 내부구조

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A Study on the Quantitative Rehabilitation Extent Evaluation Method Using High-Order Function Waveform Analysis of EMG Signal (근전도 신호의 고차함수분석법을 이용한 정량적 재활정도 평가에 관한 연구)

  • Moon, D.J.;Kim, J.Y.;Noh, S.C.;Choi, H.H.
    • Journal of rehabilitation welfare engineering & assistive technology
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    • v.8 no.4
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    • pp.305-312
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    • 2014
  • In this study, in order to quantitatively confirm walking rehabilitation degree, we analyzed EMG pattern simulated abnormal gait and normal gait by applying a curve fitting. We calculated the suitable high-order function for EMG signal, and classified them into 5 groups by using cluster analysis. Depending on the distance from normal pattern group, we listed the pattern group and then the distribution of each variables were confirmed. The amplitude-decreased pattern was the most similar to the normal pattern, but the reversed pattern showed the lowest similarity. Due to the smaller overlapping range, the distribution of the groups were possible to classify using the value of variable. The standard deviation of each term coefficient was compared to indicate the quantitative rehabilitation extent, and the higher value was confirmed as the pattern is close to the normal pattern. Consequently, the representation of quantitative rehabilitation extent is expected to contribute to the more effective rehabilitation method study.

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A Polynomial-Time Algorithm for Linear Cutting Stock Problem (선형 재료절단 문제의 다항시간 알고리즘)

  • Lee, Sang-Un
    • Journal of the Korea Society of Computer and Information
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    • v.18 no.7
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    • pp.149-155
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    • 2013
  • Commonly, one seeks a particular pattern suitable for stock cutting and the number of such patterns through linear programming. However, since the number of the patterns increases exponentially, it is nearly impossible to predetermine all the existing patterns beforehand. This paper thus proposes an algorithm whereby one could accurately predetermine the number of existing patterns by applying Suliman's feasible pattern method. Additionally, this paper suggests a methodology by which one may obtain exact polynomial-time solutions for feasible patterns without applying linear programming or approximate algorithm. The suggested methodology categorizes the feasible patterns by whether the frequency of first occurrence of all the demands is distributed in 0 loss or in various losses. When applied to 2 data sets, the proposes algorithm is found to be successful in obtaining the optimal solutions.

A Stochastic Model for Precipitation Occurrence Process of Hourly Precipitation Series (시간강수계열의 강수발생과정에 대한 추계학적 모형)

  • Lee, Jae-Jun;Lee, Jeong-Sik
    • Journal of Korea Water Resources Association
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    • v.35 no.1
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    • pp.109-124
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    • 2002
  • This study is an effort to develop a stochastic model of precipitation series that preserves the pattern of occurrence of precipitation events throughout the year as well as several characteristics of the duration, amount, and intensity of precipitation events. In this study an event cluster model is used to describe the occurrence of precipitation events. A logarithmic negative mixture distribution is used to describe event duration and separation. The number of events within each cluster is also described by the Poisson cluster process. The duration of each event within a cluster and the separation of events within a single cluster are described by a logarithmic negative mixture distribution. The stochastic model for hourly precipitation occurrence process is fitted to historical precipitation data by estimating the model parameters. To allow for seasonal variations in the precipitation process, the model parameters are estimated separately for each month. an analysis of thirty-four years of historical and simulated hourly precipitation data for Seoul indicates that the stochastic model preserves many features of historical precipitation. The seasonal variations in number of precipitation events in each month for the historical and simulated data are also approximately identical. The marginal distributions for event characteristics for the historical and simulated data were similar. The conditional distributions for event characteristics for the historical and simulated data showed in general good agreement with each other.

Compensation of the Distorted WDM Channels in Ultra-long Transmission Link of 80 km × 56 Spans (80 km × 56 spans의 초장거리 전송 링크에서 왜곡된 WDM 채널의 보상)

  • Lee, Seong-Real
    • Journal of Advanced Navigation Technology
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    • v.23 no.3
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    • pp.251-257
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    • 2019
  • The configuration of ultra-long optical transmission link with dispersion management and optical phase conjugation is proposed. The whole transmission link consist of 80 km (single mode fiber span) ${\times}$ 56 fiber spans. The artificial distribution of single mode fibers' lengths and residual dispersions in fiber spans, which are gradually increased/decreased as the span number is increased, is adopted to compensate for the distorted wavelength division multiplexed channels. Since the compensation effect through the artificial distribution in the previous researches is expected to decrease as the number of fiber spans are increased, three-time repetition of the artificial distribution patterns at intervals of 9 fiber spans applied into the link with dispersion management and optical phase conjugation is proposed. From the simulation results, it is confirmed that the compensation in the link configured by the special distribution pattern among 4 proposed patterns is slightly improved than the link configured by the conventional method, which is designed by the repeat-less distribution pattern.

A Study on Disparity Correction of Occlusion using Occluding Patterns (가려짐 패턴을 이용한 가려짐 영역의 시차 교정에 관한 연구)

  • Kim Dae-Hyun;Choi Jong-Soo
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SP
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    • v.42 no.4 s.304
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    • pp.13-20
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    • 2005
  • In this paper, we propose new smoothing filters, i.e., occluding patterns that can accurately correct disparities of occluded areas in the estimated disparity map. An image is composed of several layers and each layer presents similar disparity. Furthermore, the distribution of the estimated disparities has a specific direction around the boundary of the occlusion, and this distribution presents the different direction with respect to the left- and the right-based disparity map. However, typical smoothing filters, such as mean filter and median filter, did not take into account those characteristic. So, they can decrease some error, but they cannot guarantee the accuracy of the corrected disparity. On the contrary, occluding patterns can accurately correct disparities of occluded areas because they consider both the characteristic that occlusion occurs and the characteristic that disparities of the occlusion are ranged, from estimated disparity maps with respect to the left and the right images. We made experiments on occluding patterns with some real stereo image set, and as a result, we can correct disparities of occluded areas more accurately than typical smoothing filters did.

Pattern Classification using the Nearest Desion Method in Input Pattern and its k Neighbor Prototypes (입력패턴과 그 k 근방 원형상에서 최근접 결정법칙에 의한 패턴식별)

  • Kim, Eung-Kyeu
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2008.07a
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    • pp.1853-1854
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    • 2008
  • 본 논문에서는 입력패턴과 그 k 근방 원형상에 잇어서 노름 평균에 기초한 최근접 결정법칙에 의한 패턴식별법을 제안한다. 이 방법은 식별경계 근방의 원형상에 있어서 분산의 차에 의한 가중치를 고려하기 때문에 패턴의 수가 적을 때 입력패턴을 정확하게 분류할 때 사용될 수 있다. 본 방법의 유효성을 평가하기 위해 인공적인 패턴과 실제패턴에 대해 k-NN 등 기존방법과 제안하는 방법을 적용하여 식별률에 의한 평가를 행한 결과, 특히 원형상의 분포가 희박한 경우 제안하는 방법이 기존방법에 비해 높은 식별률을 나타냈다.

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