• Title/Summary/Keyword: 분압

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고주파 스퍼터링 방법으로 금속기판 위에 증착된 AlN박막의 질소가스 분압비에 따른 경도와 박막 표면의 배향성에 관한 연구

  • O, Ji-Yong;Lee, Chang-Hyeon;Bae, Gang;Jin, Ik-Hyeon;Kim, Hwa-Min
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.166.2-166.2
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    • 2016
  • 최근 생산 장비의 발달로 인해 절삭공구, 전기전자 부품, 항공 및 자동차 부품 생산에 필요한 생산 장비의 수명연장, 고속 절단 및 고성능화가 중요시 되면서 우수한 내구성, 내마모성 및 고온 안정성을 갖는 기계부품 및 공구를 요구하게 되었다. 내마모성을 가지는 표면을 얻기 위해서는 TiN, TiC, AlN, Al2O3, CrN, ZrO2와 같은 경도 높은 물질을 증착하여 특성을 개선시키는 방법이 있다. 특히 AlN은 비교적 우수한 경도와 고온 안정성을 가지고 있어, 생산 장비의 고속 절단 및 반복되는 정밀 작업으로 인한 열충격과 마모를 완화시키는 역할을 하는 코팅재로 사용하기 적합하다. 본 실험에서는 RF-magnetron sputtering 방법을 이용하여 AlN 박막을 파워 150W, 질소가스 분압비에 따라 25%, 50%, 75%, 100%의 조건으로 금속기판 위에 증착하였다. 금속 기판 위에 제작된 AlN막은 XRD (X-ray Diffraction)을 사용하여 배향성을 확인하였고, HM-220 (Micro-vickers hardness tester)을 사용하여 AlN박막의 경도를 측정하였으며, SEM (Scanning Electron Microscope), AFM (Atomic Force Microscope)을 이용하여 표면의 구조와 거칠기를 측정하였다. 이 실험을 통하여 우수한 물성과, 치밀한 조직의 AlN박막이 고속 절삭 공구, 유공압 실린더, 베어링과 같은 금속부품의 코팅소재로 적용가능 할 것으로 기대된다.

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Thermodynamic cheracteristics of micro algae for energy conversion (조류 부산물의 에너지 전환을 위한 열역학 특성 고찰)

  • Lee, See-Hoon;Seo, Myung-Won;Kim, Sang-Don
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2009.06a
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    • pp.447-450
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    • 2009
  • 2세대 바이오연료 생산에 적용되는 미세 조류의 열화학적 전환 특성을 열천칭 반응기를 이용하여 고찰하였다. 반응 온도 (500 - $800^{\circ}C$)와 수분 함량 (0-60wt.%)을 변수로 하였으며 미세조류로서 가장 널리 이용되는 클로렐라를 이용하였다. 대표적인 열화학적 전환 반응인 열분해, 부분 산화 (5%), 연소 반응을 고찰하였으며 실험 영역에서 반응온도 및 산소의 분압이 증가함에 따라 탄소 전환율이 증가하였으며 Shrinking-core model을 사용하여 반응 차수를 구하였다. 가스화 영역인 부분 산화 (5%) 조건에서의 activation energy와 frequency factor 값은 각각 19.60 kJ/mol, $2.47{\times}10-1\;s^{-1}$ 이었으며 산소 분압에 의한 반응 차수는 0.209 임을 확인하였다. 수분 함량에 따른 클로렐라의 반응 특성을 살펴보면, 수분 함량이 증가함에 따라 탄소 전환율과 반응성이 감소하는 경향이 발견되었다. 열분해의 경우, 건조 시료에 비하여 수분 함량이 늘어남에 따라 탄소 전환율과 반응성이 급격하게 감소하는 경향을 보였다. 반면, 부분 산화(5%) 및 연소의 경우에는 건조 시료, 수분 함량 20, 40% 시료의 탄소 전환율과 반응성은 거의 일정하였다. 그러나 수분 함량이 60%가 되면서 탄소 전환율 및 반응성이 급격히 떨어졌다.

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Cation Nonstoichiometry in CaTi$O_3$ (CaTi$O_3$에서 양이온 비화학양론)

  • Han, Yeong-Ho
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.2 no.3
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    • pp.207-212
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    • 1992
  • The defect structure of calcium titanates with CaO excess or $TiO_2$ excess was studied by measuring electrical conductivities as a funcition of oxygen partial pressure at $85O^{\circ}C$ to $1050^{\circ}C$. Execess CaO may divide itself equally between A and B sites, resulting in $Ca_{Ti}$" and Vo", while excess $TiO_2$ form $V_{Ca}$" and Vo". The equilibrium electrical conductivity data indicate that the solubilities of CaO and $TiO_2$ in $CaTiO_3$ are 5000ppm and 2000ppm, respectively. Oxygen vacancies contributed to the ionic conduction which flatten the conductivity minima and did not make any defect association with oppositely charged defects.ely charged defects.

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Hydrogenation of Naphthalene in a Tubing Bomb Microreactor (소형 회분식반응기를 이용한 나프탈렌수소화반응 연구)

  • 이영우
    • Journal of Energy Engineering
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    • v.5 no.1
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    • pp.80-86
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    • 1996
  • Naphthalene hydrogenation reaction was performed as a model reaction for coal liquefaction. Product distributions of tetralin and decalin are sensitive to reaction temperature and hydrogen pressure. At 380$^{\circ}C$, hydrogenation reaction using sulfided pellet catalysts gives poor reproducibility and several experimental methods are tried to examine its cause. It was inferred that H$_2$S had, most possibly, a great effect on this phenomena and the effect of H$_2$S was systematically investigated at 250$^{\circ}C$. It is possible that the intermediate hydroaromatic compound (tetralin) is maximized by changing the partial pressure of H$_2$S. It was identified that the partial pressure of H$_2$S could be another important factor in addition to the reaction time and temperature in coal liquefaction using sulfided catalysts.

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