• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.143-143
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• 2012

일반적인 라만 분광 시스템은 회절 한계로 인해 공간 분해능이 떨어지며, 시료의 양이 적을 경우에 굉장히 미약하게 발생하는 라만 신호의 검출 감도가 떨어지는 단점이 있다. 본 연구에서는 이러한 문제점을 개선하기 위하여 tip-enhanced Raman spectroscopy (TERS)를 구축하였다. 구축한 TERS 시스템은 뾰족한 금속 탐침을 시료 위에 근접시켜 금속 탐침 내에 존재하는 전자와 여기 광 간의 플라즈몬 공명 현상에 의한 광 안테나 효과를 유도하여 라만 분광 시스템의 공간 분해능을 수십 나노미터 정도로 향상시켰으며, 기존의 라만 분광 시스템에서는 검출되지 않는 미약한 라만 신호를 검출할 수 있었다. 구축한 TERS 시스템을 이용하여 탄소나노튜브를 비롯한 다양한 반도체 시료의 라만 스펙트럼 및 라만이미지를 측정하였고, 금속 탐침이 시료위에 근접되지 않은 경우의 측정 결과와 라만 신호의 세기 및 라만 이미지의 공간 분해능을 비교하여 제안하는 TERS 시스템의 효용성을 검증하였다.

• Journal of Astronomy and Space Sciences
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• v.19 no.1
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• pp.57-66
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• 2002

We designed two-dimensional position sensitive MCP(mixt.ochannel plate) detector for FIMS, which is composed of MCP, delay line anode, and delay line readout elec-tronics. And also, we fabricated and tested for the operation stability and resolution of the delay line readout electronic system. An anode simulator and a stimulator were used instead of the real MCP and anode during the test to see the electronic contribution to the resolution. The readout electronics was operated stably and showed time resolution of about 560 ps for the spectral direction and about 100 ps for the image direction respectively.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.412-412
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• 2010

플라즈마는 미세 전기 소자 제작에 있어 박막의 증착, 식각, 세정등 여러 가지 공정에서 널리 사용되고 있다. 미세 소자의 선폭의 감소와 높은 생산성을 위한 웨이퍼 면적의 대형화가 진행됨에 따라 플라즈마의 균일도는 공정 수율 향상의 관점에서 중요한 요소로 그것의 계측과 공정 중 실시간 감시에 필요성이 부각되고 있다. 플라즈마에 존재하는 라디칼의 밀도, 이온의 밀도, 전자 온도 등의 웨이퍼 상에서의 공간 분포와 공정 결과물과의 상관관계에 대한 연구는 현재까지 다양하게 진행 되었으며 특히, 라디칼의 공간 분포가 공정 결과물의 균일도와 큰 상관 관계가 있는 것으로 알려져 있다. 라디칼의 농도 분포를 계측은 레이저 유도 형광법, 발광 분광법, 흡수 분광법 등을 통하여 이루어져 왔으며, 특히 발광 분광법의 경우 계측의 민감성, 편의성등을 이유로 가장 널리 사용되고 있다. 그러나 현재 까지 진행된 발광 분광법을 이용한 라디칼의 공간 분포 계측은 그 자체로 공간 분포를 계측하는 것이 아닌 플라즈마 밀도의 축 대칭성을 가정하여 Abel inversion을 적용하거나, 광섬유를 플라즈마에 직접 삽입하는 방식을 사용하기 때문에 실제 반도체 제작공정을 비롯한 미세소자 공정 플라즈마의 라디칼 밀도 분포를 실시간, 비 접촉 방식으로 계측 하는데 한계가 있다. 본 연구에서는 반도체 공정 플라즈마의 밀도 균일성 분석을 위한 공간 분해 발광 분광기를 제안한다. 기존의 발광 분광법과 비교하여 공간 분해능 향상을 위하여 직렬로 설치된 다수의 렌즈, 개구, 그리고 핀홀을 이용하였다. 공간 분해 발광 분광기의 공간 분해능을 계산하였으며, 실험을 통하여 검증 하였다. 또, HDP CVD를 이용한 $SiO_2$ 박막 증착 공정에서 산소 라디칼의 농도와 증착된 박막의 두께 분포의 상관 관계를 계측 함으로써 공간 분해 발광 분광기의 플라즈마 공정 적용 가능성 입증 하였다.

• 대한방사선방어학회:학술대회논문집
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• 2011.04a
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• pp.122-123
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• 2011

• The Bulletin of The Korean Astronomical Society
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• v.37 no.2
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• pp.229.2-229.2
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• 2012

지금까지 해외의 여러 달 궤도선에서 달의 영상을 다양한 방법으로 관측한 것에서 알 수 있듯이 영상 관측은 달 탐사에서 중요한 부분이다. 특히 그 중에서 입체 영사기(Stereo Imager)는 달의 3차원적 영상을 관측하여 달 표면의 구조를 파악할 수 있고 분광 카메라(Hyperspectral Camera)는 달 표면을 이루고 있는 물질을 분광 정보를 통해서 알아낼 수 있다. 본 연구에서는 우리나라가 2020년경 독자적인 달 궤도선을 계획하고 있는 것에 발맞추어 이 두 관측 장비를 설계해 보았다. 본 연구에서 설계한 탑재체는 하나의 광학계를 이용해 가시광 영역에서 동시에 입체 영상과 분광 영상을 얻을 수 있는 장치이며, 달 표면에서의 궤도선의 속도와 저장 가능한 정보의 양을 고려하여 100 km의 고도에서 속도를 1.6 km/s로 가정할 때 interline CCD가 17.5 m의 공간 분해능을 갖기 위해 92 frame/s 이상의 frame rate로 관측을 수행할 수 있게 하였다. 특히 분광 카메라는 wedge filter를 사용하여 광학계의 부담을 줄였으며 검출기로는 interline CCD를 사용하여 channel 수를 조절할 수 있도록 하였다. 또한 달 표면을 구성하는 입자의 크기에 대한 정보를 얻을 수 있는 편광판도 설치 하였다. 시험 모델의 문제점을 분석하여 새롭게 개선된 탑재체를 설계하여 개발하였다. 렌즈를 수정해 vignetting과 왜곡 현상을 보정하였고 전체 무게를 1.5 kg으로 줄여서 시험 모델보다 30% 이상 줄일 수 있었다. 파장 분해능은 20nm로 시험모델보다 더 개선된 분해능을 얻을 수 있었다. 출력 효율의 증대를 위해 power board의 수정을 수행하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2008.02a
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• pp.353-353
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• 2008

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.48 no.4
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• pp.339-350
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• 2004

The simplified cumulant method was applied to diffraction data of $CClF_3$ to study the equilibrium molecular parameters over a range of temperatures. The molecular parameters of $CClF_3$ by the simplified cumulant method were compared with those from the traditional method. Also the instrumentation of picosecond time resolved electron diffraction (TRED) and the experimental details are described. The total experimental temporal resolution was discussed in terms of the electron pulse width. The TRED system was applied to study the molecular structures for $CClF_3$ at room temperature. The molecular structural parameters $CClF_3$ from TRED are compared with those from GED/RT. The molecular parameters ($r_e$)of bonded C-F and C-Cl for $CClF_3$ by simplified CA are 132.00(2) pm and 175.20(3) pm, respectively, by using GED/RT. From the results of TRED experiments $r_a$ for bonded C-F and C-Cl are 132.23(13) pm and 177.23(19) pm.

• The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.12 no.6
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• pp.1009-1017
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• 2001

The acousto-optical spectrometer is designed by using 1 GHz bandwidth acousto-optic deflector for radio signal analysis. This system is a high resolution wide band spectrometer which uses I GHz bandwidth and a total of 2,048 channel charge coupled device. When we measured the spectrums of signals deflected by acousto-optical spectrometer, we confirmed the stability of the total system by repetitive observations of the same frequency, and each part of the system worked well. We installed this system onto 60 cm radio telescope, and observed 12CO(J= 1 ∼0) emission lines around CRL 2688, IRC 10216 and NGC 5005 Galaxy center. We could observe effectively very narrow band width radio spectrum as well as wide band radio spectrum. We also confirmed high sensitivity and resolution in observation of 12CO(J-10) omission line of NGC 5005 Galaxy center which is a weak signal.

• Spatial Information Research
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• v.10 no.2
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• pp.331-343
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• 2002

Recently, as various fields of applications using space-borne imagery have been emphasized, interests on integrated analysis or fusion using multi-sources are also increasing. In this study, to investigate applicability of multiple imageries for further regional-scaled application, DN value analysis and multi-resolution classification by using KOMPSAT EOC imagery and Landsat 7 ETM+image data in the Namyangju-city area were performed, and then this classified results were compared to land-use thematic data at the same area. In case of classified results by using muff-resolution image data, it is shown that linear-type features can be easily extracted. furthermore, it is expected that multi-resolution classified image can be effectively utilized to urban environment analysis, according to results of similar pattern by comparative study based on multi-buffered zone analysis or so-called distance analysis along main road features in the study area.

• Journal of Radiation Protection and Research
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• v.40 no.2
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• pp.73-78
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• 2015

In this study, a scintillation detector was fabricated using a silicon photomultiplier (SiPM) and a Ce:GAGG scintillator single crystal, and its spectroscopic properties were compared with those of commercially available LYSO and CsI:Tl scintillators using ${\gamma}$-ray spectroscopy. The energy resolutions of the self-produced scintillation detector composed of the scintillator single crystal (volume: $3{\times}3{\times}20mm^3$) and SiPM (Photosensitive area: $3{\times}3mm^2$) for standard ${\gamma}$-ray sources, such as $^{133}Ba$, $^{22}Na$, $^{137}Cs$ and $^{60}Co$ were measured and compared. As a result, the energy resolutions of the proposed Ce:GAGG scintillation detector for g-rays, as measured using its spectroscopic properties, were found to be 13.5% for $^{133}Ba$ 0.356 MeV, 6.9% for $^{22}Na$ 0.511 MeV, 5.8% for $^{137}Cs$ 0.662 MeV and 2.3% for $^{60}Co$ 1.33 MeV.