• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.412-412
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• 2010

플라즈마는 미세 전기 소자 제작에 있어 박막의 증착, 식각, 세정등 여러 가지 공정에서 널리 사용되고 있다. 미세 소자의 선폭의 감소와 높은 생산성을 위한 웨이퍼 면적의 대형화가 진행됨에 따라 플라즈마의 균일도는 공정 수율 향상의 관점에서 중요한 요소로 그것의 계측과 공정 중 실시간 감시에 필요성이 부각되고 있다. 플라즈마에 존재하는 라디칼의 밀도, 이온의 밀도, 전자 온도 등의 웨이퍼 상에서의 공간 분포와 공정 결과물과의 상관관계에 대한 연구는 현재까지 다양하게 진행 되었으며 특히, 라디칼의 공간 분포가 공정 결과물의 균일도와 큰 상관 관계가 있는 것으로 알려져 있다. 라디칼의 농도 분포를 계측은 레이저 유도 형광법, 발광 분광법, 흡수 분광법 등을 통하여 이루어져 왔으며, 특히 발광 분광법의 경우 계측의 민감성, 편의성등을 이유로 가장 널리 사용되고 있다. 그러나 현재 까지 진행된 발광 분광법을 이용한 라디칼의 공간 분포 계측은 그 자체로 공간 분포를 계측하는 것이 아닌 플라즈마 밀도의 축 대칭성을 가정하여 Abel inversion을 적용하거나, 광섬유를 플라즈마에 직접 삽입하는 방식을 사용하기 때문에 실제 반도체 제작공정을 비롯한 미세소자 공정 플라즈마의 라디칼 밀도 분포를 실시간, 비 접촉 방식으로 계측 하는데 한계가 있다. 본 연구에서는 반도체 공정 플라즈마의 밀도 균일성 분석을 위한 공간 분해 발광 분광기를 제안한다. 기존의 발광 분광법과 비교하여 공간 분해능 향상을 위하여 직렬로 설치된 다수의 렌즈, 개구, 그리고 핀홀을 이용하였다. 공간 분해 발광 분광기의 공간 분해능을 계산하였으며, 실험을 통하여 검증 하였다. 또, HDP CVD를 이용한 $SiO_2$ 박막 증착 공정에서 산소 라디칼의 농도와 증착된 박막의 두께 분포의 상관 관계를 계측 함으로써 공간 분해 발광 분광기의 플라즈마 공정 적용 가능성 입증 하였다.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.46 no.6
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• pp.519-526
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• 2018

In order to analyze space resources, it had to be brought to earth. However, using laser-induced breakdown spectroscopy(LIBS) and Raman spectroscopy, it is possible to analyze qualitative and quantitative analysis of space minerals in real time. LIBS is a spectroscopic method in which a high energy laser is concentrated on a material surface to generate a plasma, and the emitted light is acquired through a spectroscope to analyze the atomic composition. Raman spectroscopy is a spectroscopic method that analyzes the molecular structure by measuring scattered light. These two spectroscopic methods are complementary spectroscopic methods for analyzing the atoms and molecules of unknown minerals and have an advantage as space payloads. In this study, data were analyzed qualitatively by using principal component analysis(PCA). In addition, a mixture of two minerals was prepared and a quantitative analysis was performed to predict the concentration of the material.

• Analytical Science and Technology
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• v.13 no.5
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• pp.549-557
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• 2000

FRIR-ATR spectrometry has been used to monitor the aqueous reactions of compounds without distinct chromophores in ultraviolet and visible regions. For example, hydrolysis reactions of ${\alpha}$-cyclodextrin and ${\gamma}$-cyclodextrin in acidic aqueous solution were studied. FTIR-ATR method has been used for the monitoring of cyclodextrin hydrolysis in 1.0 M. 0.5 M, and 0.1 M HCl solutions, respectively. We also found that the hydrolysis of ${\alpha}$-cyclodextrin produced glucose, but the hydrolysis of ${\gamma}$-cyclodextrin proceeded further to give more fragmented products than glucose.

• Optical Science and Technology
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• v.8 no.3
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• pp.18-25
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• 2004

왜 펨토초 적외선 분광법인가\ulcorner 분광학이란 빛과 물질의 상호작용을 이용하여 물질에 대한 정보를 얻어내는 학문이다. 평형상태에 있는 물질을 구성하는 분자의 성질을 얻어내기 위해서는 보통의 분광학이 이용되지만 변화하거나 움직이고 있는 분자의 특성을 밝혀내기 위해서는 시분해 분광법이 주로 사용된다. 분자의 변화를 수반하는 화학적 변화는 거시세계에서는 상상을 초월할 정도로 매우 빨리 일어난다. (중략)

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.17 no.2
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• pp.76-80
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• 2007

Three nano-sized Fe-N particle samples synthesized by Chemical Vapor Condensation (CVC) were analyzed using $M\"{o}ssbauer$ spectroscopy, XRD and BET. The synthesized nanoparticles consisted of ${\epsilon}-Fe_{2.12}N,\;{\gamma}'-Fe_4N,\;{\alpha}-Fe\;and\;{\gamma}-Fe.\;{\gamma}'-Fe_4N$ was mainly formed at the low decomposition temperature. With increasing decomposition temperature, the phase was changed to ${\gamma}-Fe$ via ${\epsilon}-Fe_{2.12}N$. For synthesizing Fe-N phases, this study implies that the low decomposition temperature is better than high temperature during Chemical Vapor Condensation.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.143-143
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• 2012

일반적인 라만 분광 시스템은 회절 한계로 인해 공간 분해능이 떨어지며, 시료의 양이 적을 경우에 굉장히 미약하게 발생하는 라만 신호의 검출 감도가 떨어지는 단점이 있다. 본 연구에서는 이러한 문제점을 개선하기 위하여 tip-enhanced Raman spectroscopy (TERS)를 구축하였다. 구축한 TERS 시스템은 뾰족한 금속 탐침을 시료 위에 근접시켜 금속 탐침 내에 존재하는 전자와 여기 광 간의 플라즈몬 공명 현상에 의한 광 안테나 효과를 유도하여 라만 분광 시스템의 공간 분해능을 수십 나노미터 정도로 향상시켰으며, 기존의 라만 분광 시스템에서는 검출되지 않는 미약한 라만 신호를 검출할 수 있었다. 구축한 TERS 시스템을 이용하여 탄소나노튜브를 비롯한 다양한 반도체 시료의 라만 스펙트럼 및 라만이미지를 측정하였고, 금속 탐침이 시료위에 근접되지 않은 경우의 측정 결과와 라만 신호의 세기 및 라만 이미지의 공간 분해능을 비교하여 제안하는 TERS 시스템의 효용성을 검증하였다.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.22 no.6
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• pp.228-233
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• 2012

Magnetic properties of a solid are determined by the quantum mechanical states of valence electrons. Spin-polarized angle-resolved photoemission spectroscopy (SP-ARPES) is a powerful tool to probe the electronic states in a solid and provides valuable information on magnetic properties of a solid. In this article, brief introduction to SP-ARPES and its applications are provided.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.13 no.3
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• pp.189-196
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• 2002

The components and alignment parameters of a flat-field soft x-ray spectrometer used in the wavelength range below 50 $\AA$ are determined, and the characteristics of the spectrometer are analyzed. It consists of a toroidal mirror, a slit, a varied line-spacing concave grating, and a soft x-ray detector. The space-resolved spectral image of a source is formed on a single plane using the tordidal mirror and the 2400-grooves/mm varied line-spacing concave grating. The former is used to compensate for the astigmatism caused by the grazing incidence of soft x-ray light on the concave grating. The spectral and spatial resolutions of the spectrometer are calculated by applying the wave front aberration theory, and the diffraction efficiency is calculated by applying the scalar diffraction theory.

• The Optical Journal
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• s.103
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• pp.62-70
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• 2006

본고에서는 근접장 분광분석을 중심으로 측정원리나 개요를, 특히 다른 고공간분해측정 방법과 비교하면서 정리한 후 근접장광을 발생시키는 광학소자인 근접장 프로브와 근접장 분광측정을 하기 위한 시스템을 소개하겠다. 그리고 그 측정예로써 액정 등에 이용되고 있는 컬러 필터의 분석예 및 반도체 등의 제조과정에서 문제가 되는 매우 작은 유기계 이물의 측정예를 나타냈다.

• Journal of Astronomy and Space Sciences
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• v.19 no.1
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• pp.57-66
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• 2002

We designed two-dimensional position sensitive MCP(mixt.ochannel plate) detector for FIMS, which is composed of MCP, delay line anode, and delay line readout elec-tronics. And also, we fabricated and tested for the operation stability and resolution of the delay line readout electronic system. An anode simulator and a stimulator were used instead of the real MCP and anode during the test to see the electronic contribution to the resolution. The readout electronics was operated stably and showed time resolution of about 560 ps for the spectral direction and about 100 ps for the image direction respectively.