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일본 중등학교 가정교과서 주생활영역의 교육내용 분석 (Content Analyses of Housing Unit of Secondary School Home Economics Textbooks in Japan)

  • 장상옥
    • 한국가정과교육학회지
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    • 제22권4호
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    • pp.155-183
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    • 2010
  • 본 연구는 일본 중등학교 가정 교과서 주생활영역 교육내용 분석을 통하여 우리의 가정 교과서 주생활영역 집필, 내용 수시보완 및 교육내용 재구성 시의 시사점을 얻고자 하였다. 분석대상은 현재 사용되는 2009년판 중학교의 '기술 가정' 교과서 '가정분야' 2종과 고등학교의 '가정총합' 6종이며, 분석내용은 외형체제, 본문내용, 용어해설, 읽기자료, 표자료 및 활동자료의 내용이었다. 연구결과의 시사점은 다음과 같다. 첫째, 주생활영역의 교육내용을 학교급의 증가에 따라 학습의 연계성을 갖고 계통성 있게 심화할 수 있도록 구성하면, 주생활영역의 학습목표를 학생들에게 명확하게 구현할 수 있을 것이다. 따라서 앞으로 개정되는 중등학교 교육과정과 가정교과서의 주생활영역은 학년별, 학교급별로 교육내용의 연계성을 갖도록 구성한다. 아울러 2009년 교육과정에 제시된 한 시점에 집중이수하는 방식은 교육효과가 낮을 것이므로 교육과정의 검토가 요망된다. 둘째, 주생활영역의 교육내용 구성 시 관점은 생활의 주체인 개인이나 가족을 중심으로 주거환경, 근접환경, 광역환경 차원을 반영하여 학습자가 자신과 사회와의 관계를 중시하고, 지구환경을 생각하며, 전통문화를 계승 발전시킬 수 있도록 구성한다. 셋째, 주생활영역의 교육내용 구성 시 수준은 학교급별 이해수준을 감안하여 이해도가 낮은 중학교에는 실험이나 실습과 같은 체험활동을 포함하고, 고등학교에는 스스로 문제를 연구하고 실생활에 적용하며 실천할 수 있도록 구성한다.

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지역문화 특성화를 위한 캐릭터 개발에 관한 연구 - 광주광역시 캐릭터 개발 사례를 중심으로 - (A Study on the developing Character Contents for the making specialized regional culture - Centering on a development project of Characters in the city of Gwangju -)

  • 신승택;유장웅
    • 한국콘텐츠학회:학술대회논문집
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    • 한국콘텐츠학회 2004년도 춘계 종합학술대회 논문집
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    • pp.193-206
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    • 2004
  • 예로부터 빛고을로 인식되었던 광주가 근세에 이르러 의병활동, 광주학생운동, 5\ulcorner18민주화운동, 아직도 끝나지 않은 이념전쟁으로만 비추어질 수도 있는 지역의 이미지를 재정립하고, 도시 경쟁력의 증대를 위한 방안으로 CI사업 추진계획을 수립하고 3개년에 걸쳐(1999~2001) CI전략 개발, CI디자인 개발, 문화상품 개발, 도시환경디자인 개발 등을 추진하였다. 최근 커뮤니케이션에 있어서 캐릭터는 정보의 시각화라는 측면에서 다른 그래픽 심볼에 비해 설득적이라 할 수 있고, 기존의 심볼의 이미지 보완적 보조심볼로서의 개념이 아닌 독자적인 영역이 구축되어야 하므로 광주광역시 캐릭터 개발은 Character Identity 차원에서 메인캐릭터와 이를 각각의 용도에 맞춰 응용전개시키는 이벤트 캐릭터, 브랜드캐릭터로 구분하여 유형에 따라 다르게 적용되어야 할 적용성 및 활용성에 중점을 두고 개발되었다. 광주광역시의 메인캐릭터 개발컨셉은 "빛"과 "생명"으로 결정된 TCI이념을 활용하는 것과 광주의 상징 요소로서 "무등산"을 활용하는 두 가지 방향에서 개발이 진행되었으며, 1999년 10월의 TCI 추진회의 1차선정을 시작으로 광주시민을 포함한 전국민 설문조사와 2000년 4월의 의회설명회에 이르기까지 다양한 방법을 통해 캐릭터 개발안에 대한 평가와 검토/수정과정을 거쳐 기본캐릭터를 완성하게 되었다. 이를 통해 본 광주광역시의 캐릭터는 중장기적으로 치밀하게 계획되고 실천되어야 하며 변화하는 환경에 효율적으로 대응하는 구체적이고 실천적인 연구평가와 접근방법에 대한 연구 등으로 그 지역의 특징적인 문화를 상품화시키려는 노력이 캐릭터개발을 토대로 뒤따라야 한다. 촉진, 중요 연구 주제의 도출 및 연구 진행 계획을 수립하고, 국제적 산학 협력 강화를 통해 공동 연구를 도출하는 자리를 마련함. $\textbullet$본 학술회의에서 발표된 논문들을 취합하여, 논문집 및 CD-ROM을 제작하여 세계적 수준의 연구 결과를 알리고 이 분야에 관련된 학문, 기술 발전에 큰 도움이 됨.emove effectively radioactivity with in Adsorbent. As cleaning heavy water adsorbent and drying on each condition (temperature for drying and hours for cleaning). Because there is something to return heavy water adsorbent by removing impurities within adsorbent when it is dried o high temperature. After operating, we have been applying this research to the way to dispose heavy water adsorbent. Through this we could reduce solid waste products and the expense of permanent disposal of radioactive waste products and also we could contribute nuclear power plant run safely. According to the result we could keep the best condition of radiation s

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군 간부의 상담능력향상을 위한 상담교육 개선방안 (A Study on the Improvement of Counseling Education for Counseling Capabilities Rising of Military Officers)

  • 구승신;윤호순
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제16권7호
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    • pp.730-739
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    • 2016
  • 본 연구는 군 간부의 병사상담 및 관리를 위한 상담능력의 한계를 제시하고 이와 직접적으로 관련된 군대내에서 이루어지는 상담교육 개선방안을 모색하는 것이다. 기존문헌을 참고하여 후기청소년에 해당하는 군대내 병사들의 군 생활 부적응으로 인한 문제점을 살펴보았다. 또한 군대내 병사들과 밀착되어 생활하는 군 간부들이 병사들을 관리하는데 따른 어려움과 군대 내에서 이루어지는 상담교육의 실태를 살펴보았다. 본 조사의 목적을 달성하고자 설문조사, 심층면접을 실시하였다. 군 간부 100명을 대상으로 설문조사하여 빈도분석 하였으며, 설문조사 내용의 보완을 위해 3명의 군 간부를 대상으로 한 심층면접 자료를 질적 분석하였다. 분석결과 입대 전에 상담교육을 받은 경험이 없는 군 간부들이 76.5%였고, 입대 후에도 상담교육을 받지 않은 경우가 32.9%였다. 상담의 어려움을 호소한 경우가 61%였다. 군대 내에서 받은 상담교육에 대해 교육시간 부족과 이론중심 교육의 문제점을 언급하였다. 병사상담과 관련한 상담교육 내용의 개선방안으로 '병사들에 대한 이해', '병사들의 문제파악', '교육내용 적용' 군 상담 기술'등을 도출하였다. 이 연구는 병사들의 군생활 부적응 문제가 심각해지고 있는 현 상황에서 병사들을 상담하는 군 간부의 상담능력과 기존 상담교육의 한계를 알아보고 상담교육 개선방안을 도출하였다는 점에 의의가 있다.

우리나라 환경기초시설의 민영화 방안 모색에 관한 연구 (A Study on Policies to Privatize Basic Environmental Facilities in Korea)

  • 이재웅;김영국;김은규;박찬혁;최득수;정재춘
    • 유기물자원화
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    • 제8권4호
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    • pp.67-77
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    • 2000
  • 환경기초시설의 성공적인 민영화를 위하여 환경보전이라는 사회적 동기와 이윤추구라는 기업의 경제적 동기를 동시에 만족시킬수 있는 정책이 필요하다. 환경기초시설은 영리목적이 아니므로 양질의 환경서비스를 달성하기위한 민간경영마인드를 도입하여야 할 것이다. 외국사례를 보면 지역의 안정된 경제적 바탕 위에 철저한 경쟁을 통해 비용우위의 사업자를 선택하여 민영화를 실시하였다. 따라서, 민 관의 협력과 업무분담이 효율적이었고, 이를 위해서는 무엇보다도 지자체의 독립적 예산 마련이 필수적임을 알 수 있었다 그러나 국내 환경기초시설의 중요한 문제점으로 운영관리상의 낮은 효율과 기술적용에 있어 국산화율이 50%로 정부국고를 낭비하는 등 해결해야할 문제점이 많은 것으로 나타났다. 이를 해결하기 위해 민자유치촉진법 미비점 보완, 시범 민영화 플랜트 운영과 효율적인 민영화를 위한 연구사업 추진, 외국의 사례연구 및 현장시찰, 환경기초시설을 지방자치의 경영수익사업으로서 확대발전을 통한 환경예산의 관리 및 지원체계를 마련하는 방안을 강구할 수 있었다.

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산악지(山岳地)에서 국토보전(國土保全)과 토지이용효과(土地利用効果) 제고(提高)를 위한 혼림초지(混林草地)의 조성방안(造成方案)

  • 마상규
    • 한국산림과학회지
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    • 제58권1호
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    • pp.125-131
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    • 1982
  • 산지개간(山地開墾)에 의한 인공초지(人工草地) 조성(造成)은 급경사지(急傾斜地)이고 복잡(複雜)한 지형(地形)의 한국(韓國) 산악지(山岳地) 조건(條件)과 계절간(季節間)에 기후차(氣候差)가 심한 한국(韓國)의 기후상태(氣候狀態)로 보아 많은 문제점(問題點)이 있을 것이고, 이와 같은 지형(地形)과 기후조건(氣候條件)들 때문에 토지이용시(土地利用時) 신중(愼重)한 배려(配慮)가 요구(要求)된다. 산지황폐(山地荒廢)와 홍수피해(洪水被害) 등(等)이 국토관리상(國土管理上) 큰 문제점(問題點)으로 되어 왔고 금후(今後)에도 이 문제(問題) 해결(解決)은 토지경영(土地經營)에 있어 커다란 과제(課題)로 남아 있다. 또한 식량증산(食糧增産)을 위한 토지(土地)의 경제적(經濟的) 이용(利用)도 큰 과제(課題)의 하나임에는 틀림 없다. 이와 같이 토지이용상(土地利用上)에 서로 상충(相衝)되는 이들 과제(課題)를 해결하기 위하여 인공토지(人工土地) 조성(造成) 대책(對策)을 검토(檢討)한 바 임축인(林畜人)들이 상호(相互) 협동(協同)하여 이 과제(課題)의 기술(技術)을 개발(開發)시켜야 될 것으로 판단(判斷)이 된다. 국토보존(國土保存) 문제(問題)를 해결하고 동시에 인공초지(人工草地)의 문제점인 하고현상 식피밀도(植被密度)와 연년생장(年年生長)의 감소현상을 해결하기 위하여 상호보완적(相互補完的)인 생태적(生態的)인 방법(方法)이 도입(導入)되어야 할 것 같다. 이를 위해 삼림(森林)이 갖고 있는 토양침식방지(土壤浸蝕防止), 토양수분보지기능(土壤水分保持機能), 온도변화기능(温度變化機能), 공중온도(空中温度) 보지기능(保持機能), 방풍기능(防風機能)과 풍치기능(風致機能)을 잘 활용(活用)하여 국토(國土)를 보존(保存)시키고 동시(同時)에 초지생산성(草地生産性)도 높이는 방안(方案)이 인공초지조성(人工草地造成)에 있어 기대될 수 있는 방법(方法)으로 사료(思料)된다. 이의 대책(對策)의 일환으로 유실수(有實樹)와 초(草)와의 혼농림조성(混農林造成), 임간초지(林間草地)와 방목(放牧), 활엽수림하(闊葉樹林下)의 혼림초지(混林草地) 경사지(傾斜地)에 있어 대상식(帶狀式)과 세포식(細胞式)의 방풍(方風) 및 황폐방비림(荒廢防備林)에 의한 초지조성(草地造成) 또한 산능선부와 계곡부의 삼림(森林)을 보존(保存)시키는 초지조성법(草地造成法)을 제시(提示)하였다. 수광량(受光量)이 문제(問題)가 될 경우에는 간벌(間伐)과 가지치기 들(等)으로 조절할 수 있게 되고 예취작업(刈取作業)의 기계화상(機械化上)의 문제(問題)는 상하(上下) 수대(樹大)의 배열(配列) 또는 배식방법(配植方法)에 의해 조절할 수 있으므로 혼림초지조성(混林草地造成)이 초지생산성(草地生産性)에 하등의 영향을 주지 않을 것으로 사료(思料)되며 오히려 초생산량(草生産量)을 증대(增大)시키는 방법(方法)이 될 것이다.

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브라질 Mato Grosso do Sul 주에서의 유칼리나무 식재계획(植栽計劃)을 위한 농장토지이용구분(農場土地利用區分)에 관한 연구(硏究) - 원격탐사기술(遠隔探査技術)과 지리정보(地理情報)시스템(GIS)의 적용(適用) - (Farm Land Use Classification for the Planning of Planting of Eucalyptus Spp. at Mato Grosso do Sul of Brazil Using Remote Sensing and Geographic Information System)

  • 우종춘
    • 한국산림과학회지
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    • 제88권2호
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    • pp.157-168
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    • 1999
  • 본 연구는 브라질의 서부에 있는 Mato Grosso do Sul 주의 Jangada 농장과 Jamaica 농장에 유칼리나무 식재계획(植栽計劃)을 원활히 추진하기 위해 인공위성사진을 이용하여 식생분류(植生分類) 및 토지이용구분(土地利用區分), 경사도(傾斜度) 및 영구자연보존지역(永久自然保存地域) 등을 분석한 결과이다. Mato Grosso do Sul 주의 서쪽에 위치하는 이 지역은 볼리비아와 파라과이의 국경근처에 있기 때문에 지정학적(地政學的)으로 매우 중요하다. 또한 물품수출이 파라과이강을 통해서 아르헨티나의 수도인 부에노스아이레스 까지 도달될 수 있고 브라질의 남동지역과 안데스산맥에 연한 국가들을 연결하는 국도(國道)와 철도(鐵道)가 존재한다. 농장의 산림(山林) 피복지역(被服地域)의 일차해석을 위한 기초로서 Radambrasil프로젝트 SF-21 Campo Grande로부터 얻은 식생지도가 사용되었고, 그 이후에 현장조사(現場調査)가 수행되었다. 최초의 이미지해석이 이루어진 후에 사용급과 토지점유에 대한 개념정의가 이루어 졌으며 스펙트럼분류가 행해졌다. Jangada 농장과 Jamaica 농장에 있어서 산림지역 Savanna와 초원지역 Savanna가 전체 총면적의 68% 정도를 차지하고 있다. 현재로서 만족한 연구결과에도 불구하고 이미 이루어진 평가결과(評價結果)에 기초하여 프로젝트 발전을 위한 수정(修正)과 보완(補完)이 요구된다. 특히 토양(土壤)과 지형(地形)을 포함해서 환경인가에 대한 상세한 분석이 병행되어야 할 것이다.

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통합 보안 관리 시스템 구축을 위한 효율적인 보안 솔루션 구조 설계 (Efficient security solution structure design for enterprise security management system)

  • 강민균;한군희;하경재;김석수
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제9권4호
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    • pp.824-831
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    • 2005
  • 과거 기업의 네트워크 보안 시스템은 단일보안솔루션이거나 여러 방식을 복합했지만 유기적인 연계가 되지못해 비효율적인 시스템이었다. 그러나 이제 통합보안관리 솔루션이등장하면서, 한층더 강한 보안 시스템을 구축하게 되었다. 통합보안관리 시스템(ESM)은 여러 가지 보안 솔루션을 관리 하기 편하게 하기 위하여 각 에이전트의 통합을 이루는 방식을 취한다. 즉, 기존 VPN, FireWall, IDS등의 시스템을 보안정책에 맞추어 통합적으로 연계, 관리를 이루는 시스템이다. ESM이 기존의 보안시스템에 비하여 더욱 발전된 보안시스템 이기는 하나, 네트워크의 활용 및 기술의 발전 속도는 눈부신 속도로 증가 하고 있으며, 정보범죄 등의 역기능 또한 한층 그 수준을 높이고 있다. ESM 시스템도 많은 부분의 개선점이요구되고 있는데, 본 연구에서는 시스템 외부가 아닌 내부 보안에 대한 ESM의 취약점을 보완하고자 하였다. 보안정책의 기본이 되어지는 보안솔루션의 구조에 대해서 연구하여, 기존 보안시스템의 주 구성인 VPN, Firewall, IDS의 연계를 분석, 재구성하고 이를 통합하는 통합 보안 관리 시스템 자체의 보안을 강화 설계하였다. 가상의 칩입자를 설정하여 Telnet Log analysys IDS를 기존의 ESM 시스템과 제안된 ESM 시스템에 각각 적용한 접근 데이타를 비교, 분석하여 내부보안의 중요성과 제안된 시스템의 보안을 점검하였다.

공연로봇을 위한 인간자세 추정방법 개선에 관한 연구 (A Study on Improvement of the Human Posture Estimation Method for Performing Robots)

  • 박천유;박재훈;한재권
    • 방송공학회논문지
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    • 제25권5호
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    • pp.750-757
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    • 2020
  • 공연에 사용하는 로봇이 인간과의 상호작용하기 위한 기본 성능 중 하나는 인간의 행동을 빠르고 정확하게 파악하는 것이다. 따라서 로봇이 인간의 자세를 추정할 때 자세 인식의 정확도를 높임과 동시에 가능한 빠른 속도로 인식할 수 있어야 한다. 그러나 현재 인공지능 기술의 대표적인 방식인 딥 러닝을 사용하여 인간의 자세를 추정할 경우, 인식의 정확도와 속도라는 두 가지 성능을 동시에 만족하지 못하고 있다. 따라서 사용 목적에 따라 추론정확도가 높은 하향식 자세추정과 처리속도가 빠른 상향식 자세추정 중 하나를 선택해서 사용하는 것이 일반적이다. 본 논문에서는 앞서 언급한 두 가지 방식이 가진 장점을 모두 포함하면서 단점을 보완한 두 가지 방식을 제안한다. 첫 번째는 다중 그래픽 처리 장치를 활용해 상향식 자세추정과 물체검출을 병렬로 사용하는 방식이고, 두 번째는 상향식 자세추정과 단항분류를 융합하는 방식이다. 실험을 통해 두 가지 방식 모두 속도가 개선됨을 증명했다. 공연로봇에 이 두 가지 방식 중 하나를 사용한다면, 관객과 신뢰도 높으며 보다 빠른 상호작용을 수행할 수 있을 것으로 기대된다.

호흡동조 방사선치료의 2차원 선량 분포 정도관리를 위한 4D 정도관리 시스템 개발 (The Clinical Implementation of 2D Dose Distribution QA System for the Patient Specific Respiratory-gated Radiotherapy)

  • 김진성;신은혁;신정석;주상규;한영이;박희철;최두호
    • 한국의학물리학회지:의학물리
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    • 제21권2호
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    • pp.127-136
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    • 2010
  • 최근 시행되고 있는 호흡동조 방사선치료는 환자의 호흡의 주기를 이용하여 일정 주기에만 방사선을 조사하는 최신 방사선치료기술로 4D Computed Tomography와 RPM (Real-time Position Management) 시스템과 같은 호흡 모니터링 시스템의 개발로 환자들에게 시행이 되고 있다. 그러나 이러한 호흡동조 방사선치료에 대한 정도 관리는 아직 체계적으로 수행되고 있지 않으며 특히 환자에게 계획된 방사선치료선량이 환자의 호흡에 따라서 치료계획된 대로 조사되는지에 대한 정도관리에 대한 필요성이 요구되고 있다. 따라서 본 기관에서는 환자의 호흡신호를 사용하여 환자의 움직임을 동일하게 모사할 수 있는 팬텀을 제작하여 호흡동조 방사선치료의 2차원적 선량 분포를 평가할 수 있는 시스템을 구축하였고 특정환자의 호흡신호와 방사선치료계획을 이용하여 검증하였다. 환자의 호흡신호는 LabVIEW 7.0을 이용하여 모사하였고, 자체 제작한 팬텀 및 Kodak EDR2 필름을 사용하여 방사선을 조사한 뒤 gamma index를 사용하여 2차원 선량 분포를 비교 분석하였다. 본 연구에서 개발된 4D 정도관리 시스템을 좀 더 보완하여 호흡동조 방사선치료 과정에 있어서 조사선량의 적정성을 평가할 수 있는 정도관리 시스템으로 사용할 수 있을 것이라 생각된다.

하이브리드 SEM 시스템

  • 김용주
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.109-110
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    • 2014
  • 주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy: SEM)은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데에 가장 다양하게 쓰이는 분석기기로서 최근에 판매되고 있는 고분해능 SEM은 수 나노미터의 분해능을 가지고 있다. 그리고 SEM의 초점심도가 크기 때문에 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 관찰하는 것처럼 보여준다. 활용도도 매우 다양해서 금속파면, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질검사, 고분자 및 유기물, 생체시료 nnnnnnnnn와 유가공 제품 등 모든 산업영역에 걸쳐 있다(Fig. 1). 입사된 전자빔이 시료의 원자와 탄성, 비탄성 충돌을 할 때 2차 전자(secondary electron)외에 후방산란전자(back scattered electron), X선, 음극형광 등이 발생하게 되는 이것을 통하여 topography (시료의 표면 형상), morphology(시료의 구성입자의 형상), composition(시료의 구성원소), crystallography (시료의 원자배열상태)등의 정보를 얻을 수 있다. SEM은 2차 전자를 이용하여 시료의 표면형상을 측정하고 그 외에는 SEM을 플랫폼으로 하여 EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy), WDS (Wave Dispersive X-ray Spectroscope), EPMA (Electron Probe X-ray Micro Analyzer), FIB (Focus Ion Beam), EBIC (Electron Beam Induced Current), EBSD (Electron Backscatter Diffraction), PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer) 등의 많은 분석장치들이 SEM에 부가적으로 장착되어 다양한 시료의 측정이 이루어진다. 이 중 결정구조, 조성분석을 쉽고 효과적으로 할 수 있게 하는 X선 분석장치인 EDS를 SEM에 일체화시킨 장비와 EDS 및 PBMS를 SEM에 장착하여 반도체 공정 중 발생하는 나노입자의 형상, 성분, 크기분포를 측정하는 PCDS(Particle Characteristic Diagnosis System)에 대해 소개하고자 한다. - EDS와 통합된 SEM 시스템 기본적으로 SEM과 EDS는 상호보완적인 기능을 통하여 매우 밀접하게 사용되고 있으나 제조사와 기술적 근간의 차이로 인해 전혀 다른 방식으로 운영되고 있다. 일반적으로 SEM과 EDS는 별개의 시스템으로 스캔회로와 이미지 프로세싱 회로가 개별적으로 구현되어 있지만 로렌츠힘에 의해 발생하는 전자빔의 왜곡을 보정을 위해 EDS 시스템은 SEM 시스템과 연동되어 운영될 수 밖에 없다. 따라서, 각각의 시스템에서는 필요하지만 전체 시스템에서 보면 중복된 기능을 가지는 전자회로들이 존재하게 되고 이로 인해 SEM과 EDS에서 보는 시료의 이미지의 차이로 인한 측정오차가 발생한다(Fig. 2). EDS와 통합된 SEM 시스템은 중복된 기능인 스캔을 담당하는 scanning generation circuit과 이미지 프로세싱을 담당하는 FPGA circuit 및 응용프로그램을 SEM의 회로와 프로그램을 사용하게 함으로 SEM과 EDS가 보는 시료의 이미지가 정확히 일치함으로 이미지 캘리브레이션이 필요없고 측정오차가 제거된 EDS 측정이 가능하다. - PCDS 공정 중 발생하는 입자는 반도체 생산 수율에 가장 큰 영향을 끼치는 원인으로 파악되고 있으며, 생산수율을 저하시키는 원인 중 70% 가량이 이와 관련된 것으로 알려져 있다. 현재 반도체 공정 중이나 반도체 공정 장비에서 발생하는 입자는 제어가 되고 있지 않은 실정이며 대부분의 반도체 공정은 저압환경에서 이루어지기에 이 때 발생하는 입자를 제어하기 위해서는 저압환경에서 측정할 수 있는 측정시스템이 필요하다. 최근 국내에서는 CVD (Chemical Vapor Deposition) 시스템 내 파이프내벽에서의 오염입자 침착은 심각한 문제점으로 인식되고 있다(Fig. 3). PCDS (Particle Characteristic Diagnosis System)는 오염입자의 형상을 측정할 수 있는 SEM, 오염입자의 성분을 측정할 수 있는 EDS, 저압환경에서 기체에 포함된 입자를 빔 형태로 집속, 가속, 포화상태에 이르게 대전시켜 오염입자의 크기분포를 측정할 수 있는 PBMS가 일체화 되어 반도체 공정 중 발생하는 나노입자 대해 실시간으로 대처와 조치가 가능하게 한다.

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