• Title/Summary/Keyword: 배치 공정

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Dynamic Layout Design of Spinner MMI for 300mm Wafer (300mm 웨이퍼용 Spinner MMI를 위한 동적 레이아웃 설계)

  • Yoon, Young-Ho;Han, Kwang-Rok;Sohn, Seok-Won
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2000.10a
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    • pp.703-706
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    • 2000
  • 반도체 제조 공정의 효율적인 제어와 감시를 위한 모니터링 시스템을 구성하기 위해서는 장비가 가진 특성과 시스템 환경에서 요구되는 조건들과 동작 상태 둥을 사용자 인터페이스를 통하여 한 눈에 감시할 수 있는 화면 레이아웃이 요구된다. 본 논문에서는 차세대 반도체 장비인 300mm 웨이퍼 가공용 Spinner 의 MMI 개발을 목표로 하여 장비의 구성 요소들의 선택적 접속에 따라서 사용자 인터페이스용 레이아웃을 능동적으로 설계하는 방법에 대하여 기술하였다. 장비를 구성하는 기본 요소들간의 관계를 정의하고, 장비의 사양과 웨이퍼의 가공 목적에 따라 구성 요소들을 자동으로 유연성있게 배치하도록 하였다.

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Adaptive force regulation system in the milling process by current monitoring (전류감시를 이용한 밀링공정에서의 절삭력적응제어시스템)

  • 안동철;박영진;정성종
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 1996.11a
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    • pp.690-694
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    • 1996
  • In order to regulate the cutting force at a desired level during peripheral end milling processes, a feedrate override Adaptive Control Constant system was developed. This paper presents an explicit pole-assignment PI-control law through spindle motor current monitoring and its application to cutting force regulation for feedrate optimization. An experimental set-up is constructed for the commercial CNC machining center without any major changes of the structure. A data transfer system is constructed with standard interface between an IBM compatible PC and a CNC of the machining center. Experimental results show the validity of the system.

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A Study on Job Sequence and Feeder Allocation Problem in PCB Assembly Line (PCB 조립 공정의 작업 투입 순서 및 부품함 배치 문제에 관한 연구)

  • Yu, Sung-Yeol;Lee, Kang-Bae
    • Journal of Korean Society of Industrial and Systems Engineering
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    • v.29 no.1
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    • pp.63-71
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    • 2006
  • In this paper, we consider a planning problem arising from printed circuit board manufacturing industries. Given a set of several types of PCBs, component feeders and surface mounting machines in series in a PCB assembly line, the problem is to define the feeder allocation and job sequence with the objective of minimizing the total operation time of the line. We formulate the problem as a mathematical model. And, the problem is proven to be NP-hard, so a genetic algorithm is developed. Finally, we give test results to evaluate the performance of the genetic algorithm.

Software development for magnetron sputtering cathode for wafers (반도체용 마그네트론 스퍼터링 음극 전산 모사 소프트웨어 개발)

  • Ju, Jeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2016.11a
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    • pp.108-108
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    • 2016
  • 마그네트론 스퍼터링은 박막의 증착에 널리 사용되는 기술로 음극의 설계가 핵심적이다. 영구 자석과 전자석을 겸용하는 경우도 있고 고주파 코일을 추가하여 2차 플라즈마 발생을 유도하여 공정의 유연성을 한층 높인 방법도 오랫동안 사용되어 왔다. 전자의 자기장 하에서의 운동은 Lorentz force를 적분하여 예측할 수 있으며 가장 중요한 전자 - 중성간의 충돌 과정인 탄성 충돌, 여기 충돌, 이온화 충돌을 고려하면 보다 실질적인 마그네트론 플라즈마의 거동을 이해하고 그 결과를 기반으로 자석 배치를 설계할 수 있다. PIC (particle-in-cell) code를 이용하면 플라즈마 내의 전자기장 효과를 상세히 검증해볼 수 있지만 계산 시간의 부담 때문에 고성능 병렬 컴퓨터를 사용하여야 한다. 그 이유는 하전입자(전자, 이온)의 공간적인 분포에 변화가 발생하면 전위가 영향을 받고 전자의 가속이 발생하는 쉬스(sheath)의 두께가 따라서 변화하기 때문이다. 여기서 계산 시간의 단축을 위한 가정, 즉, 쉬스의 두께가 일정하다는 사실을 적용하면 계산시간을 획기적으로 단축 시킬 수 있으며 병렬 계산의 효율성도 향상시킬 수 있다. 본 연구에서는 이와 같은 원리에 입각한 코드를 개발하고 평판 디스플레이용 사각형 음극에 대해서 적용했던 경험을 바탕으로 원형의 스캔형 마그네트론 음극 구조의 이해와 설계에 적용하고자 코드를 개발하였다.

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PID controller design for profile of the RTP system (RTP시스템의 프로파일작성을 위한 PID제어기 설계)

  • Hong, Sung-Hee;Choi, Soo-Young;Park, Ki-Heon
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2000.07d
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    • pp.2548-2550
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    • 2000
  • RTP(Rapid Thermal Processing)은 IC제조 공정과 관련된 열처리 과정에 사용되는 단일 웨이퍼프로세스 기술이다. 반도체 웨이퍼를 고속 열처리할 때 웨이퍼별로 작은 반응실에서 가열, 가공, 냉각된다. 현재 사용되는 반도체 열처리장비는 고온로(furnace)에의해 대부분 이루어지지만, 시간이 많이 걸려서 주문형반도체 생산과 같은 다양한 종류의 웨이퍼를 소량 생산하는데는 부적절하다. 이에 매우 적은 시간이 소요되는 RTP장비가 많이 연구되고 있다. 그러나 RTP는 예기치 못한 몇 가지의 문제점을 일으킨다. 그중 하나는 웨이퍼 표면에 분포된 온도의 불 균일성이다. 이러한 불 균일성은 웨이퍼의 표면에 심각한 왜곡(distortion)을 일으켜 좋지 못한 결과를 가져오게 한다. 이번 논문의 목적은 RTP시스템을 수학적으로 모델링하고, 이를 이용하여 멀티 램프 시스템의 입력값을 조절하여 이미 배치된 램프에 대한 최적의 온도 균일도에 알맞은 각 램프입력을 구하여 램프 입력 프로파일을 만들고 또한 이를 이용하여 외란에 대한 PID 제어기 설계를 목표로 한다.

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Development of A Virtual factory Simulation System (가상 공장 Simulation 시스템 구축)

  • 이창민
    • Proceedings of the Korea Society for Simulation Conference
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    • 1999.04a
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    • pp.100-104
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    • 1999
  • 실제 생산공장에서 행해지는 작업 방법이나, 제조 과정을 사전에 보여질 수 있다면 작업 환경에서 일어나는 문제점 등을 미리 예측 할 수도 있고, 공간활용 및 효율적인 운영이 가능할 것이다. 본 연구는 주어진 공장 내에서 최적 배치를 위한 물류의 이동 및 적재 시스템 구축을 위한 단계로써 기존의 P업체를 대상으로 가상 공장 Simulation 시스템을 구축하였다. 가상 공장 시스템은 VR(Virtual Reality)기법을 적용하여 생산 과정 모습을 재현하도록 구현하였다. 가상 공장을 구축하여 기존 공장의 문제점을 지적하고 효율적인 운영을 위한 방안을 제안하였으며 각 부서별 재배치도 제안하였다. 구현된 가상공장은 트윈기, 인플레이션기, 인쇄기 등으로 구성되며, 생산 공정의 가상 시뮬레이션을 통하여 실제 생산라인 및 장비의 효율성을 평가하였고 생산 과정을 수행하여 신 방비의 사용 여부를 분석할 수 있었다.

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Conceptual Design of Penumatic System Routing for Liquid Rocket Engine (액체로켓엔진의 공압류 라우팅 개념 설계)

  • Kim, Okkoo;Park, Soonyoung;Jung, Eunhwan
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.1112-1114
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    • 2017
  • The liquid rocket engine determines the routing of the component placement and layout by adapted the cycle method, the hardware configuration, the gimbal type on the functional implementation, and so on. In this paper, the conceptual routing of major pneumatic lines such as helium (He) supply pneumatic line for driving, many purge pneumatic line and main ignition line based on the main components installed in the liquid rocket engine was performed.

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A Real-Time Loading Strategy of Batch Processing Machines for Average Tardiness Minimization (평균납기지연 최소화를 위한 배치생산공정의 실시간 로딩전략)

  • Koo, Pyung-Hoi
    • Journal of Korean Institute of Industrial Engineers
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    • v.40 no.2
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    • pp.215-222
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    • 2014
  • This paper provides a real-time loading strategy for batch processing machines in which a number of jobs are simultaneously processed as a batch. The batch processing machines can be seen in both manufacturing industries (e.g., semiconductor, automobile and metal working) and service industries (transportation vehicles, mail shipment and theme park). This paper focuses on batch processing machines in semiconductor manufacturing. We present a look-ahead loading strategy for tardiness minimization where future arrivals and due dates are taken into consideration. Simulation tests are performed on the presented strategy and some existing loading heuristics under various production settings with different traffic intensities and forecasting errors. Experimental results show that our strategy provides the performance of good quality.

Design and Implementation of the Viewer for VLSI Circuit and Layout (VLSI 회로정보 및 레이아웃의 Viewer 설계 및 제작)

  • Bae, Jong-Kuk;Hur, Sung-Woo
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2002.11a
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    • pp.433-436
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    • 2002
  • VLSI 칩 설계는 매우 복잡한 공정이기 때문에 여러 단계, 즉 크게 분류하여 구조 설계, 논리 설계, 물리 설계 등의 과정을 거쳐 완성하게 된다. 그리고 각 단계에서는 그 단계에서 사용될 수 있는 소프트웨어의 도움을 받게 되며, 이런 소프트웨어의 도움 없이는 오늘날의 고밀도 칩 설계는 불가능하다. 각 단계에서 사용되는 소프트웨어의 주요한 기능 중 하나가 시뮬레이션 등을 통한 설계의 적합성을 테스트하는 것이라면 또 다른 주요한 기능은 설계자로 하여금 눈으로 확인하며, 변형된 설계의 일부를 눈으로 볼 수 있도록 보여주는 기능이라고 볼 수 있다. 논 본문에서는 칩 설계에서 가장 복잡한 단계라고 볼 수 있는 물리 설계 과정에 사용될 수 있는 Viewer를 설계하고 구현하여 제안한 Viewer를 통하여 회로의 정보를 보여 주며, 또한 상이한 레이아웃을 비교할 수 있도록 도와 준다. 설계된 Viewer 는 비록 초기버전이지만 물리 설계 단계에서 매우 중요한 정보, 예를 들어 critical net, 상이한 배치 등을 눈으로 확인하게 도와줌으로써 물리 설계에 관계된 다른 소프트웨어의 성능 개선을 유도할 수 있으며 또 실제 칩 설계 현장에서 바로 사용될 수 있기 때문에 실용성이 매우 높다.

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Development of Stamping Process Optimization System through the Integration of Blank Design and Nesting (블랭크 설계와 배치의 일체화를 통한 스탬핑 공정 최적화 시스템의 개발)

  • 심현보;박종규
    • Transactions of Materials Processing
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    • v.12 no.7
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    • pp.615-622
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    • 2003
  • In the automobile industry, the design of optimal blank shape becomes a significant part of the stamping. It provides many evident advantages, sush as enhancement of formability, reduction of material cost and product development period. However, the nesting process, required for the optimal usage of materials in the blanking becomes more complicated as the blank shape becomes complicated, like most optimal blank shape. In this study, stamping process optimization system for the optimal usage of material has been developed through the integration of optimal blank design and optimal nesting. For optimal blank design, a radius vector method, the modified version of the initial nodal velocity method, the past work of the present author, have been proposed. Both the optimal blank design and optimal nesting programs have been developed under the GUI environment for the convenience of engineers. The efficiency of the optimization system has been verified with some chosen problems.