• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.256-256
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• 2010

최근 반도체 공정을 위한 증착이나 식각장비에 있어서 웨이퍼 크기의 증가는 새로운 연구 분야를 발생시켰다. 웨이퍼의 크기가 200 mm에서 300 mm, 450 mm로 커지지만, 같은 특성 혹은 더 좋은 특성을 필요로 하는 플라즈마를 이용하는 진공장비의 기하적 구조는 비례적으로 증가하지 않는다. 이런 이유로 450 mm의 웨이퍼 공정용 장비의 제작에 있어서 진공 부품과 플라즈마 발생 소스는 더 이상 시행착오로 실험하기에는 막대한 돈과 시간, 인력의 투자가 필요하기 때문에 불가능하게 되었다. 이런 시행착오를 줄이기 위함의 일환으로 본 연구에서는 450 mm 웨이퍼 공정용 장비의 챔버 구성에 따른 플라즈마 균일도를 수치 모델링으로 예측했다. 챔버를 구성함에 있어서 baffle의 형상과 위치, 배기 manifold에 따른 유동분포, 플라즈마 균일도를 위한 안테나의 구조 등 중요한 요소들이 많이 존재하지만, 일단 전체적인 챔버의 종횡비가 결정되어야 가능한 일들이다. 첫째, 기판홀더와 챔버 벽면 간의 거리, 기판홀더와 배기구까지의 거리, 기판과 소스와의 거리가 인입되는 가스 분포와 플라즈마 균일도에 가장 큰 영향을 끼칠 것으로 판단된다. 즉, 위의 세 가지 챔버 내부 구조물의 크기 비에 따라 기판 바로 위에서의 플라즈마 균일도가 가장 좋은 디자인을 최적화하는 것이 본 계산의 목적이다. 기판 표면에서의 플라즈마 밀도 균일도는 기판홀더와 벽면과의 거리, 기판과 소스와의 거리가 멀수록, 기판홀더와 배기구와의 거리가 짧을수록 좋아졌으며, 그림과 같이 안테나의 디자인이 4 turn으로 1층인 경우, 두 turn의 안테나만 사용하여 기판표면에서 20~30%의 플라즈마 균일도를 4.7%까지 낮출 수 있었다

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2017.05a
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• pp.323-323
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• 2017

본 연구 대상인 주암댐-주암조절지댐간 도수터널은 저수지 간 연계운영을 통하여 서 남해안 일대의 용수 공급하기 위하여 건설되어 운영되었으나, 터널의 구조적 불안정성이 제기됨에 따라 향후 발생 가능성이 있는 용수공급 중단을 방지하기 위하여 신규 도수터널이 제안되었다. 계획된 신규 도수 터널의 주요 시설물은 크게 양방향 운영이 가능한 터널(D=3.3 m, L=11.23 km), 각 저수지 상황별 운영을 위한 취수문비 2개소, 도수가 이루어지는 상황에서 수문 돌발 폐쇄시 수충격을 감쇄하기 위한 배기구(air vents) 2개소가 계획되었다. 이에 따라 본 연구에서는 주암댐에서 주암조절지댐으로 최대 유량이 통수되는 상태에서, 수문폐쇄에 따른 수충격을 정량적으로 분석하고자 Joukowsky 공식에 적용하여 완폐쇄와 급폐쇄시 도수터널의 안정성을 검토하였으며, 수문 폐쇄로 인한 천이적인 흐름상태 등 수충격 모의가 가능한 1차원 ITM 모형을 적용하여, 수리분석과 수치모형과 결과 비교하고, 계획된 배기구의 유무에 따른 효과를 알아보고자 하였다. 분석 결과, 계획된 0.3 m/min으로 수문을 폐쇄할 경우, 도수터널의 안정성에는 문제가 없을 것으로 분석되었으나, 수문을 급 폐쇄 할 경우, 압력수두가 크게 증가하여 도수터널에 위험이 있을 것으로 분석되었으며 배기구 유무에 따른 수충격 검토 결과 도수터널 내의 수압상승을 적절히 조절하는 조압수조의 역할을 만족스럽게 수행할 것으로 분석되었다.

• Proceedings of the KSAR Conference
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• 2003.06a
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• pp.64-64
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• 2003

본 연구는 돼지의 미성숙란을 체외에서 성숙, 수정시킨 후 생산된 체외수정란을 NCSU23 체외배양액에 sodium pyruvate, hemicalcium lactate 및 glucose를 첨가해 돼지 체외수정란의 체외발육에 미치는 영향을 검토하였다. NCSU23 체외배양액에 Glucose 0 mM, 2.78 mM, 5.56 mM 및 11.12 mM을 처리하여 체외배양한 결과 분할율은 glucose처리구가 무처리구에 비해 통계적으로 유의하게 높은 성적을 나타냈으며(P<0.05), 상실배까지 체외발육률 또한 glucose처리구가 무처리구에 비해 통계적으로 유의하게 높은 성적을 나타냈다 (P<0.05). 한편 배반포까지의 체외발육율은 5.56 mM 처리구가 다른 처리구에 비해 높은 경향을 나타냈지만 통계적 유의성은 인정되지 않았다. Glucose와 0.4mM sodium pyruvate, 2mM hemicalcium lactate 공동배양 처리구와 glucose를 첨가하지 않은 처리구의 분할율은 처리구간 커다란 차이를 나타내지 않았으며, 상실배기 이상 발육된 체외 발육율도 처리구간 커다란 차이를 나타내지 않았다. 또한, 각 처리구간 분할율은 hemicalcium lactate와 glucose공동배양 처리구가 가장 좋은 성적을 나타냈지만 통계적 유의성은 인정되지 않았으며, 상실배기 이상 발육된 체외 발육율은 hemicalcium lactate만 첨가한 처리구가 가장 좋은 성적을 나타냈지만 통계적 유의성은 인정되지 않았다. Sodium pyruvate를 체외수정 후 8시간, 48시간, 96시간, 120시간에 제거하였을 때 분할율은 sodium pyruvate를 제거하는 시기가 늦어질수록 분할율이 향상되는 경향을 나타냈지만 통계적 유의성은 인정되지 않았다. 또한, 상실배기 이상 발육된 체외 발육율은 제거하는 시기가 늦어질수록 체외 발육율이 향상되는 경향을 나타냈지만 통계적 유의성은 인정되지 않았다. 본 연구의 결과 돼지 체외수정란의 체외배양시 glucose의 첨가는 체외발육을 증진시키는 결과가 있었으며, glucose와 sodium pyruvate, hemicalcium lactate 공동배양은 체외배양에 별다른 영향을 미치지 못하는 것으로 나타났다.

• Journal of the KSME
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• v.33 no.1
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• pp.14-21
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• 1993

본 해설에서는 가정용 진공청소기에서 일반적으로 사용되는 진동 . 소음 측정기법과 진공청소 기의 저소음화를 위해 별도로 고안된 흡음방이 장착된 진공청소기에 대한 측정예를 소개하였다. 본 해설에서 다룬 흡음방은 일반적인 소음기의 원리를 응용한 장치로서 저소음화가 특히 요구 되는 가정용 진공청소기의 효과적인 차음장치로 사용가능함도 확인하였다. 추가적으로 진행될 과제는 흡기구에서 배기구에 이르는 진공청소기 본체 내부의 긴유로에 대한 개선과 흡음방 내에 부착되는 보다 우수한 흡음제의 개발, 진공청소기의 전 부분에 대한 기밀유지 등이 있을 수 있 으며, 위의 분야에 대한 추가적인 지식들이 보강된다면 흡음방의 효과를 보다 높일 수 있는 전체 시스템이 형성될 수 있을 것이다. 음 저감의 효과를 감안할 때 수용 가능한 정도라 판단된다.

• The Magazine of the Society of Air-Conditioning and Refrigerating Engineers of Korea
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• v.29 no.3
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• pp.17-23
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• 2000

개방형 사무실 건물에서, 총 환기량이 적정할지라도 국부적으로 환기가 부족하거나 또는 과다한 작업공간들이 존재할 수 있다. 이것은 환기시스템을 설계할 때 작업공간의 배치와 관련된 정보를 활용하지 않기 때문이다. 모든 작업공간이 충분히 환기될 수 있도록 하기 위해서는 급기구나 배기구 그릴의 형태나 배치선정 등과 같은 다 양한 설계변수들이 작업공간의 HVAC 시스템의 성능에 미치는 영향을 파악하여야 한다. 본 원고는 최근 수행된 작업공간의 환기 성능에 관한 연구결과를 요약한 것이다.

• 대한방사선방어학회:학술대회논문집
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• 2009.11a
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• pp.168-169
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• 2009

• Proceedings of the SAREK Conference
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• 2006.11a
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• pp.53-53
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• 2006

• 대한방사선방어학회:학술대회논문집
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• 2009.04a
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• pp.262-263
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• 2009

• 대한방사선방어학회:학술대회논문집
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• 2009.04a
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• pp.150-151
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• 2009

• Proceedings of the Korean Radioactive Waste Society Conference
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• 2006.06a
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• pp.247-247
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• 2006