• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 2007.05a
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• pp.185-190
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• 2007

In recent days, vibration isolation system is mostly required in precise measurement and manufacturing system to reduce vibration due to external disturbances and internal actuators. Among all the vibration isolation systems, air spring is widely used because of its low resonant frequency and high damping ratio. In this study, we first analyze the passive air-spring system using leveling valve, and then design the active vibration isolation system. Because the non-linearity of pneumatic characteristics, we try to design the fuzzy controller which is better than PID controller at complex and non-linear system, and then compare them both in experiment and simulation.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 2007.11a
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• pp.731-736
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• 2007

Vibration isolation equipments are mostly required in precise measurement and manufacturing system. Among all the vibration isolation system, air-spring is the most widely used equipment because of low resonant frequency and high damping ratio. In this study, Takagi-Sugeno fuzzy method is used to design an active vibration isolation system using air-spring, and compared the fuzzy method with passive control method and PID control method. Due to the non-linearity characteristics of air-spring, fuzzy controller was verified to be the most effective both in simulation and experiment.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2007.06a
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• pp.132-138
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• 2007

최근 반도체 및 디스플레이 산업 등에서 초정밀 가공, 측정 등이 필요함에 따라, 외란과 내부 진동을 차단하는 방진 시스템에 대한 연구가 활성화 되고 있다. 기존에 소개된 여러 방진 시스템 중에서 가장 많이 연구되는 공기스프링은 압축 공기를 이용하여 큰 하중을 지지할 수 있으면서 상대적으로 낮은 강성으로 낮은 고유진동수를 유지할 수 있다. 본 연구는 기존의 레벨링밸브를 이용한 수동 방진 시스템을 분석하여 이를 개선하고 디스플레이장비용 능동 방진 시스템을 설계하였다. 공기의 비선형 특성에 기인하는 복잡한 비선형 시스템 제어에 PID 제어기 보다 유리한 퍼지 제어기를 설계하였고, 실험과 해석을 비교하였다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 1993.10a
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• pp.191-196
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• 1993

본 연구에서는 이러한 방진궤도의 성능을 파악하고 또 적절한 방진궤도의 설계를 위하여 먼저 모형화하는 방법을 제시하였다. 이를 위해서는 궤도를 구성하는 방진요소의 특성을 결정하는 것이 필수적이므로 현재 사용되고 있 는 점탄성 방진재에 대하여 주파수, 온도, 초기 변형률, 동적변형률등 여러가 지 인자에 대한 물성치를 구하였으며, 이를 이용하여 궤도계의 진동전달 특 성을 파악하고 고찰하였다.

• Journal of the Korean Society for Railway
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• v.17 no.4
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• pp.281-288
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• 2014

The objective of this study was to estimate the vibration reduction capacities of a floating track system using a resilient rubber mat, and to compare the results with the track support stiffness and track impact factor of a conventional slab track system by performing field tests using actual vehicles running along a service line. The theoretically designed track support stiffness and track impact factor were compared with the measured track support stiffness and track impact factor for each tested track. The calculated and measured track support stiffness of the floating track system were found to be similar, and the floating track system satisfied the design specifications of the track impact factor. The overall vibration level and track support stiffness of the floating track system were thereupon found to be significantly lower than those of the conventional slab track system. The experimental results thus showed that the vibration reduction effect of the floating track system is greater than that of the conventional slab track.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 1991.04a
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• pp.127-132
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• 1991

충격에 민감한 용기나 기계들은 운반이나 보관중에 받을 수 있는 진동충격 을 완화시키기 위해 충격 마운트를 이용하게 되며, 충격마운트는 용기나 기 계들이 허용하는 최대가속도와 이들이 취급되는 환경에 의해 적절히 선정되 어야 한다. 그러므로 내충격 설계는 최대 허용 가속도나 취급환경에 대한 사 양과 이 사양에 의한 충격 마운트의 선정, 그리고 선정된 내충격 시스템의 충격시험에 의한 오일 탬퍼의 결합용이 사용되기도 하지만 구조가 복잡하고 가격이 비싸서 대용량이 경우에만 국한되어 사용되고 있으며, 가장 경제적인 것은 방진고무를 사용한 것이다. 내충격 시스템은 일반적으로 큰 변형량을 요구하고 있으며, 방진고무의 경우 큰 변형에서는 hardening 스프링의 비선 형성을 가지고, 형상계수와 고무배합율에 따라 정적 스프링상수와 동적 스프 링상수가 큰 차이를 보이는 등, 설계상의 여러 제한이 있다. 그러나 방진고 무는 형상변화가 자유로우며 제작이 용이하기 때문에 이러한 장점을 이용하 면 저렴하고 다양한 용도의 충격마운트 제작에 효과적으로 사용될 수 있다. 본 논문에서는 원통형 콘테이너의 내충격 설계를 위해 충격사양에 의한 충 격마운트의 설계, 설계된 내충격 시스템의 충격시험에 의한 검증을 순차적으 로 실시하여, 방진고무를 이용한 충격마운트 설계기술을 제시함으로써, 이후 방진고무제품의 설계를 위한 자료 및 과정의 제정에 도움을 주고자 한다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2007.06a
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• pp.29-33
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• 2007

최근의 반도체/display 관련 생산장비 및 검사장비들이 대형화/고속화 되어감에 따라 과거 stepping 방식에서 scanning 방식으로 전환된 장비들이 공정 상에 발생하는 과도응답 형태의 진동으로 인하여 제품 수율의 저하와 생산 효율의 감소를 가져오고 있다. 이러한 과도응답의 진동은 장비 자체의 가진력으로부터 발생하므로 건물 구조의 동강성 증대 방안이나 고효율의 방진 시스템 적용으로는 한계를 가지고 있다. 본 논문에서는 smart 재료인 MR유체를 이용한 MR damper를 이용하여 방진효율을 유지하면서 과도응답의 진동을 제어하기 위한 반 능동제어 방식의 방진/제진 시스템을 구성하였으며, 시스템 해석과 제어 시스템의 구성을 위하여 6자유도 강체 진동에 대한 운동방정식을 고려하였다.

• Proceedings of the KSR Conference
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• 2004.06a
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• pp.994-1000
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• 2004

대형시험장비가 설치되는 실험실의 계획에서 장비의 진동은 간과할 수 없는 고려사항이다. 따라서 시험장비를 지지하는 구조물과 기초의 설계시 시험장비의 운행 중 발생하는 공진을 피할 수 있는 구조적 체계의 진동특성에 대한 적절한 평가가 요구된다. 본 논문은 동적특성을 얻기 위해 바닥구조물의 FE 모델링에 관하여 기술하였다. 또한 진동저감을 위한 시험장비기초의 설계를 위해 tuning, 진동기준. 방진시스템을 검토하였다. 시험장비의 진동을 줄이는 최선의 방법은 low tuning 이였으며 이의 구현을 위해 방진스프링과 함께 단단한 콘크리트 블록위에 시험장비를 설치하였다. 총체적인 방진시스템의 구조적 진동특성은 이동성, 힘, 속도 스펙트라를 이용해 표현되었다. 전달과 지점이동 FRF의 비를 시뮬레이션을 통해 비교함으로서 바닥 슬래브의 진동전달 정도가 관찰되었다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 2001.05a
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• pp.656-661
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• 2001

생산 현장의 진동환경은 부품생산활동과 관련된 공정변수중 대표적인 것으로 기계 부품 생산의 품질 및 생산품의 불량률에 큰 영향을 미치며 또한 주변으로 전파된 진동은 우수한 진동환경을 요하는 다른 생산장비에 나쁜 영향을 미치기도 한다. 본 연구의 대상은 공장의 이전으로 인한 환경변화에 의해 발생한 타공형 방음벽 생산 프레스의 진동을 제어하기 위해 바닥의 진동가속도 레벨을 측정하고 DIN 5140에 제시된 기준에 적합하도록 방진 시스템을 설계하였으며 그 결과 방진전과 비교하여 약 20 ㏈ 가량의 바닥 진동 가속도 레벨이 감소하였다.

• Journal of the Semiconductor & Display Technology
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• v.2 no.3
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• pp.37-43
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• 2003

It is necessary to design the anti-vibration system of precision machinery for a quality assurance. However, in general, the allowable vibration limit is not well known. In this paper, the vibration criteria for foundation of sensitive machinery is proposed and anti-vibration system is designed by using vibration measurement results of foundation. Also, the finite element analysis is performed to verify the effectiveness of the designed anti-vibration system and to determine the allowable dynamic loads of precision measuring system. The results of this study will be helpful for the future design of anti-vibration structures with nano scale measuring system.