• 제목/요약/키워드: 방지방도

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미세 배선 적용을 위한 Ta/Cu 적층 구조에 따른 계면접착에너지 평가 및 분석 (Effect of Ta/Cu Film Stack Structures on the Interfacial Adhesion Energy for Advanced Interconnects)

  • 손기락;김성태;김철;김가희;주영창;박영배
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제28권1호
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    • pp.39-46
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    • 2021
  • Cu 배선(interconnect) 적용을 위한 다층박막의 적층 구조에 따른 최적 계면접착에너지(interfacial adhesion energy, Gc) 평가방법을 도출하기 위해, Ta, Cu 및 tetraethyl orthosilicate(TEOS-SiO2) 박막 계면의 정량적 계면접착에너지를 double cantilever beam(DCB) 및 4-점 굽힘(4-point bending, 4-PB) 시험법을 통해 비교 평가하였다. 평가결과, Ta확산방지층이 적용된 시편(Cu/Ta, Cu/Ta/TEOS-SiO2)에서는 두 가지 평가방법 모두 반도체 전/후 공정에서 박리가 발생하지 않는 산업체 통용 기준인 5 J/㎡ 보다 높게 측정되었다. Ta/Cu 시편의 경우 DCB 시험에서만 5 J/㎡ 보다 낮게 측정되었다. 또한, DCB시험 보다 4-PB시험으로 측정된 Gc가 더 높았다. 이는 계면파괴역학 이론에 따라 이종재료의 계면균열 선단에서 위상각의 증가로 인한 계면 거칠기 및 소성변형에 의한 에너지 손실이 증가 하는것에 기인한다. 4-PB시험결과, Ta/Cu 및 Cu/Ta계면은 5 J/㎡ 이상의 높은 계면접착에너지를 보이므로, 계면접착에너지 관점에서는 Ta는 Cu배선의 확산방지층(diffusion barrier layer) 및 피복층(capping layer)으로 적용 가능할 것으로 생각된다. 또한, 배선 집적공정 및 소자의 사용환경에서 열팽창 계수 차이에 의한 열응력 및 화학적-기계적 연마 (chemical mechanical polishing)에 의한 박리는 전단응력이 포함된 혼합모드의 영향이 크므로 4-PB 시험으로 측정된 Gc와 연관성이 더 클 것으로 판단된다.

한국 성인 자살관념자의 자살시도 연관 요인 (Factors Associated With Suicidal Attempt among Suicidal Ideators of Korean Adults)

  • 최윤철;김현석;이상신
    • 정신신체의학
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    • 제30권2호
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    • pp.127-136
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    • 2022
  • 연구목적 자살관념이 있는 한국성인에서 자살시도와 연관된 요인을 규명하고자 하였다. 방 법 질병관리청에서 매년 실시하는 국민건강영양조사 중 자살행동을 조사한 2015, 2017, 2019년도 결과를 분석하였고, 만 19세 이상 성인을 대상으로 하였다. 자살관념자를 자살시도군(n=92)과 비자살시도군(n=831)으로 나누었고, 복합표본 교차분석으로 두 군의 사회인구학적, 정신의학적, 임상적 특성을 비교하였다. 복합표본 로지스틱 회귀분석으로 자살관념자에서 자살시도와 연관된 인자를 조사하였다. 결 과 자살관념자 중 자살시도군에서는 비자살시도군에 비해 우울증 진단 병력, 자살시도 전 정신의학적 상담 경험, 자살계획이 유의하게 많았다(p<0.001). 또한 두 군은 소득 수준, 폭음 빈도, 흡연 빈도에서 유의한 차이를 보였다(p<0.05). 다변량 분석 모형(Adjusted model)에서 자살계획이 있는 경우(Odds ratio [OR]=8.46, 95% Confidential Intervals [CI]=4.72-15.00), 매일 폭음을 하는 경우(OR=3.14, 95% CI=1.26-7.84), 최근 1년 동안 정신의학적 상담 경험이 있는 경우(OR=3.03, 95% CI=1.75-5.23), 소득 수준이 낮은 경우(OR=2.89, 95% CI=1.17-7.10), 평생 우울증을 진단받은 적이 있는 경우(OR=2.39, 95% CI=1.29-4.42)가 자살시도와 통계적으로 유의한 연관성이 있었다. 결 론 우리나라 일반인구의 자살관념자에서 사회인구학적, 정신의학적, 임상적 변수 모두에 걸쳐서 자살시도의 위험요인이 나타났다. 자살관념이 있는 환자들에서 자살계획, 문제음주, 소득수준, 우울증 병력 등을 평가하고 개입하는 것이 자살시도로의 이환을 방지해 줄 가능성이 있다.

조산아에서 말초혈액 중성구수와 호흡 부전증과의 연관성 (Peripheral Neutrophil Count and Respiratory Failure in Preterm Infant)

  • 이금주;윤수영;이란;현재호;정귀영;박진희;박영선
    • Clinical and Experimental Pediatrics
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    • 제45권5호
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    • pp.596-602
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    • 2002
  • 목 적 : 체순환에서 중성구수의 감소는 과립구에 의해 발생하는 폐손상에서 공통적으로 발견되는 소견으로, 특히 말초 혈액에서 중성구 감소와 폐실질로의 중성구의 이동은 다양한 정도의 호흡 장애와 관련된 것으로 알려져 있다. 저자들은 조산아에서 생후 2시간내에 시행한 말초 혈액 검사에서 중성구수의 감소와 호흡 부전증과의 연관성을 알아보고자 본 연구를 시행하였다. 방 법 : 출생체중 500 gm에서 1,350 gm 사이의 조산아로 1993년 1월에서 1999년 12월까지 방지거병원에서 출생한 97례 중, 중성구수에 영향을 미칠 수 있는 경우를 제외한 44례를 대상으로 생후 2시간 이내 중성구수가 $1.0{\times}10^9/L$ 미만인 경우를 중성구 감소군 (17례), $1.0{\times}10^9/L$ 이상인 경우를 중성구 비감소군(27례)으로 나누고 후향적인 임상적 고찰을 통해 연구를 시행하였다. 재태연령, 출생체중, 분만방식, 1분 및 5분 Apgar점수를 조사하여 기록하였고, 환아의 입원기간, 기계적 환기요법 기간, 산소 보충요법 기간, 최고 흡기압력, 최고 인공환기 횟수, 최고 흡기농도 등의 호흡지표와 동맥관 개존증의 유무, 폐렴, 기흉, 신생아 호흡부전증, 기관지폐 이형성증, 뇌실내출혈, 미숙아 망막증의 유무를 연구하였다. 결 과 : 중성구 감소군의 출생체중은 $1,046.50{\pm}180.76gm$, 1분 Apgar점수는 $3.41{\pm}1.18$, 5분 Apgar 점수는 $5.41{\pm}0.87$이었고, 중성구 비감소군에서는 출생체중 $1,156.70{\pm}124.99g$, 1분 Apgar점수는 $4.30{\pm}1.46$, 5분 Apgar점수는 $6.15{\pm}0.95$로 출생체중(P=0.021)과 1분 및 5분 Apgar점수(P=0.049, P=0.024)에서 통계적 유의성을 나타냈다. 또한, 신생아 호흡부전증의 발생은 두 군간에 차이가 없었고, 기관지폐 이 형성증은 중성구 감소군에서 12례로 중성구 비감소군의 7례보다 유의하게 많이 발생하였다(P=0.0036). 그리고 재원기간에서 각각 $55{\pm}25$일, $29{\pm}15$일로 나타 났으며 기계적 환기요법기간에서는 각각 $41{\pm}20$일, $29{\pm}16$일, 그리고 산소 보충요법 기간에서는 각각 $35{\pm}18$일, $23{\pm}13$일로 유의한 차이를 보였다(P=0.014). 그리고 동맥관 개존증, 뇌실내 출혈, 미숙아 망막증, 폐렴, 기흉, 사망률은 두 군간 다소 차이는 있었으나 통계적 유의성은 발견할 수 없었다. 또한, 두 군간 주요 독립적인 변수은 출생체중(Odds ratio=5.457, 95% CI=1.551-27.525, P=0.0172), 초기 백혈구수(Odds ratio= 8.308, 95% CI=2.054-52.699, P=0.0087), 기관지폐 이형성증(Odds ratio=0.099, 95% CI=0.017-0.397, P=0.0034) 등으로 나타났다. 결 론 : 본 연구에서는 초기 2시간내에 시행한 혈액 검사상 중성구 감소증을 보이는 군에서 기관지폐 이 형성증의 발병이 증가하면서 폐손상이 심해진다는 것을 확인하였다.

산화질소 공여물과 산화질소 합성효소 길항제가 백서 폐미세혈관 내피세포 산화제 손상에 미치는 영향 (The Effect of Nitric Oxide Donor or Nitric Oxide Synthase Inhibitor on Oxidant Injury to Cultured Rat Lung Microvascular Endothelial Cells)

  • 장준;;김세규;김성규;이원영;강경호;유세화;채양석
    • Tuberculosis and Respiratory Diseases
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    • 제45권6호
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    • pp.1265-1276
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    • 1998
  • 연구배경 : NO는 생체내에서 생성되는 유리 반응기로서 혈관 긴장도외 완화, 혈소판 응집 저지, 혈관 내피세포에 대한 백혈구 유착 방해, 감염에 대한 숙주 방어 등에서 중요한 역할을 한다. NO는 전이 금속(transition metal), 산소, 기타 반응기 등과 쉽게 반응하므로 여러 생체내 반응에 관여하여 산화제 손상을 촉진시키거나 감소시킬 가능성이 제기되었다. 급성 폐손상 및 급성 호흡곤란 증후군에서는 폐혈관 내피세포 및 호중구의 상호작용 및 산화제 손상이 매우 중요한 병인으로 알려져 있으며, NO를 급성 호흡곤란 증후군에서 흡입하여 치료하는 것은 산화제에 의한 혈관 내피세포 손상에서 외부로부터 NO를 공급하는 상황이다. 본 연구에서는 외인성 NO의 공여나 내인성 NO 억제가 산화제에 의한 폐미세혈관 내피세포의 손상을 악화시키거나 완화시킬 수 있는지를 관찰하였다. 방 법 : 산화제에 의한 세포손상은 백서 폐미세혈관 내피세포에 과산화수소를 생성하는 glucose oxidase(GO)를 투여하여 야기시키고 이를 $^{51}Cr$ 방출 측정으로 평가하였다. 산화제에 의한 폐혈관 내피세포의 손상에 외인성 NO가 미치는 영향은 NO 공여물인 SNAP 혹은 SNP를 산화제와 동시에 투여하여 평가하였다. 산화제에 의한 폐혈관 내피세포의 손상에 내인성 NO 억제가 미치는 영향은 NOS 길항제인 L-NMMA을 추가로 투여하여 평가하였다. INF-$\gamma$, TNF-$\alpha$ LPS 등으로 내인성 NO 생성을 자극한 후 L-NMMA의 효과도 관찰하였으며, NO 공여물이나 내피세포로 부터의 NO생성은 nitrite 측정으로 평가하였다. 결 과 : 백서 폐 미세혈관 내피세포에서 $^{51}Cr$ 방출이 GO 5mU/ml에서 $8.7{\pm}0.5%$, 10 mU/ml에서 $14.4{\pm}2.9%$, 15 mU/ml에서 $32.3{\pm}2.9%$, 20 mU/ml에서 $55.5{\pm}0.3%$. 30 mU/ml에서 $67.8{\pm}0.9%$로 GO 15 mU/ml 이상에서 대조군의 $9.6{\pm}0.7%$에 비하여 유의하게 증가하였으며 (P<0.05; n=6). 이에 0.5mM L-NMMA를 추가하여도 영향이 없었다. INF-$\gamma$ 500 U/ml, TNF-$\alpha$ 150 U/ml, LPS 1 ${\mu}g/ml$을 배양액에 첨가하여 24시간 경과시 배양액 중 nitrite 농도가 $3.9{\pm}0.3\;{\mu}M$로 증가하였으며, 이에 L-NMMA 0.5 mM을 첨가하면 $0.2{\pm}0.l\;{\mu}M$로 유의하게 억제되었다(p<0.05 ; n=6). INF-$\gamma$, TNF-$\alpha$ LPS 자극후 GO에 의한 $^{51}Cr$ 방출에 L-NMMA는 영향을 주지 않았다. GO 20 mU/ml에 의한 $^{51}Cr$ 방출이 SNAP 100 ${\mu}M$의 추가로 대조군 수준으로 현저히 억제되었으나, SNP, potassium ferrocyanide, potassium ferricyanide 등의 추가는 영향이 없었다. Hanks' balanced salt solution(HBSS) 중의 SNAP 100 ${\mu}M$로 부터 4 시간 동안 nitrite가 $23.0{\pm}1.0\;{\mu}M$ 농도로 축적되었으나, SNP는 1 mM에서도 nitrite가 검출되지 않았다. SNAP은 HBSS 중의 GO가 과산화수소를 시간 경과에 따라 생성하는데 영향이 없었다. 결 론 : 결론적으로 폐미세혈관 내피세포에서 GO에 의하여 생성되는 과산화수소로 산화제 손상을 야기하였으며, NO 공여물인 SNAP으로부터 제공된 외연성 NO가 산화제 손상을 방지하고 이 보호효과는 NO 방출 능력에 의할 가능성이 시사되었다. 따라서 생체내 환경에 따라 외인성 NO가 내피세포에 대한 산화제 손상에 보호 효과가 있을 수 있다고 추정된다.

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