• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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• pp.39-39
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• 2007

원자층 증착(Atomic Layer Deposition: ALD) 방법은 반응물질들을 펄스형태로 챔버에 공급하여 기판표면에 반응물질의 표면 포화반응에 의한 화학적 흡착과 탈착을 이용한 박막증착기술이다. ALD법은 기존의 화학적 기상증착(Chemical Vapor Deposition: CVD)과 달리 자기 제한적 반응(self-limiting reaction) 에 의하여 반응가스가 기판 표면에서만 반응하고 가스와 가스 간에는 반응하지 않는다. 따라서 박막의 조성 정밀제어가 쉽고, 파티클 발생이 없으며, 대면적의 박막 증착시 균일성이 우수하고, 박막 두께의 정밀 조절이 용이한 장점이 있다. 이러한 ALD 방식으로 3차원의 반도체 장치 구조물에 산화막 등을 형성하는 공정에서 중요한 요소 중의 하나는 전구체의 충분한 공급이다. 따라서 증기압이 높은 전구체를 선호하는 경향이 있다. 그러나 증기압이 낮은 전구체를 사용할 경우, 공급량이 부족하여 단차 도포성(step coverage)이 떨어지는 문제가 있다. 원자층 증착 공정에서 전구체를 충분히 공급하기 위해전구체 온도를 증가시키거나 전구체의 공급시간을 늘리는 방법을 사용한다. 그러나 전구체 온도를 상승시키는 경우, 전구체의 변질이나 수명을 단축시키는 문제점을 발생시킬 수 있으며. 전구체를 충분히 공급하기 위하여 전구체의 공급시간을 늘이는 방법을 사용하면, 원하는 박막을 형성하기 위하여 소요되는 공정시간과 전구체 사용량이 증가된다. 본 논문에서는 이러한 문제점을 해결하기 위해 반응기 안에서 전구체 노출 시간을 조절하는 새로운 ALD 공정을 소개한다. 특히 이러한 기술을 적용하면 나노튜브를 성장시키는데 매우 유리하다. 본 연구에서 전구체 노출 시간을 조절하기 위하여 사용된 ALD 장비는 Lucida-D200-PL (NCD Technology사)이며 (TEMA)Zr와 H2O를 사용하여 ZrO2 나노튜브를 폴리카보네이트 위에 성장시켰다. 전구체의 노출 시간은 반응기의 Stop 밸브를 이용하여 조절하였으며, SEM, TEM 등을 이용하여 나노튜브의 균일성과 단차피복성 등의 특성을 관찰하였다. 그 결과 전구체 노출시간을 조절함으로써 높은 종횡비를 갖는 나노튜브를 성장 시킬 수 있음을 확인하였다. 또한 낮은 증기압을 가지는 전구체를 이용하여도 우수한 특성의 나노튜브를 균일하게 성장시킬 수 있었다.

• 한국의학물리학회지:의학물리
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• 제16권4호
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• pp.214-219
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• 2005

한국형 인공시각장치 개발 목적으로 토끼망막을 사용하여 차후 개발될 인공시각장치에 인가하기 위한 적절한 전기자극 파라미터를 추출하는 실험을 수행하였다. 유전적 망막변성모델인 RD mouse (rd/rd (C3H/HeJ))를 망막질환모델로 사용하기 앞서 본 연구에서는 SD rat을 사용하여 설치류의 생후성숙기간 동안 변화하는 망막신경절세포의 빛 자극에 대한 변화 양상을 전반적으로 파악하는 control 실험을 하였다. 망막신경절세포의 흥분파는 8${\times}$8의 MEA (multi- electrode array)로 기록하였다. 개안 이전시기(pre-eye opening period)인 생후 15일까지는 망막신경절세포의 자발적 집단발사현상 (moving spontaneous bursts)이 옮겨 다니는 것을 발견하였다. 이 시기의 쥐들은 시각기능이 완성되지 않아 빛 자극에 의해 유발되는 흥분파를 보이지 않으며 오로지 이들의 촉각(tactile sense)에 의하여서만 이동하는 것을 관찰하였다. 그러나 생후 2주(post-eye opening period)가 지나면, 빛 자극에 의해 ON, OFF, ON/OFF 반응이 유발됨을 확인할 수 있었다. 전체적인 ON, OFF, 그리고 ON/OFF 망막신경절세포의 양상은 각각 $40\%,\;50\%,\;5\%$였으며, 이들 세포가 확인된 안구에서의 해부학적인 위치는 등쪽 관자방향(dorso-temporal)이 $50\%$, 배쪽 방향(ventral)이 $37.5\%$, 그리고 등쪽 코 방향(dorso-nasal)이 $12.5\%$로 나타났다. 설치류 망막을 대상으로 빛 자극에 의한 반응을 알아보는 실험을 할 때 생후 2${\~}$3주령이 가장 적합한 시기임을 확인하였다. 것이 바람직하다고 판단되었다.의한 발아촉진 효과는 종피의 탈색과 부식으로 인한 광흡수의 증대에서 기인되는 것으로 추측된다.3월 8일과 3월 15일 피복처리구의 그린업이 가장 효과적이었다. 한국잔디 및 한지형 잔디의 비닐 피복으로 인한 초봄 그린업 촉진시 유의할 점은 충분한 수분 유지를 위해 비닐 피복전에 관수를 하거나 비온 후에 비닐 피복하는 것이 좋으며, 비닐 제거시 잔디의 일소현상의 피해를 줄이기 위해 흐린날 비닐을 제거하는 것이 좋을 것으로 판단되었다.유발식이 급여로 $524\%$가 증가된 동맥경화지수는 질경이 에틸아세테이트 분획 병합투여로 대조군에 비하여 $40.2\%,\;51.2\%$가 감소됨으로써 동맥경화 발병 위험율이 대조군에 비하여 감소되었다. HDL-콜레스테롤 함량/총콜레스테롤 함량 비는 고콜레스테롤혈증 유발 식이 급여로 정상군보다 $73.9\%$가 감소됐으나 질경이 에틸아세테이트 분획 병합투여로 대조군에 비하여 유의한 증가를 나타냈다. 26두가 발정 반응($96.3\%$)을 나타내어 2.75${\~}$3.5의 경우가 2.50 이하의 경우에 비하여 높은 발정반응을 나타내었다.osterone과 0.40의 정의 상관이었고 근내지방도와 creatinine 농도간에는 -0.55의 비교적 높은 음의 상관계수가 추정되었으나 유의성은 인정되지 않았다. 6. 한우 비거세우의 도살시 혈청 성분 농도와 도체형질과의 상관에서 육량지수는 연령에 대해 보정한 HDLC 농도와 -0.71의 음의 상관이었으며, 도체율은 globulin과 0.70의 높은 정의 상관이었고, 등지방두께는 연령으로 보정된 HDLC와 0.69로 정의 상관관계를 보였다. 도체중은 triglyceride와 0.51의 정의 상관, 배최장근단면적은 testosterone과 -0.91,

• 한국응용곤충학회지
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• 제50권2호
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• pp.83-96
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• 2011

본 연구는 2009년 5월부터 9월까지 경기도 수원시 당수동에 자연분해비닐을 피복한 논의 저서성대형무척추동물의 종류와 군집구조 영향을 파악하기 위해 조사하였다. 실험구는 5개로 왕우렁이농법(GF), 자연분해비닐+유기농법(NOF), 자연분해비닐+화학농업(NCF), 관행농법(CF), 무처리구(NF)를 설정하였다. 조사결과 저서성대형무척추동물의 종수와 개체수 각각 NOF>GF>NF>NCF>CF, NOF>NCF>CF>NF>GF순으로 나타났다. 우점도지수(DI)는 각 실험구에서 0.43~0.95로 나타났으며, 평균 우점도지수는 GF>NCF>NF=CF>NOF 순으로 각각 나타났다. 종다양도지수(H')는 0.49~2.93로 나타났으며, 평균 종다양도지수는 NOF>NF>GF>CF>NCF 순으로 각각 나타났다. 비닐 피복 후 시간이 경과함에 따라 저서생물은 조금씩 회복이 되어가는 경향이 있었으나, 거머리류와 수서딱정벌레류가 증가하는 경향이 있었다. 비닐피복에 의해 민감하게 반응한 분류군은 환형동물문과 연체동물문이었으며 피복 후 종수와 특히 개체수가 매우 떨어졌으며, 이후 종수는 회복되는 경향이 있었으나 개체수는 줄어들었다.

• Applied Biological Chemistry
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• 제28권4호
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• pp.233-238
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• 1985

Glucoamylase를 $ZrO_2$로 피복된 96% porous glass에 azo-linkage를 형성시켜 결합하게 한후, 2.5% glutaraldehyde로 처리하여 효소를 고정화시켰다. 효소기질로는 용해도가 높고 점도가 낮은 30% enzyme thinned cornstarch (dextrose equivalent 값 : 24)를 사용하여 plug flow-column reactor에서 연속반응시켰다. 반응 최적 pH는 수용성효소의 5.0보다 alkaline 쪽으로 기울어져 7.0으로 나타났고, 고정화반응에 따라 열안정성이 높아지고 $40{\sim}60^{\circ}C$에서 최적 온도범위를 가리키며, Km값은 수용성 효소의 1.25mM보다 낮은 1.04mM값을 보여 주었다. 따라서, pH 7.0, $45^{\circ}C$에서 160시간 동안 corn starch를 기질로 효소반응을 시켜 glucose 90.3%, maltose 8.0%인 DE값 94.0인 전분당분해산물을 획득할 수 있었다.

• 해양환경안전학회지
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• 제25권1호
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• pp.67-73
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• 2019

연안지역의 오염된 저서환경을 개선 및 관리하기 위한 피복재의 성능 평가를 위하여 Mesocosm 실험을 수행하였다. 석탄회 조립물을 연안 오염 퇴적물에 피복하고 1, 3, 6개월 후의 pH, ORP(Oxidation Reduction Potential), 인산염 및 황화수소 농도 변화를 조사하였다. 석탄회 조립물에 함유되어 있는 산화칼슘은 가수분해 과정에 의해 산성화 된 퇴적물을 중화시키는 것으로 조사되었다. 또한 석탄회 조립물에서 용출되는 칼슘 및 실리카 이온은 퇴적물 간극수 중의 인산염을 침전시켜 퇴적물 내의 인산염 농도를 84.31 % 감소시키는 것으로 조사되었다. 황화수소 농도는 1개월 만에 133.5 mg/L가 감소하였으며, 이는 황화수소가 석탄회 조립물 중의 산화망간과의 화학적 반응을 통해 침전되고, 퇴적물의 투수성 향상으로 퇴적물 내부의 혐기성이 약해졌기 때문으로 판단된다. 이상의 Mesocosm 실험 결과를 통해 석탄회 조립물을 오염된 퇴적물 상부에 피복하는 기술은 저서환경 개선에 효과적인 것으로 판단된다.

• 한국토양비료학회지
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• 제18권2호
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• pp.140-147
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• 1985

연초재배방법(煙草栽培方法)을 피복(被覆)과 무피복(無被覆)으로 하여 작토층(作土層)의 환경변화(環境變化)(1보(報))에 따른 시비(施肥)된 비료(肥料)의 무기화작용(無機化作用)과 무기화(無機化)된 양분(養分)들의 동태(動態)에 관(關)하여 조사(調査)한 결과(結果)는 다음과 같다. 1. 피복(被覆)에 의한 작토층(作土層)의 수분보존효과(水分保存效果)와 지온상승효과(地溫上昇效果)로 인(因)하여 질소(窒素)의 무기화작용(無機化作用) (암모니아화작용, 질산화성작용)은 피복조건(被覆條件)에서 더 빠르게 촉진(促進)되어 생육초기(生育初期)에 질산태질소(窒酸態窒素)의 공급(供給)을 증대(增大)시켰으나 무피복조건(無被覆條件)에서는 질소(窒素)의 무기화(無機化) 작용(作用)이 지연되어 생육후기(生育後期)까지 작토층(作土層)의 질산태질소 함량이 높게 유지되었다. 2. 작토층(作土層)의 유효인산함량(有效燐酸含量)은 피복조건(被覆條件)에 관계없이 시비층(施肥層)에서 가장 많은 함량(含量)을 나타냈으며, 연초(煙草)의 재배유무(栽培有無)에 따라서도 차이(差異)없이 일정(一定)한 경향을 보이지 않았다. 3. 시비(施肥)된 칼륨은 피복조건(被覆條件)에 차이(差異)없이 생육후기(生育後期)까지 잔류(殘留)되는 량이 많았다. 4. 피복조건(被覆條件)에서 무기화(無機化)된 양분(養分)들 ($NH_4-N$, $NO_3-N$, K)은 재배기간(栽培其間)이 경과함에 따라 시비층(施肥層)에서 이랑상층부(上層部)로 이동집적(移動集積)되었으나 무피복조건(無被覆條件)에서는 하층부(下層部)에 더 많이 분포(分布)되며 특(特)히 질산태질소(窒酸態窒素)는 용탈유실되는 정도가 현저하였다. 작토층위간((作土層位間) 유효양분(有效養分)들의 이동성(移動性)은 $NO_3-N$ $$\geq_-$$ $NH_4-N$ > K > Available $P_2O_5$의 순(順)이었다. 5. 피복조건(被覆條件)에서 작토층(作土層)의 유효양분(有效養分)들 ($NH_4-N$, $NO_3-N$, K)은 183mm의 집중강우(集中降雨)에서도 용탈유실되지 않았으며 수확종료후(收穫終了後)까지 이랑토층부(土層部)와 시비층(施肥層)에 잔류집적(殘留集積)되는 량이 현저하게 많았다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.145-145
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• 2012

반도체 집적회로의 집적도가 증가함에 따라 RC delay가 증가하며, 금속 배선의 spiking, electromigration 등의 문제로 인해 기존의 알루미늄 금속을 대체하기 위하여 구리를 배선재료로 사용하게 되었다. 하지만 구리는 실리콘 및 산화물 내에서 매우 빠른 확산도를 가지고 있으므로, 구리의 확산을 막아 줄 확산방지막이 필요로 하다. 이러한 확산방지막의 증착은, 소자의 크기가 작아짐에 따라 via/contact과 같은 고단차 구조에도 적용이 가능하도록 기존의 sputtering 증착 방법에서 이를 개선한 collimated sputter, long-throw sputter, ion-metal plasma 등의 방법으로 물리적인 증착법이 지속되어 왔지만, 근본적인 증착방법을 바꾸지 않는 한 한계에 도달하게 될 것이다. 원자층 증착법(ALD)은 CVD 증착법의 하나로, 소스와 반응물질을 주입하는 시간을 분리함으로써 증착하고자 하는 표면에서의 반응을 유도하여 원자층 단위로 원하는 박막을 얻을 수 있는 증착방법이다. 이를 이용하여 물리적 증기 증착법(PVD)보다 우수한 단차피복성과 함께 정교하게 증착두께를 컨트롤을 할 수 있다. 본 연구에서는 이러한 원자층 증착법을 이용하여 구리 배선을 위한 확산방지막으로 텅스텐질화막을 형성하였다. 텅스텐 질화막을 형성하기 위하여 금속-유기물 전구체와 함께 할라이드 계열인 WF6를 텅스텐 소스로 이용하였으며, 이에 대한 원자층 증착방법으로 이루어진 박막의 물성을 비교 평가하여 분석하였다.

• 한국구조물진단유지관리공학회 논문집
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• 제8권2호
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• pp.239-246
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• 2004

콘크리트의 구조물의 내구성을 향상시키기 위해서는 W/C의 감소, 피복두께의 증가, 혼화재의 사용 등을 예로 들 수 있다. 특히, 혼화재를 사용한 경우 콘크리트의 수밀성이 향상되고 구조체의 내구성이 향상되는 것으로 보고되고 있으나 염소이온 확산에 대해서는 보다 체계적인 연구를 수행할 필요가 있다. 또한 혼화재를 사용한 콘크리트의 경우, 혼화재 종류에 따라 포졸란반응 및 잠재수경성 등에 의해 콘크리트 내부조직의 변화가 발생하므로 콘크리트의 염소이온 확산에 대한 보다 정확한 평가를 위해서는 콘크리트 내부의 조직을 평가할 수 있는 요소들을 고려해야 한다. 이에 본 연구에서는 혼화재를 사용한 콘크리트의 내구수명을 평가하기 위한 연구의 일환으로 콘크리트의 압축강도, 공극률, 투기성을 물리적 특성으로 설정하고 이들과 염소이온 확산계수와의 관계를 분석하였다.

• 한국환경농학회지
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• 제7권1호
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• pp.8-13
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• 1988

폴리에틸렌(P.E.)필름 피복재배조건하(被覆栽培條件下)의 고추, 땅콩, 참깨포장(圃場)에 있어서 endosulfan, fonofos, ethoprophos의 잔류성(殘留性)을 로지조건(露地條件)과 비교조사(比較調査)한 결과(結果)는 다음과 같다. 토양중(土壤中)에서 endosulfan, fonofos, ethoprophos의 분해(分解)는 양조건하(兩條件下)에서 1차반응식(次反應式)에 따랐다. 토양중(土壤中) 잔류기간(殘留期間)은 유기인계(有機燐系)인 fonofos(반감기(半減期) : $19{\sim}21$일(日))와 ethoprophos(반감기(半減期) : $25{\sim}37$일(日))보다 유기염소계(有機鹽素系)인 endosulfan(반감기(半減期) : ${\alpha}-$이성체(異性體) ; $33{\sim}39$일(日), ${\beta}-$이성체(異性體) ; $56{\sim}81$일(日))이 길었으며, 특히 ${\beta}-$이성체(異性體)에서의 잔류기간(殘留期間)이 현저(顯著)히 길었다. P.E. 피복조건(被覆條件)과 로지조건(露地條件)에서 fonofos의 반감기(半減期)는 거의 차이(差異)가 없었다. 그러나 ${\alpha}-endosulfan$과 ethoprophos는 반감기(半減期)가 각각 6日(일)과 12日(일), ${\beta}-endosulfan$의 경우는 반감기(半減期)가 약(約) 52日(일)이 P.E. 피복조건하(被覆條件下)에서 더 길었다. P.E. 피복(被覆)이 분해(分解)에 미치는 영향(影響)은 분해속도(分解速度)가 느린 농약(農藥)일수록 더 컸다. P.E. 피복(被覆)의 유무(有無)에 관계(關係)없이 endosulfan은 관계(關係)된 고추에서 관계(關係)되지 않았고, 참깨중에(中)서 검출(檢出)된 ethoprophos의 잔류량(殘留量)(투명(透明) P.E. 피복조건(被覆條件) : 0.024ppm, 로지조건(露地條件) : 0.074ppm)과 땅콩중(中)에서 검출(檢出)된 fonofos의 잔류량(殘留量)(투명(透明) P.E. 피복조건(被覆條件) : 0.078ppm, 로지조건(露地條件) : 0.017ppm)도 매우 낮았다.

• 한국재료학회지
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• 제6권2호
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• pp.188-196
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• 1996

LiOH 용액에서 핵연료피복관용 Zr합금의 부식이 가속되는 현상을 규명하기 위하여 autoclave를 이용하여 순수물, 다른 농도의 Li 용액 및 여러 가지 알카리 수산화물 조건에서 부식시험을 실시하였다. LiOH 용액에서 부식이 가속되는 현상은 용액 내에 Li 농도가 2.2ppm 이상에서부터 일어나기 시작하며 30ppm 이상에서는 급격한 가속 현상이 일어난다. 부식반응 동안에 발생되는 수소 흡수현상은 220ppm Li에서는 물에 비해 약 2배의 높은 수소흡수율을 나타내며 산화막은 주로 수소화물이 모여 있는 지역에서 우선적으로 성장한다. Li가속 부식기구와 관련하여 본 연구 결과는 지금까지 다른 연구자들이 제안한 부식 기구들과는 일치하지 않았다. LiOH 용액 내에서는 수소흡수와 수소화물 형성이 가속되고 이로 인해 산화막의 성질이 비보호성의 산화막으로 변함으로서 부식은 가속된다는 새로운 모델을 제시하였다.