• 제목/요약/키워드: 반사전자

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고에너지 회절무늬 및 반사전자현미경 관찰을 위한 시편준비 (The specimen preparation for the high energy electron diffraction and reflection electron microscopy observation)

  • 김유택
    • 한국결정성장학회지
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    • 제6권4호
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    • pp.543-551
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    • 1996
  • 단결정 표면 및 에피 증착증 표면에 대한 연구가 많아지면서 고에너지전자회절 및 반사전자현미겨의 이용도 늘고 있다. 국내에서는 아직 보편화 되지 않은 이들 두 기술을 위한 시편분비 과정을 요약하였고, 고에너지전자회절 연구시 매우 유용하게 쓰이는 연속 고에너지전자회절 패턴 지도 작성법에 대해 설명하고 그 예를 제시하였다.

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고정밀 레이저 변위를 위한 레이저 반사 신호 레벨의 변동 최소화 기법에 관한 연구 (The Study on Variation Minimization Method of Reflection Signal Level for High Precision Laser Displacement)

  • 배영철;박종배;조의주;강기웅;강건일;김현우;김은주
    • 한국전자통신학회논문지
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    • 제3권1호
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    • pp.12-18
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    • 2008
  • 본 연구에서는 우리는 레이저 변위 측정에서 보다 정밀한 측정(high precision)을 하기 위한 방법을 제시하였다. 제시한 기법은 측정하고자 하는 물체에서 반사되어 나오는 레이저 반사 신호 레벨의 변동에 의한 오차 원인을 찾아 이를 보상하는 방법이며 이를 레이저 변위 측정기에 적용하여 설계하였다.

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극자외선 노광공정용 Mo/Si 다층 박막 미러의 구조 분석 (Structural Characterization of Mo-Si Multilayer Mirror for Extreme Ultraviolet Lithography)

  • 허성민;김형준;이승윤;윤종승;강인용;정용재;안진호
    • 한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집
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    • 한국마이크로전자및패키징학회 2001년도 추계 기술심포지움
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    • pp.213-216
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    • 2001
  • 극자외선영역의 빛에대한 Mo/Si 반사형 다층 박막 미러를 스퍼터링 시스템으로 증착하여, 특성을 평가한 결과 3mTorr의 낮은 공정 압력에서 최적의 구조인자를 가진 다층 박막을 증착할 수 있었다. TEM, low angle XRD peak, 반사도 그래프로부터 다층 박막의 구조인자를 분석하였으며, 특히 low angle XRD peak로부터 다층박막의 d-spacing, 층간 두께 uniformity에 대한 정보 및 광학적 정보를 간접적으로 분석할 수 있었다. 최대 반사도는 12.7nm 파장에서 약 53%였으며, low angle XRD에서 추출한 d-spacing 값이 TEM 이미지에서 측정한 값보다 더 정확한 값을 얻을 수 있었다.

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산.알칼리 용액에 의한 결정질 실리콘 태양전지의 표면 텍스쳐링 변화 (Korean Institute of Electrical and Electronic Materials)

  • 이유국;이양규;허성택;이동구
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.449-449
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    • 2009
  • 텍스쳐링에 의한 실리콘 태양전지의 표면 반사율 감소는 태양전지의 효율에 있어서 개선해야 할 문제 중 하나이다. 결정질 실리콘 태양전지의 경우 텍스쳐링에 사용되는 용액에 따라 표면 피라미드 분포 형태와 크기의 차이가 나고 그에 따라 각각 다른 반사율을 얻을 수 있다. 이 논문에서는 결정질 실리콘 태양전지에 산 알칼리 용액에 의한 표면 텍스쳐링을 이용하여 균일한 표면 피라미드 형성과 반사율을 감소시킬 수 있는 방안에 대하여 연구하였다.

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액정을 이용한 반사형 가변 광 감쇠기 (Reflective Variable Optical Attenuator using Liquid Crystals)

  • 이용민
    • 전자공학회논문지
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    • 제51권2호
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    • pp.15-18
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    • 2014
  • 본 논문은 광스위치등에 사용되는 가변 광감쇠기를 위해 반사형 액정셀을 채용한 광감쇠기 구조를 제안하고 특성을 검토한다. 본 제안의 가변 광감쇠기는 반사형구조로 소형화가 가능하고 저전압구동이 가능하다. 광통신용 파장에 적합한 액정셀의 설계방법, 주변온도에 따른 동작특성, 광감쇠기의 응답특성 등을 검토하여 본 제안 구조의 유용성을 검증한다.

대전입자의 크기와 입자층이 반사율에 미치는 영향 (Effects of Size and Layers of Charged Particle on Optical Reflectivity)

  • 김철우;장성근;김영조
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.35-35
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    • 2010
  • 대전입자형 디스플레이에서 화상을 표시하는 대전입자의 크기와 입자층은 구동뿐만 아니라 광학특성에도 큰 영향을 주며, 그 평가를 통해 향상된 특성을 가지는 입자의 제조 및 충전방법을 제안할 수 있다. 본 연구에서는 대전업자의 사이즈와 입자층의 변화에 따른 반사율을 평가하고 업자의 구동시 전극에서 차지하는 면적값을 현미경프로그램으로 측정하고 이들의 비교를 통해 반사율과의 상관관계를 분석하였다.

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광반사분광기와 신경망을 이용한 플라즈마 공정장비의 실시간 감시 (Real time monitoring of plasma processing equipment using optical emission spectroscopy and neural network)

  • 김대현;김병환
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.369-369
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    • 2010
  • 소자제조 공정의 질과 생산성을 향상시키기 위하여 플라즈마 감시가 필요하다. 본 연구에서는 광반사분광기(Optical Emission Spectroscopy)를 이용하여 소스전력의 변화에 따른 플라즈마 상태 데이터를 수집하였다. 수집된 데이터를 이용한 시계열 신경망 감시 모델을 개발하였으며, 개발된 모델과 CUSUM(Cumulative Sum Control Chart)를 결합하여 플라즈마의 이상 상태를 실시간으로 감시하는 기법을 개발하였다. 매우 우수한 감시 성능을 확인할 수 있었다.

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반대파 스펙트럼의 극소점 해석을 통한 다층매질에서의 음속 측정법 (The Measurement of Ultrasonic Velocity in Multilayered Medium by Dip Points Analysis from Reflected Echo Spectrum)

  • 김시환;최종수
    • 대한전자공학회논문지
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    • 제22권4호
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    • pp.16-23
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    • 1985
  • 초음파 반사신호로 부터 매질의 특성을 끌어내고저 할 경우, 반사되어 오는 신호내에 포함되어 있는 여러 불요성분 때문에 그 정량성 평가에 어려움이 존재한다. 이에, 본 논문은 초음파 반사파에 주파수 스펙트럼의 우기적인 특성인 극소점 해석 기법을 통용하여 다층매질에서의 음달분포 정량화의 가능성을 논하고 있다. 이를 위해 컴퓨터 시뮬레이션을 행하고, 이때 고려되어야 할 간섭현상, 임피던스 차리, 감리, 두께등의 영향에 관한 검토, 그 유용성을 확인해주고 있다. 아울러 간단한 실험을 통해 그 가능성을 입양해 주고 있다.

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방전프라즈마내 자계에 의한 마이크로파 반사특성 (A Study on the Microwave Reflection of Plasma in a Magnetic Field)

  • 김봉열;김정기
    • 대한전자공학회논문지
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    • 제6권1호
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    • pp.12-18
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    • 1969
  • 도피관내 프라즈마상태를 발생시켜 외부자계를 마이크로파 전계에 수평 및 수직되게 가하여 그 때 일어나는 마이크로파 반사전력 및 투과전계를 측정하였다. 마이크로파 전계와 외부자계가 수평인 경우 외부자속밀도가 증가할 수록 감쇠만 일어났으나 서로 수직인 경우에는 3120가우스에서 반사전력이 최대로 되어 공진현상이 일어났다.

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테이퍼형 마이크로스트립 선로에서 펄스의 왜곡 특성 분석 (Analysis of the Pulse Distortion on Tapered Microstrip Lines)

  • 김기래
    • 대한전자공학회논문지TC
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    • 제37권8호
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    • pp.45-51
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    • 2000
  • 본 논문에서는 지수형, 삼각형 및 체비쉐브 테이퍼 전송선로에서 디지털 펄스가 전송될 때 분산과 반사에 의해 나타나는 펄스의 왜곡 특성을 시간영역에서 해석하여 그 전송특성을 비교하여 나타내었다. 그리고 테이퍼 선로에서 전압과 전류의 전달함수를 구하여 상승과 하강 시간을 갖는 비이상형 구형 펄스를 입력했을 때 왜곡 특성을 해석하고, 선로에서 나타나는 분산과 반사가 파형의 왜곡에 미치는 영향을 분석하였다. 주파수 분산에 의한 왜곡은 파형에 오버슈트와 기울림이 나타났고, 반사에 의한 왜곡은 꼬리 부분에 잔류 특성이 나타났다.

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