• 제목/요약/키워드: 반도체 영상

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반도체 제조 공정 개선을 위한 테스트베드의 설계와 구현에 관한 연구 (A Study on the Design and Implementation of Test bed for Improvement of Semiconductor Manufacture Process)

  • 박원찬;류환규;류길호;김정호;조성의
    • 한국정보처리학회:학술대회논문집
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    • 한국정보처리학회 2012년도 춘계학술발표대회
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    • pp.850-853
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    • 2012
  • 반도체 산엽에서 제조공정상의 웨이퍼 가공시에 여러 가지 화학물질을 사용하고 있으며, 제조공정상 유해가스의 발생 빈도수가 높다. 반도체 제품을 생산하기 위한 공정 모니터링 사스템은 관리실에서만 가스 누출여부, 온습도 변화 및 영상을 모니터링 하고 있으며, 관리자가 자리를 비우게 되면, 반도체 제품 생산공정에 발생하는 긴급 상황에 대응하기 어렵다. 본 논문에서는 반도체 공정 모니터링 테스트 베드에서는 반도체 생산 공정의 온도, 습도 및 가스 누출 여부와 같은 주변환경을 모바일에서 모니터링 및 즉각적인 상황 대응이 가능한 공정 모니터링을 연구 하였다.

타일드 디스플레이 기술을 이용한 가상 현실 기반 기술 교육 시스템 개발 (Development of the Virtual Reality based Educational System using Tiled Display Technology)

  • 김도윤;박현근;김상연;이재협
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2008년도 제39회 하계학술대회
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    • pp.1859-1860
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    • 2008
  • 본 연구에서는 여러 대의 저해상도 프로젝터 영상을 결합하여 인간의 시야각을 채울 수 있는 하나의 고해상도 영상처럼 보이게 만드는 타일드 디스플레이(tiled display) 기법을 활용하여 가상 현실 기반 몰입형 시스템을 제작한다. 제안된 시스템은 총 8대의 프로젝터를 이용해 4096 x 1536의 고해상도 화면을 구현하며 유효 해상도는 3200 x 1200을 구현하였다. 각 프로젝터 출력 영상간의 연결 이음매가 두드러지지 않는 심리스(seamless) 기법을 활용해 관찰자의 높은 몰입감을 획득할 수 있었다. 제안된 시스템에서는 반도체 CMOS 공정을 가상 현실 공간에 구현하여 다수의 학습자들에게 기존의 정적인 이미지로 전달되던 반도체 제조 공정을 보다 효율적으로 학습하도록 돕고 있다. 구성된 시스템은 일반 개인용 PC 시스템 한 대로 구현이 가능하여 상대적으로 저렴한 가격으로 시스템을 구성할 수 있어 가상 현실 기반 몰입형 기술 교육 시스템의 대중화에 기여할 것으로 기대된다.

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점진적 데이터 평준화를 이용한 반도체 웨이퍼 영상 내 결함 패턴 분류 (Wafer Map Defect Pattern Classification with Progressive Pseudo-Labeling Balancing)

  • 도정혁;김문철
    • 한국방송∙미디어공학회:학술대회논문집
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    • 한국방송∙미디어공학회 2020년도 추계학술대회
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    • pp.248-251
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    • 2020
  • 전 반도체 제조 및 검사 공정 과정을 자동화하는 스마트 팩토리의 실현에 있어 제품 검수를 위한 검사 장비는 필수적이다. 하지만 딥 러닝 모델 학습을 위한 데이터 처리 과정에서 엔지니어가 전체 웨이퍼 영상에 대하여 결함 항목 라벨을 매칭하는 것은 현실적으로 불가능하기 때문에 소량의 라벨 (labeled) 데이터와 나머지 라벨이 없는 (unlabeled) 데이터를 적절히 활용해야 한다. 또한, 웨이퍼 영상에서 결함이 발생하는 빈도가 결함 종류별로 크게 차이가 나기 때문에 빈도가 적은 (minor) 결함은 잡음처럼 취급되어 올바른 분류가 되지 않는다. 본 논문에서는 소량의 라벨 데이터와 대량의 라벨이 없는 데이터를 동시에 활용하면서 결함 사이의 발생 빈도 불균등 문제를 해결하는 점진적 데이터 평준화 (progressive pseudo-labeling balancer)를 제안한다. 점진적 데이터 평준화를 이용해 분류 네트워크를 학습시키는 경우, 기존의 테스트 정확도인 71.19%에서 6.07%-p 상승한 77.26%로 약 40%의 라벨 데이터가 추가된 것과 같은 성능을 보였다.

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의료용 B-스캔의 경향

  • 김원기
    • 전기의세계
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    • 제31권7호
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    • pp.486-491
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    • 1982
  • 초음파 영상장비는 군사장비로 부터 사용하기 시작하여 어군탐지기등 수산업에도 응용되었고, 1970년 이후 반도체기술의 획기적인 발전으로 의료장비로써의 초음파 영상장비가 개발되어 급속히 보급되고 있어서 X-ray장비와 함께 진단용장비로써 위치가 확고히 되어 가고 있다. 대부분의 의료기관에서는 뇌, 심장, 간, 신장등과 같은 인체기관의 진단에 초음파 영상장비를 사용하고 있는데. 특히 X-ray 장비와 달리 인체에 hazard를 주지 않기 때문에 어린이, 임산부의 진단에 유용하게 사용된다. 그러므로 초음파 영상기술은 임상의학에서 중요한 역할을 하게 되었으며 이 분야는 앞으로 연구개발될 부분이 많이 남아있다. 본 원고에서는 초음파 영상 장비의 주종을 이루고 있는 B-스캔장비에 대한 원리, 구성 및 종류에 대해서 설명하고자 한다.

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범용 신틸레이터 감마카메라와 심근전용 반도체 감마카메라의 성능 비교 연구 (Compared Performance of Semiconductor SPECT in Myocardial Perfusion SPECT: Phantom study)

  • 반영각;황동훈;김정열;강천구;김재삼
    • 핵의학기술
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    • 제20권2호
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    • pp.49-53
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    • 2016
  • 최근 Cadmium-zinc-telluride (CZT) 반도체를 이용한 심장전용 감마카메라가 심장 핵의학 검사에 사용되고 있다. 본 연구는 기존 NaI(Tl) 신틸레이터를 사용한 감마카메라와 성능을 비교해 보고자 한다. CZT반도체를 사용한 심장전용 감마카메라(DSPECT, Spectrum-dynamic)와 범용 신틸레이터 SPECT 감마카메라(Infinia, GE)를 사용하여 연구를 진행했다. 방사성 동위원소는 $^{99m}TcO^{-4}$를 사용하고, 일반 임상 심장핵의학 검사에 사용된 조건을 실험 조건으로 설정 했다. NEMA 2001, 3 line phantom을 사용하여 반치폭(full width at half maximum, FWHM)을 측정하여 공간분해능(Spatial resolution)을 비교했다. 심장 팬텀을 사용하여 대조도대잡음비(Contrast to noise, CNR)를 비교하여 영상을 평가했다. 그리고 팬텀의 시간 당 MBq당 계수를 측정하여 민감도도 평가했다. NaI (Tl) 신틸레이터를 사용한 범용SPECT 감마카메라와 CZT 반도체를 사용한 심장 전용 감마카메라의 영상평가에서 감도는 $52.83counts{\cdot}sec^{-1}{\cdot}MBq^{-1}$$195.83counts{\cdot}sec^{-1}{\cdot}MBq^{-1}$로 나왔고, 공간분해능은 16.90 mm과 9.47 mm로 나왔다. 그리고 대조도대 잡음비는 3.6 과 4.2 로 나왔다. 기존 카메라를 이용한 심장 핵의학 영상과 비교하여 CZT를 사용한 심장 전용 감마카메라는 감도 및 공간분해능, 대조도대잡음비가 기존 감마카메라와 비교하여 월등하여 임상에서 환자의 피폭선량 저감과 검사 시간 단축, 높은 분해능의 영상으로 환자 만족도에 큰 영향을 줄 것으로 사료 된다.

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반도체 웨이퍼의 스트레스 측정을 위한 공정 및 표면 검사시스템 구현 (Implementation of process and surface inspection system for semiconductor wafer stress measurement)

  • 조태익;오도창
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제45권8호
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    • pp.11-16
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    • 2008
  • 본 논문에서는 먼저 RTP(Rapid Thermal Processor) 장치를 스트레스 측정에 용이한 구조로 제작하고 PC에서 통합 공정관리 시스템을 설계하였다. 다음으로는 Large deformation 이론을 바탕으로 반도체 웨이퍼 표면의 변형검사를 위한 레이져 인터페로미터리를 구성하였다. 궁극적으로 이러한 레이져장치로부터 웨이퍼 표면의 영상을 추출하고 세선화, 블록화 그리고 스트레스 분포도의 순서로 영상처리 하여 스트레스로 인한 웨이퍼 표면의 변형을 검사하였다. 실험을 하기 위해 변형이 이루어지도록 웨이퍼의 후면을 1mm정도 갈아낸 후 약 1000도에서 $3\sim4$회 열처리를 수행하였으며, 열처리를 가한 영상과 가하지 않은 영상을 통하여 웨이퍼 열처리 후 심각한 변형이 이루어졌음을 알 수 있었다.

레이저 간섭계를 이용한 형상 측정 (Profile measurement by Using Laser Interferometer)

  • 김도형;임노빈;김현수;김진태
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2003년도 제14회 정기총회 및 03년 동계학술발표회
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    • pp.216-217
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    • 2003
  • 컴퓨터 기술, 영상 처리기술, 기계장치의 자동화 발전에 따라 레이저를 이용한 형상 측정 기술 개발은 반도체 표면 측정 등에 응용되어지는 매우 중요한 분야를 차지하고 있다. 레이저를 이용한 정밀 표면 측정 기술은 레이저 파장의 1/4에 해당하는 높이까지 CCD 카메라와 연계시켜 측정할 수가 있다. 레이저 간섭계는 Michelson, Mirau, Linnik 등에 의해 개발된 간섭계가 주로 이용되고 있다. 본 논문에서는 4-bucket 알고리즘을 사용하기 위하여 영상을 $\theta$$\pi$/2씩 위상 이동시켜 다음과 같은 4개의 간섭 무의 강도 영상 정보를 획득하여 Borland C++ 프로그램을 이용 위상을 계산하였다. (중략)

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TTA와 함께하는 ICT 표준자문서비스 - 칩스앤미디어, 국내 유일에서 세계의 표준으로

  • 표준화본부 표준진흥단
    • TTA 저널
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    • 통권178호
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    • pp.124-127
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    • 2018
  • (주)칩스앤미디어는 2003년 반도체 설계 자산(Semiconductor IP)생산을 시작으로 현재는 표준 영상 압축 기술인 MPEG 표준을 비롯하여 UHD 표준 압축 기술인 HEVC 등을 시장에 공급하고 있으며, 이미지 신호 처리(ISP) 및 CV IP 등의 시장 출시를 준비 중이다. HEVC의 개발 이후 ISO/IEC에서는 차세대 영상 압축 기술에 대한 표준화를 논의하고 있다. (주)칩스앤미디어는 표준 규격이 완료되기를 기다려 이를 구현하기보다, 한 발 더 앞서 행동하는 것이 현명하리라 판단했다. 직접 국제 표준을 제안함으로써 원천 특허를 확보하고자 한 것이다. TTA 자문서비스의 도움으로 (주)칩스앤미디어는 차세대 영상 압축 기술 표준 관련 특허출원에 성공했다.

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정지영상 데이터베이스의 효율적 인식자 생성 (Efficient Generation of Image Identifiers for Image Database)

  • 박제호
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제10권3호
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    • pp.89-94
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    • 2011
  • The image identification methodology associates an image with a unique identifiable representation. Whenever the methodology regenerates an identifier for the same image, moreover, the newly created identifier needs to be consistent in terms of representation value. In this paper, we discuss a methodology for image identifier generation utilizing luminance correlation. We furthermore propose a method for performance enhancement of the image identifier generation. We also demonstrate the experimental evaluations for uniqueness and similarity analysis and performance improvement that have shown favorable results.