• 전자진흥
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• 제5권9호
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• pp.76-78
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• 1985

• 전자진흥
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• 제7권2호
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• pp.85-88
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• 1987

• 전자진흥
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• 제9권8호
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• pp.60-64
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• 1989

• 전자진흥
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• 제25권8호
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• pp.42-43
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• 2005

• 과학기술정책
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• 제5권11호통권80호
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• pp.13-16
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• 1995

• 전자진흥
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• 제9권4호
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• pp.34-39
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• 1989

• 전자진흥
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• 제9권4호
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• pp.88-92
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• 1989

• 전자진흥
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• 제8권8호
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• pp.89-92
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• 1988

• 전자진흥
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• 제8권9호
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• pp.104-107
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• 1988

• 청정기술
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• 제5권1호
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• pp.62-77
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• 1999

전자 및 컴퓨터 산업의 발전으로 반도체 산업은 비약적으로 발전하고 있다. 그러나 반도체 제조 공정에서 필수적으로 사용되는 각종 환경 오염 물질에 대한 규제가 세계적으로 강화되고 있어 반도체 업계의 적극적인 환경 대응책이 없이는 반도체 수출에 대한 선진국의 제재를 피하기 어렵다. 따라서 본 연구에서는 청정 기술 측면에서, 반도체 산업의 환경영향 개선을 위한 세정 공정의 기술적 대체 방안에 대하여 조사하였다. 세정 공정의 대안으로서 기상 세정 공정, UV 사용 공정, 플라즈마 사용 공정을 조사하였으며, 각 공정의 장단점을 비교하였다.