• Title/Summary/Keyword: 반가(班家)

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동시 스퍼터링 방법에 의한 Cu-In 금속층 증착 및 저온 안정상에 대한 열역학적 고찰

  • 김상덕;김수길;김형준;윤경훈;송진수
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.129-129
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    • 2000
  • 태양전지는 태양광에너지를 바로 전기에너지로 전환시키는 소자이다. 최근에는 다결정 태양전지의 응용가능성에 대한 연구가 활발히 진행되어 오고 있다. 이 중 CuInSe2는 여러 가지 좋은 물성을 가지고 있어서, 저가의 고효율 태양전지를 위한 광흡수층 재료로 주목받고 있다. 현재까지 다양한 방법이 시도되었지만, 10% 이상의 고효율을 가지는 고품질을 박막을 얻는 방법은 진공증발증착법과 selenization 방법뿐이다. 이 중 진공증발증착법에 의하여 형성된 박막을 이용하여 가장 높은 효율의 태양전지를 얻을 수 있으나, 진공 장비의 대면적화가 힘들기 때문에 대면적 태양전지 제조가 힘들다는 단점이 있다. 따라서 selenization 방법을 이용하여 CuInSe2 박막을 제조하는 것이 가장 유망한 방법이라 할 수 있다. Selenization 방법은 Cu-In 금속층을 제작한 뒤 이를 selenium과 반응을 시키는 방법이다. 따라서 이 방법을 이용하여 박막을 제조할 때는 Cu-In 금속층의 물성 조절이 이후 생성되는 CuInSe2 박막의 물성향상에 필수적이다. 따라서 Cu-In 금속층의 물성에 대해 많은 연구가 이루어지고 있다. 하지만 Cu-In 이 성분계에서 알려진 반가 없다. 저온에서는 반응속도론적으로 매우 느리게 반응이 일어나기 때문에 열역학적으로 안정한 상을 얻기가 힘들기 때문이다. 따라서 본 실험에 앞서 각 제조 조건에 따른 열역학적인 안정상을 계산하였다. 그 결과, 상온에서 Cu의 양이 증가함에 따라, In$\longrightarrow$CuIn2$\longrightarrow$Cu11In9$\longrightarrow$Cu7In3 상으로 변화하였다. 9$0^{\circ}C$이하의 온도에서는 CuIn2 상이 안정하였고, 10$0^{\circ}C$ 이상의 온도에서는 Cu11In9 상 두 가지로 존재하였고, Cu/In 인가전력비를 변화시켰을 때 조성비가 선형적으로 변하였다. 즉, Cu-In 동시스퍼터링법은 원하는 조성을 간편한 방법으로 정확하게 조절할 수 있는 방법이라 할 수 있다. 증착 온도를 변화시켰을 때는 9$0^{\circ}C$ 이하의 낮은 온도에서 존재하던 CuIn2 상이 10$0^{\circ}C$이상의 온도에서는 완전히 사라지고 In과 CuIn2 상이 사라지고 In 상과 Cu11In9 상이 나타났다. 상전이를 위하여 30$0^{\circ}C$의 높은 열처리 온도가 필요한 것은, 밀 저온 안정상이 형성된 뒤 각 원소들의 확산에 의해 상전이가 일어나기 때문에 이를 위한 충분한 열에너지를 가질 수 있는 온도가 필요하기 때문이다. 조성을 일정하게 유지하면서 챔버 압력을 변화시켰을 때는 형성되는 상의 미세구조난 결정성은 일정하였다. 인가전력, 증착온도, 챔버 압력 변화에 따른 상변화는 앞서 계산한 열역학적 결과와 정확히 일치하였다. 이는 동시스퍼터링 방법이 각 입자들을 원소 단위에서 균일하게 혼합할 수 잇는 방법이고, 또 입자들이 높은 에너지를 가지고 있기 때문이다. 즉, 원소 단위에서 균일한 반응을 하고, 가장 안정한 위치로 쉽게 이동할 수 있기 때문에 열역학적으로 안정한 상을 형성할 수 있는 것이다.

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Effect of DC bias on structure of hydrogenated amorphous silicon and microcrystalline silicon

  • 이윤정;주성재;임승현;윤의준
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.84-84
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    • 2000
  • 수소화된 비정질 실리콘(a-Si:H)과 미세결정질 실리콘 ($\mu$c-Si:H)은 저온.건식 공정인 PECVD로 값싼 유리 기판을 사용하여 넓은 면적에 증착이 가능하다는 큰 장점으로 인해 광전소자(photovoltaic device)와 박막 트랜지스터(TFTs)등에 폭넓게 응용되어 왔으며 최근에는 nm 크기의 실리콘 결정(nc-Si)에서 가시광선 영역의 발광 현상이 발견됨에 따라 광소자로서의 특성을 제어하기 위해서는 성장 조건과 공정 변수에 따른 구조 변화에 대한 연구가 선행되어야 한다. 본 연구에서는 UHV-ECR-PECVD 법을 이용하여 H2로 희석된 SiH4로부터 a-Si:H과 $\mu$c-Si:H를 증착하였다. 그림 1은 SiH4 20sccm/H2 50sccm/25$0^{\circ}C$에서 기판의 DC bias를 변화시키면서 박막을 증착시킬 때 나타나는 박막의 구조 변화를 raman spectrum의 To phonon peak의 위치와 반가폭의 변화로 나타낸 것이다. 비정질 실리콘 박막은 DC bias를 증가시킴에 따라 무질서도가 증가하다가 어떤 critical DC bias에서 최대치를 이룬후 다시 질서도가 증가한다. 이온의 충격력에 의해 박막내에 응력이 축적되면 박막의 에너지 상태가 높아지고 이 축적된 응력이 ordering에 대한 에너지 장벽을 넘을 수 있을 만큼 커지게 되면 응력이 풀리면서 ordering이 가능해지는 것으로 생각된다. 그림 2는 수소 결합 형태의 변화이다. 박막의 무질서도가 증가할 경우 알려진 바와 같이 2000cm-1근처의 peak은 감소하고 2100cm-1 부근이 peak이 증가하는 현상을 보였다. 본 논문에서는 여러 공정 변수, 특히 DC bias에 따르는 박막의 구조 변화와 다른 성장 조건(온도, 유량비)이 critical DC bias나 결정화, 결정성 등에 미치는 영향에 대한 분석결과를 보고하고자 한다.등을 이용하여 광학적 밴드갭, 광흡수 계수, Tauc Plot, 그리고 파장대별 빛의 투과도의 변화를 분석하였으며 각 변수가 변화함에 따라 광학적 밴드갭의 변화를 정량적으로 조사함으로써 분자결합상태와 밴드갭과 광 흡수 계수간의상관관계를 규명하였고, 각 변수에 따른 표면의 조도를 확인하였다. 비정질 Si1-xCx 박막을 증착하여 특성을 분석한 결과 성장된 박막의 성장률은 Carbonfid의 증가에 따라 다른 성장특성을 보였고, Silcne(SiH4) 가스량의 감소와 함께 박막의 성장률이 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 줄어들어 성장률이 Silane가스량에 의해 지배됨을 볼 수 있다. UV-VIS spectrophotometer에 의한 비정질 SiC 박막의 투과도와 파장과의 관계에 있어 유리를 기판으로 사용했으므로 유리의투과도를 감안했으며, 유리에 대한 상대적인 비율 관계로 투과도를 나타냈었다. 또한 비저질 SiC 박막의 흡수계수는 Ellipsometry에 의해 측정된 Δ과 Ψ값을 이용하여 시뮬레이션한 결과로 비정질 SiC 박막의 두께를 이용하여 구하였다. 또한 Tauc Plot을 통해 박막의 optical band gap을 2.6~3.7eV로 조절할 수 있었다. 20$0^{\circ}C$이상으로 증가시켜도 광투과율은 큰 변화를 나타내지 않았다.부터 전분-지질복합제의 형성 촉진이 시사되었다.이것으로 인하여 호화억제에 의한 노화 방지효과가 기대되었지만 실제로 빵의 노화는 현저히 진행되었다. 이것은 quinua 대체량 증가에 따른 반죽의 안정성이 저하되어 버린 것으로 생각되어진다. 더욱이 lipase를 첨가하면 반죽이 분화하는 경향이 보여졌지만 첨가량 75ppm에 있어서 상당히 비용적의 증대가 보였다. 이것은 lipase의 가수분해에 의해

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고온 GaN 버퍼층 성장방법을 이용한 비극성 a-plane GaN 성장 및 특성평가

  • Park, Seong-Hyeon;Kim, Nam-Hyeok;Lee, Geon-Hun;Yu, Deok-Jae;Mun, Dae-Yeong;Kim, Jong-Hak;Yun, Ui-Jun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.125-125
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    • 2010
  • 극성 [0001] 방향으로 성장된 질화물 기반의 LED (light emitting diode) 는 분극현상에 의해 발생하는 강한 내부 전기장의 영향을 받게 된다. 이러한 내부 전기장은 양자우물 내의 전자와 정공의 공간적 분리를 야기하고 quantum confined Stark effect (QCSE)에 의한 발광 파장의 적색 편이가 발생하며 양자효율의 저하를 가져오게 된다. 이러한 문제를 해결하기 위해 InGaN/GaN이나 AlGaN/GaN 양자 우물구조를 GaN의 m-plane (1$\bar{1}$00) 이나 a-plane (11$\bar{2}$0) 등 비극성면 위에 성장하려는 시도를 하고 있다. 그러나 비극성 면의 비등방성 (anisotropy) 으로 인하여 결정성이 높은 비극성 GaN을 성장하는 데에는 많은 어려움이 있다. GaN 층의 표면을 평탄화하고 결정성을 향상시키기 위해서 저온 GaN 또는 AlN 버퍼층을 성장하는 2단계 방법이나 고온 버퍼층을 이용하여 성장하는 연구들이 많이 진행되고 있다. 본 연구에서는 고온 GaN 버퍼층을 이용하여 기존의 2단계 성장과정을 단순화한 비극성 a-plane GaN을 r-plane 사파이어 기판위에 유기금속 화학증착법 (MOCVD)으로 성장하였다. 사파이어 기판위에 AlN 층을 형성하기 위한 nitridation 과정 후 1030 도에서 두께 45 ~ 800 nm의 고온 GaN 버퍼층을 성장하고 총 박막 두께가 2.7 ~ 3 um 가 되도록 a-plane GaN을 성장하여 표면 양상의 변화와 결정성을 확인하였다. 또한 a-plane GaN 박막 성장 시에 성장 압력을 100 ~ 300 torr 로 조절하며 박막 성장의 변화 양상을 관찰하였다. 고온 GaN 버퍼층 성장 두께가 감소함에 따라 결정성은 증가하였으나 표면의 삼각형 형태의 pit 밀도가 증가함을 확인하였다. 또한 성장 압력이 감소함에 따라 표면 pit은 감소하였으나 결정성도 감소하는 것을 확인하였다. 성장 압력과 버퍼층 성장 두께를 조절하여 표면에 삼각형 형태의 pit이 존재하지 않는 RMS roughness 0.99 nm, 관통전위밀도 $1.78\;{\times}\;10^{10}/cm^2$, XRD 반가폭이 [0001], [1$\bar{1}$00] 방향으로 각 798, 1909 arcsec 인 a-plane GaN을 성장하였다. 이 연구를 통해 고온 GaN 버퍼 성장방법을 이용하여 간소화된 공정으로 LED 소자 제작에 사용할 수 있는 결정성 높은 a-plane GaN을 성장할 수 있는 가능성을 확인하였다.

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Effect of RTA Temperature on the Structural and Optical Properties of HfO2 Thin Films (급속 열처리 온도가 HfO2 박막의 구조적 및 광학적 특성에 미치는 효과)

  • Chung, Yeun-Gun;Joung, Yang-Hee;Kang, Seong-Jun
    • The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences
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    • v.14 no.3
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    • pp.497-504
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    • 2019
  • We fabricated $HfO_2$ thin films using RF magnetron sputtering method, and investigated structural and optical properties of $HfO_2$ thin films with RTA temperatures in $N_2$ ambient. $HfO_2$ thin films exhibited polycrystalline structure regardless of annealing process, FWHM of M (-111) showed reduction trend. The surface roughness showed the smallest of 3.454 nm at a annealing temperature of $600^{\circ}C$ in result of AFM. All $HfO_2$ thin films showed the transmittance of about 80% in visible light range. By fitting the refractive index from the transmittance and reflectance to the Sellmeir dispersion relation, we can predict the refractive index of the $HfO_2$ thin film according to the wavelength. The $HfO_2$ thin film annealed at $600^{\circ}C$ exhibited a high refractive index of 2.0223 (${\lambda}=632nm$) and an excellent packing factor of 0.963.

A Study on the Enjoyment Modes of Classic Novels·Ga-Sa in Cheongsong of the Middle of the-20th Century (20세기 중반 청송 지역의 고전소설·가사의 향유 양상)

  • Kwon, Mi-sook
    • Journal of Korean Classical Literature and Education
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    • no.33
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    • pp.211-253
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    • 2016
  • Depending on the class and status, literary works are variously accepted and interpreted. As a result, they show different forms and ways of enjoying the novels and different variations of a text. The only ideal way of investigating and analyzting it is to meet someone who actually lived in that era. This study tries to investigate the enjoying aspects of the classic Korean classical novels by studying how the classical novels have been enjoyed in Northern Gyeong-Buk Area, especially in Cheongsong. It is a follow-up study of cases studies based in Yeongdeok, Uljin. As a result, one can come true the conclusions. In the case of Cheongsong, the Northern Area and Southern Areas show differences in their modes enjoying the Korean classical novels. The Northern Area has a strong expresses self-confidence and pride, and forms solid enjoying groups. However I could hardly find any such cases in the Southern Area. And the entertaining aspects of the classical novels are enjoyed by individuals rather than entertainers. It shows that there have been many difficulties in the culture of in taking-root classical novels as a firm ludic culture in Cheongsong. Furthermore, this survey can identify a duality of entertainers genres conception to enjoying Ga-sa and classic the Korean classical novels. The entertainers who haves read only the classical novels has not hidden ashamed of themselves as readers and entertainersof them. But the entertainers who are proud of the self as enjoyers of Ga-sa tried to dissimulate hide the fact that they read of the classical novels, because they think that a narrativity and fictitiousness, incredibility of the novels are disproportionate inappropriate to their for dignity as members of Yangban(兩班) families, and are in stark contrast to the morality and seriousness of Ga-sa.

Characteristics of 15 MV Photon Beam from a Varian Clinac 1800 Dual Energy Linear Accelerator (CLINAC 1800 선형가속기의 15 MV X-선의 특성)

  • Kim, Kye-Jun;Lee, Jong-Young;Park, Kyung-Ran
    • Radiation Oncology Journal
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    • v.9 no.1
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    • pp.131-141
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    • 1991
  • A comprehensive set of dosimetric measurements has been made on the Varian Clinac 1800 15 MV photon beam. Beam quality, percentage depth dose, dose in the build up region, output, symmetry and flatness, transmission through iead (Cerrobend), tray attenuation, isodose curves for the open and wedged fields were measured using 3 dimensional water phantom dosimetry system (including film densitometer system) and polystyrene phantoms. These dosimetric measurements sufficiently characterized the beam to permit clinical use. The depth dose characteristics of photon beam is $d_{max}$ of 3.0 cm and percentage depth dose of $76.8\%$ at 10 cm,100 cm source-surface distance, field size of $10\times10\;cm^2$ for 15 MV X-ray beam. The Output factors ranged 0.927 for $4\times4\;cm^2$ field to 1,087 for $35\times35\;cm^2$ field. The build-up level of maximum dose was at 3.0 cm and surface dose was approximately $15.5\%$ for a field size $10\times10\;cm^2$ The stability of output is $within\pm1\%$ and flatness and symmetry are $within\pm3\%$. The half value thickness (HVL) of lead is 13 mm, which corresponds to an attenuation coefficient of $0.053\;mm^{-1}$. These figures compare facorably with the manufacturesr`s specifications.

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Patient Dose in Mammography (유방촬영에서 환자 피폭선량)

  • Shin, Gwi-Soon;Kim, You-Hyun;Kim, Jung-Min;Kim, Chang-Kyun;Yang, Jeong-Hwa;Choi, Jong-Hak
    • Journal of radiological science and technology
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    • v.28 no.4
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    • pp.293-299
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    • 2005
  • In the present investigation, we analyzed the data of 1,318 patients (2,636 images) who underwent mammographic examinations and obtained the distribution of the patient age and compressed breast thickness. We measured also average glandular doses (AGD) as function of compressed breast thickness. In order to obtain the values of AGD, we measured half value layer (HVL) and tube output (mR/mAs) for each kVp and target/filter combination. Entrance surface air kerma (ESAK) was calculated from the tube output as measured for each voltage used under clinical conditions and from the tube loading (mAs). AGD per exposure were calculated by multiplying the ESAK values by the conversion factors tabulated by Dance. We obtained in this study the following conclusions. The mean value of compressed breast thickness for cranio-caudal (CC) view was 35.8mm and that for medio-lateral oblique (MLO) view was 43.3 mm. The mean value of AGD for CC view was 1.55 mGy and that for MLO view was 1.70 mGy. The AGD for MLO view was 0.15 mGy (10%) higher than that for CC view because the thickness for MLO view was on average 4.8 mm higher than that for CC view. The values of AGD increased with increasing compressed brest thickness. The increased AGD value was on average 0.34 mGy per 10 mm in the thickness ranges $10{\sim}80\;mm$, therefore differences between the AGD values of each thickness were relative large. Thus, it is considered to need limited doses for mammography with the upper end of exposure range at several different compressed brest thickness.

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Performance Measurement of Diagnostic X Ray System (진단용 X선 발생장치의 성능 측정)

  • You, Ingyu;Lim, Cheonghwan;Lee, Sangho;Lee, Mankoo
    • Journal of the Korean Society of Radiology
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    • v.6 no.6
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    • pp.447-454
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    • 2012
  • To examine the performance of a diagnostic X-ray system, we tested a linearity, reproducibility, and Half Value Layer(HVL). The linearity was examined 4 times of irradiation with a given condition, and we recorded a level of radiation. We then calculated the mR/mAs. And the measured value should not be more than 0.1. If the measured value was more than 0.1, we could know that the linearity was decreased. The reproducibility was analyzed 10 times of irradiations at 80kVp, 200mA, 20mAs and 120kVp, 300mA, 8mAs. The values from these analyses were integrated into CV equation, and we could get outputs. The reproducibility was good if the output was lower than 0.05. HVL was measured 3 times of irradiation without a filter, and we inserted additional HLV filters with 0, 1, 2, 4 mm of thickness. We tested the values until we get the measured value less than a half of the value measured without additional filter. We tested the linearity, the reproducibility, and HVL of 5 diagnostic X-ray generators in this facilities. The linearity of No. 1 and No. 5 generator didn't satisfy the standard for radiation safety around 300mA~400mA and 100mA~200mA, respectively. HVL of No.1 generator was not satisfied at 80kVp. The outputs were higher in the three-phase equipment than the single-phase equipment. The old generators need to maintain and exchange of components based on the these results. Then, we could contribute to getting more exact diagnosis increasing a quality of the image and decreasing an expose dose of radiation.

Actual Condition of Quality Control of X-ray Imaging System in Primary Care Institution: focused on Gwangju Metropolitan City (1차 의료기관의 엑스선 발생장치 정도관리에 관한 현황조사:광주광역시 지역을 중심으로)

  • Dong, Kyung-Rae;Lee, Seun-Joo;Kweon, Dae-Cheol;Goo, Eun-Hoe;Jung, Jae-Eun;Lee, Kyu-Su
    • Journal of Radiation Protection and Research
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    • v.35 no.1
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    • pp.34-42
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    • 2010
  • With the expanded use of radiation in modern medical practices, the most important issue in regards to efforts to reduce individual exposure dose is quality assurance. Therefore in order to study the present condition of quality assurance, the Gwangju Metropolitan City area was divided into five districts each containing ten hospitals. Four experiments were conducted: a reproducibility experiment for kVp, mA, and examination time (sec) intensity of illumination; half-value layer (HVL) measurement; and beam perpendicularity test matching experiment. The tube voltage reproducibility experiment for all fifty hospitals resulted in a 95.33% passing rate and mA and examination time both resulted in a 77.0% passing rate. The passing rate for intensity of illumination was 86.0% and 52.0% for HVL, which was the lowest passing rate of all four factors. For the beam perpendicularity test matching experiment, generally the central flux is matched to within $1.5^{\circ}$. Of all fifty hospitals 30.0% were beyond $3^{\circ}$. The results of the survey showed that 58% responded that they knew about quality assurance cycle. All fifty respondents stated that they have not received any training in regards to quality assurance at their current place of employment. Although quality assurance is making relative progress, the most urgent issue is awareness of the importance of quality assurance. Therefore, the implementation of professional training focusing on safety management and accurate quality assurance of radiation will reduce the exposure to radiation for radiologists and patients and higher quality imaging using less dosage will also be possible.

A Comparative Study on Application of Material in Traditional Residents of Korea, China and Japan - Focusing on Representative Upper-class House - (한·중·일 전통주거의 재료적용 특성 비교 연구 - 각국 대표 상류주택을 중심으로 -)

  • Kim, Hwi Kyung;Choi, Kyung Ran
    • Korea Science and Art Forum
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    • v.19
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    • pp.293-305
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    • 2015
  • At the same time the unique cultural traits of each country are valued, it has become an essential element to establish the cultural identity of a country. This study is aimed at comparing the residence architectural cultures in East-Asia and thus identifying Korea's own unique traits by determining the application characteristics of traditional architectures of Korea, China and Japan through practical investigation of materials, a basic element of architectural shaping. Literature survey and field study were conducted in parallel for this study, and architectural buildings under investigation included Mucheomdang House in Korea, Prince Gong Mansion in China and Dokyudo Building in Japan. Construction materials in Korea, China and Japan include natural materials such as wood, stone and clay, and artificial materials such as metals, paper, roof tiles, plug and glass. and the buildings were constructed with the combination of these materials. This commonality can be often found in the architectural composition. However, in the interior composition, the choice and application of different materials were clear between three countries, which were shown to be different depending on climates, processing methods and living culture of each country. First of all, since each country selected materials under the influence of its own vegetation and climates, living environment of each country could be seen via its residence. Also, it could be seen that while Korea and Japan show a certain similarity such as the traits of standing-sitting culture and the finish of paper in the interior, China is clearly different. In particular, regarding the material processing, the artificial processing was minimized in Korea, which mainly gave rough and crude feelings while due to the use of straight timbers, the architectural representation with organized and refined feelings was made in Japan. China showed the highest percentage of artificial processing of materials among three countries, which was highly associated with the coloring culture of China. Also, it could be seen that technology related to fine architectural materials such as bricks and glass was greatly advanced in China. Thus, how immaterial elements such as natural characteristics, functionality and aesthetics were applied in relation to residence in Korea, Japan and China could be determined through the comparison of architectural materials.