• Title/Summary/Keyword: 밀도변화

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A Spatio-Temporal Density Measurement of NO Molecules in Pulsed Barrier Discharge Using Laser Induced Fluorescence (레이져 유기형광법을 이용한 펄스 배리어 방전 공간에서의 NO분자에 대한 시·공간적 밀도변화 측정)

  • Han, Sang-Bo
    • Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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    • v.24 no.5
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    • pp.160-168
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    • 2010
  • This paper tried to find out NO generation and removal mechanisms in the space of the atmospheric pulsed barrier discharge using laser induced fluorescence method, which is a very effective approach to the measurement of spatio-temporal density of specific molecules. The propagation velocity of the primary streamer reaches about $2.7{\times}10^6$[m/s] and the secondary streamer is produced in the vicinity of positive electrode after the primary streamer finished. In this work, pulse Nd:Yag and Dye lasers are used for generating the specific wavelength of 226[nm], which is possible to excite NO molecules into $A^2{\Sigma}^+{\rightarrow}X^2{\prod}$(0,0) and fluorescence signals as the transition of $A^2{\Sigma}^+{\leftarrow}X^2$(0,2) is measured. For the effective removal of NO molecules in the plasma discharge process, the lower oxygen contents are needed and the influence of secondary streamer for the reduction mechanism of NO molecules is important

The Variation of Density and Settlement for Contaminated Sediments During Electrokinetic Sedimentation and Remediation Processes (오염퇴적토에 대한 동전기적 침전 및 정화 공정에서의 시료 밀도 및 침하 변화 특성)

  • Chung, Ha-Ik
    • Journal of the Korean Geotechnical Society
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    • v.22 no.9
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    • pp.5-14
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    • 2006
  • Generally, the sediments contain significant water, clay, colloidal fraction and contaminants, and can result in soft strata with high initial void, and its potential hazards in subsurface environments exist. Electrokinetic technique has been used in sedimentation for volume reduction of slurry tailing wastes and in remediation for extraction of contaminants from contaminated soils. In this research, the coupled effects of sedimentation and remediation of contaminated sediments are focused using electrokinetic sedimentation and remediation techniques from experimental aspects. A series of laboratory experiments including variable conditions such as initial solid content of the specimen, concentration level of the contaminant, and magnitude of applied voltage are performed with the contaminated sediment specimens mixed with ethylene glycol. Commercially available high specification Kaolin was used to simulate slurried sediment. From the test results, the settlement of specimen increases with increasing of applied voltage and decreasing of solid content and contamination level. The density of specimen increases due to settlement of specimen in the process of electrokinetic sedimentation and decreases due to extraction of organic contaminant in the process of electrokinetic remediation.

Study on the Physical Properties of Artificial Soil for Tillage Experiments (경운실험(耕耘實驗)을 위(爲)한 인공토양(人工土壤)의 물리적(物理的) 특성(特性)에 관(關)한 연구(硏究))

  • Kim, Kee-Dae;Hur, Yun-Kun;Kim, Man-Soo;Kim, Soung-Rai
    • Korean Journal of Agricultural Science
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    • v.5 no.2
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    • pp.127-135
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    • 1978
  • For improvement and new design of tillage equipments, indoor test is very useful and more desirable than outdoor because the experiment of outdoor is very difficult and its cost is expensive. This study was carried out to determine the physical properties of artificial soil suitable for the indoor test with the soil bin manufactured at the workshop of the Dept. of Agricultural Machinery Engineering. The artificial soil being studied was made with very similarity to the natural soil of the experimental plots of Chungnam National University, and it consist of 39.35 percent, by weight of bentonite and 48.10 percent of sand with 12.55 percent of SAE 10W oil. The results are summarized as follows: 1. Bulk density increased with increasing number of rolling, and its relationship could be expressed. $y=1.073200+0.070780x-0.002263x^2$ where, y=bulk density ($g/cm^3$), x=number of rolling. These results could be explained that the effect of rolling velocity on the bulk density was not singnificant in the range of 4.5~10.4 em/sec. 2. The absolute soil hardness depended directly upon number of rolling, and their relationship could be expressed by the equation. $y=37.74(0.64 +0.17x-0.0054x^2)/(3.36-0.17x-0.0054x^2)^3$. where, y=absolute soil hardness($kg/cm^3$), x=number of rolling. 3. Relationship between the bulk density and absolute soil hardness could be expressed by the equation; $y=37.74(2.46x-2.02)/(6.02-2.46x)^3$. where, y=absolute soil hardness, x=bulk density. 4. The cohesion and the angle of internal friction of artificial soil were increased with increasing its bulk density. According to the cohesion and angle of internal friction, at the range of 1.60~1.75 ($g/cm^3$) of bulk density, this artificial soil was similar with sandy loam of 29.5% moisture content of natural soil. 5. Sliding-fricfion coefficient of steel plate on the artificial soil was 0.3~0.4 and rubber plate on it is 0.64~0.72. Those values were very similar with those of natural soil being studies by many others.

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A Study on the Behavior of Brine Lumps Caused by Dropping Brine (염수투하에 따른 염수괴 거동에 관한 연구)

  • ;K. Nakatsuji
    • Journal of Korean Society of Coastal and Ocean Engineers
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    • v.3 no.1
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    • pp.21-28
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    • 1991
  • this paper, two-dimensional behaviors of the brine lumps moving along the inclined boundaries are investigated experimentally and theoretically. It was investigated these factors in the brine lumps which are behaviors. shape. length change. height change. and moving velocity change. The results were compared the above factors with thermal theory. The shape of the brine lumps is well apporximated by a half-ellipse. The shape of the brine lumps was similar with the slope thermal and the moving characteristics were found to reappear with the turbulent thermal theory.

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유도 결합형 플라즈마 공정조건 변화에 따른 플라즈마 방전과 전자기장 시뮬레이션의 비교

  • Kim, U-Jae;Jo, Tae-Hun;Park, Hye-Jin;Choe, Jin-U;Lee, Ye-Seul;Hwang, Sang-Hyeok;Yun, Myeong-Su;Gwon, Gi-Cheong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.214.2-214.2
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    • 2016
  • 플라즈마 공정은 공정의 미세화, 저온화의 필요성 때문에 반도체 및 태양전지 분야 등 여러 분야에서 널리 쓰이고 있으며 그 중요성은 점점 더 커져가고 있다. 그러나 플라즈마를 사용하는 공정에서 공정조건의 미세한 변화에 따라서 플라즈마 특성이 크게 바뀌어 공정조건에 따른 공정 결과의 예측을 어렵게 한다. 따라서 플라즈마를 이용하는 공정에 있어서 다양한 변수의 복합적인 상호작용을 고려하여 공정 결과를 예상 할 수 있는 시뮬레이션에 대한 연구가 요구되고 있다. 본 연구에서는 유도 결합형 플라즈마 발생 장치에서 공정조건에 따른 플라즈마 밀도 분포 변화를 전자기장 시뮬레이션을 통해 예상해보았으며, 시뮬레이션 결과를 실제 방전 상황에서 DLP(Double Langmuir Probe)로 측정한 값과 비교하여 플라즈마 밀도 분포와 전자기장 시뮬레이션의 정확성을 검토하였다.

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Effect of the UO2 Powder Characteristic Changes by Dynamic Milling on the Density (Dynamic Milling에 의한 UO22분말 특성 변화가 밀도에 미치는 영향)

  • 김동주;나상호;김연구;이영우;김용수
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.41 no.8
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    • pp.588-592
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    • 2004
  • Effect of the UO$_2$ powder characteristic changes by dynamic milling method on the density was investigated. particle size decreased and its shape was changed from irregular to round form with increasing milling time (0∼8 h), while its specific surface area and O/U ratio increased. It was shown that the sintered density decreased, while green density increased with these powder characteristic changes. It could be considered that this decrement was affected by increased O/U ratio of the UO$_2$ powder during dynamic milling.

Inductively Coupled $Ar/Cl_2$ Plasma Analysis with Quadrupole Mass Spectrometer (QMS) (사중극자 질량분석기(QMS)를 이용한 $Ar/Cl_2$ 유도결합 플라즈마 분석)

  • Kim, Jong-Gyu;Kim, Gwan-Ha;Lee, Cheol-In;Kim, Chang-Il
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2005.11a
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    • pp.41-43
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    • 2005
  • $Cl_2$ 플라즈마에 있어서 Ar 가스의 첨가에 의한 효과를 보기 위해 Ar 첨가 비율 rf 전력, 반응로 압력을 변화시켜가며 그 에너지와 질량을 분석하였다. Ar 첨가 비율에 따른 각 입자들의 질량 분석을 통해서, Ar의 비율이 80% 일 때 물리적, 화학적 반응이 최대가 되는 것을 확인하였다. 또한 Ar 첨가 비율에 따른 각 이온들의 에너지 분석을 통해, Ar 가스의 첨가에 의해 $Cl^+$$Cl_2^+$ 이온들의 이온 선속은 증가하나 그 에너지가 감소하는 것을 확인하였다. 반응로 압력과 rf 전력의 제어를 통해 이온 전류밀도, 이온 에너지와 전자온도를 제어 할 수 있음을 확인하였고, Ar 첨가 비율을 변화시키면서 전자 밀도 분포 함수의 변화를 관찰하여 이를 통해 Ar 비율에 따른 이온화 비율과 전자 온도, 밀도 등의 관계를 확인하였다.

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구동주파수와 유전체 특성이 대기압 플라즈마에 미치는 영향에 대한 전산모사 연구

  • Bae, Hyo-Won;Lee, Jong-Bong;Sim, Seung-Bo;Song, In-Cheol;Lee, Ho-Jun;Lee, Hae-Jun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.98-98
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    • 2010
  • 대기압 상에서의 방전은 기존의 진공 장비를 요구하던 플라즈마 장비들에 비해 경제적이고 간편해서 물질의 표면 처리 및 바이오 응용 플라즈마 등에서 널리 사용되고 있다. 본 연구에서는 평판형 방전으로 발생되는 플라즈마의 물리적 성질을 확인하기 위해 1차원 Particle-In-Cell (PIC) 시뮬레이션을 이용하였다. PIC 시뮬레이션은 계산시간이 많이 걸리는 단점이 있으나 가정이 거의 없기 때문에 정확한 계산값을 얻을 수 있는 장점이 있다. 주파수를 13.56 MHz에서 100 MHz 까지 변화 시켰고, 입력신호는 정현파와 직류 펄스로 하였다. 정현파에 비해서 펄스형 신호를 인가했을 때 전자, 이온 밀도가 시간에 따라서 급격히 변하는 것이 관찰되었다. 또한 전극 앞에 유전체가 있을 경우, 입력 신호의 변화보다 플라즈마 밀도의 변화가 다소 지연되었다. 이 외에도 여기종 분포, 전자 온도 등의 시공간적 특성을 관찰하였다.

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유도결합플라즈마 식각 장비에서 안테나와 웨이퍼간 거리 차에 따른 플라즈마 변화 연구

  • Jo, Tae-Hun;Yun, Myeong-Su;Son, Chan-Hui;Gang, Jeong-Uk;Kim, Dong-Jin;Choe, Jang-Hun;Nam, Chang-Gil;Jeon, Bu-Il;Jo, Gwang-Seop;Gwon, Gi-Cheong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.290-290
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    • 2011
  • 유도결합플라즈마 장비의 공정에서 안테나의 역할은 매우 중요하다. 유도결합플라즈마의 식각 공정에서도 충분한 식각과 균등한 식각 결과를 얻기 위해 안테나의 역할은 중요한 요인 중 하나이다. 안테나와 공정 웨이퍼간의 거리에 따라 발생하는 플라즈마 밀도나 전자 온도 등이 변화하고 그에 따른 식각정도나 균등성도 달라진다. 본 연구에서는 플라즈마 특성 변화를 관찰하기 위해 기존 유도결합플라즈마 식각 장비의 안테나와 웨이퍼간 거리와 내부 안테나를 웨이퍼와 가깝게 하였을 때의 플라즈마 밀도, 안테나의 전류와 식각률 등을 측정하였다.

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Properties of AlTiN Films by Cathodic Arc Deposition (음극 아크 증착으로 제조된 AlTiN 박막의 물리적 특성)

  • Yang, Ji-Hun;Song, Min-A;Jeong, Jae-Hun;Kim, Seong-Hwan;Jeong, Jae-In
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2014.11a
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    • pp.24-24
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    • 2014
  • 음극 아크 증착을 이용하여 제조한 AlTiN 박막의 공정 변화에 따른 물리적 특성 변화를 평가하였다. 또한 빗각 증착을 적용하여 제조한 AlTiN 박막의 특성을 평가하였다. Al-Ti 타겟(Al:Ti=75:25 at.%)을 음극 아크 소스에 장착하여 AlTiN 박막을 코팅하였다. 기판은 stainless steel(SUS304)과 초경(tungsten carbide; WC)을 사용하였다. 음극 아크 소스에 인가되는 전류가 낮을수록 AlTiN 박막 표면에 존재하는 거대입자의 밀도가 낮아졌으며, 공정 압력과 기판 전압이 높을수록 AlTiN 박막의 표면에 존재하는 거대입자의 밀도가 낮아지는 경향을 보였다. 코팅 공정 중 질소 유량을 변화했지만 AlTiN 박막의 특성은 변하지 았았다. AlTiN 박막 제조 시 빗각을 적용한 결과, $60^{\circ}$의 빗각을 적용한 다층 박막에서 약 33 GPa의 경도를 보였다. AlTiN 박막의 내산화성을 평가한 결과, $600^{\circ}C$이상에서 안정된 내산화성을 확인할 수 있었다.

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