• 제목/요약/키워드: 미세형상

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미세배선 구리도금에서 양극.음극 형상에 따른 구리의 성장 거동 (Growth behavior of copper on micro patterning copper plating by anodic and cathodic electrode shape)

  • 황양진;이규환
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2009년도 추계학술대회 초록집
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    • pp.168-168
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    • 2009
  • 핸드폰, 노트북과 같이 최신경량 전자재료로 만들어지는 전자제품의 수요가 급증함에 따라 반도체 배선의 폭이 점점 작아지고, 이로 인해 프린팅공정을 이용한 미세 배선기술이 활발히 개발되고 있다. 이에 본 연구는 미세배선에 높은 전기전도도를 부여하기 위하여 전기도금을 실시하였으며, 균일한 도금층을 얻기 위하여 첨가제에 따른 분극거동을 분석하고 이를 바탕으로 양극 및 음극 형상에 따른 구리의 성장 거동을 시뮬레이션을 통하여 분석하였다. 균일한 증착을 위해서는 첨가제의 역할도 중요하지만 양극과 음극의 형상에 따라서도 구리성장 거동에 영향을 미치는 것을 알 수 있었다.

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전해-자기 복합 가공을 이용한 미세 그루브형상의 가공 특성에 관한 연구 (Characteristic of EP-MAP for Deburring of Microgroove using EP-MAP)

  • 김상오;손출배;곽재섭
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제37권3호
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    • pp.313-318
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    • 2013
  • 전자기력을 이용한 자기연마 공정은 전통적 가공방식으로 버를 제거하기 힘든 비자성체의 소재 및 마이크로 형상의 가진 제품에 활용될 수 있는 새로운 정밀 디버링 방식이다. 그러나 이러한 자기연마법은 자기연마입자를 이용한 기계적 절삭력을 이용하고 있기 때문에 마이크로 단위의 구조물의 형상을 변형시킬 가능성이 높다. 따라서 본 연구에서는 탄소나노튜브-코발트 금속복합체를 이용한 전해-자기복합가공을 STS316 소재의 미세 그루브의 마이크로 디버링공정에 적용하고 그 특성을 분석하였다. 그 결과 자기연마공정을 적용한 공정에서는 공정 후 그루브에 생성된 버는 효율적으로 제거되었으나 그루브 끝단의 형상변화가 두드러지게 관찰되었다. 반면 전해-자기복합가공을 이용한 경우에는 재료제거율이 낮아 그루브 끝단의 형상변화 없이 디버링 공정이 진행됨을 확인하였다.

자기 디버링을 이용한 복합 미세패턴의 형상 정밀도 향상 (A Study on Accuracy Improvement of Dual Micro Patterns Using Magnetic Abrasive Deburring)

  • 진동현;곽재섭
    • 대한기계학회논문집A
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    • 제40권11호
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    • pp.943-948
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    • 2016
  • 최근, 산업에서는 미세패턴의 효과가 입증됨에 따라 미세패턴에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 그러나, 이러한 연구들은 단일 패턴에 집중되어있으며, 복합 미세패턴의 제작 및 디버링에 관한 연구는 부족한 실정이다. 따라서, 본 연구에서는 원통형 공작물에 복합 미세패턴을 제작하고, 자기 디버링을 이용하여 디버링을 실시하였다. 또한, 반응표면법을 이용하여 패턴의 높이에 대한 예측모델을 도출하고, 자기 디버링 공정을 최적화하였다. 그 결과, 패턴의 높이에 대한 예측값과 실험값을 비교하였을 때, 평균적으로 7%의 오차가 발생하는 것을 확인하였다. 또한, 검증실험을 통하여 형상 정밀도가 우수한 복합 미세패턴의 제작이 가능하고, 예측모델이 신뢰성이 있음을 알 수 있었다.

$\cdot$연삭에 의한 Micro Machining 기술 (Micro Machining Technology Using Turning and Grinding)

  • 이응숙;제태진;신영재
    • 한국정밀공학회지
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    • 제17권7호
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    • pp.5-13
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    • 2000
  • 지금까지의 기계산업의 발달은 대규모의 플랜트 혹은 대형기계 개발 등 대형화를 추구해왔다. 그러나, 최근 에너지와 환경에 대한 인식과 정보 통신, 전자산업, 생명산업의 발달로 소형화와 미세화의 기술 개발이 요구되고 있다. 그 예로 크기가 micron혹은 sub-millimeter 단위인 초소형기계 (Micro Machine)이 등장하게 되었고, 이러한 부품 및 시스템을 제작하는 미세 가공 기술을 Micro Machining이라고 할 수 있다.(중략)

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미세형상가공을 위한 방전ㆍ초음파 가공기술 (Fabrication of Micro-Shapes Using EDM and Ultrasonic Machining)

  • 주종남;김규만;김성윤
    • 한국정밀공학회지
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    • 제17권7호
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    • pp.20-27
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    • 2000
  • 한국은행의 지식기반산업의 국민 경제적 역할 분석에 따르면, 91년부터 99년까지 지식기반산업의 연평균 성장률은 13.7%로 다른 산업의 4.1%보다 3배 이상 높은 것으로 조사되었다. 그중 항공기, 사무계산 및 회계용 기기, 의약품, 영상 음향 통신장비 등 첨단제조업은 이 기간 중 연평균 20.1% 성장을 기록하였다. 이와 같은 첨단제조업에서는 제품 내 부품의 정밀가공 기술이 필수적이다. 그 중에서도 미세 가공에 대한 관심은 지속적으로 증가하고 있는 추세이다.(중략)

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고세장비 미세형상 사출성형시 금형온도의 영향 고찰 (Effect of Mold Temperature on Injection Molding of Micro-Features with High Aspect Ratio)

  • 박정민;도범석;엄혜주;박근
    • 대한기계학회:학술대회논문집
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    • 대한기계학회 2008년도 추계학술대회A
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    • pp.1124-1128
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    • 2008
  • Thin-wall injection molding is associated with many advantages, including increased portability, the conserving of materials, and the reduction of the molding cycle times. In the application of the thin-wall molding, a considerable reduction of the effective flow thickness results in filling difficulty. High-frequency induction is an efficient way to overcome this filling difficulty by means of heating the mold surface by electromagnetic induction. The present study applies the induction heating to the injection molding of thinwalled micro structures with high aspect ratio. The feasibility of the proposed heating method is investigated through a numerical analysis. The estimated filling characteristics of the micro-features are investigated with variations of mold temperature and part thickness, of which results are also compared with experimental measurements.

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Yttria를 도핑한 세리아 안정화 지르코니아 세라믹스의 미세구조 (Microstructure of Yttria-doped Ceria-Stabilized Zirconia Polycrystals)

  • 이종국;강현희;서동석;이은구;김환
    • 한국재료학회지
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    • 제9권8호
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    • pp.768-774
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    • 1999
  • 세리아 안정화 지르코니아 성형체내에 이트리아를 침적법으로 도핑시켜 미세구조를 관철하였다. 도핑된 이트리아의 양과 열처리 조건을 제어하여 입계가 변형된 불규칙 입자형상의 미세구조를 형성시켰으며, 이때 입자형상의 불규칙 정도는 첨가된 이트리아의 양에 비례하였다. 0.2M 농도의 Y(NO$_3$)$_3$.6$H_2O$의 수용액에 재침적하여 1$650^{\circ}C$에서 2시간 열처리한 시편의 미세구조는 표면부와 내부 모두에서 불규칙 입자형상을 나타내었으며, 입자의 불규칙도도 가장 큰 것으로 나타났다. 가압소결을 행한 결과 입계가 불규칙하게 변화된 미세구조가 창출됨과 동시에 평균입자 크기가 0.3$\mu\textrm{m}$ 가량인 미세한 소결체를 제조할 수 있었으며, 상분석 결과 대부분 정방정상을 유지하고 있었다. 불규칙 입자형상의 미세구조를 가진 시편의 파괴인성값은, 정상적인 입자형상을 갖는 시편에서의 압흔 균열 크기로부터 비교 유추한 결과 17.6MPa.m(sup)1/2 이상인 것으로 나타났다.

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접촉식 형상 측정기에 의한 표면 미세 형상 측정시 촉침 반경이 측정오차에 미치는 영향 (Effects of stylus tip radius on the measuring error in surface topography measurement by contact stylus profilometer)

  • 권기환
    • 한국공작기계학회:학술대회논문집
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    • 한국공작기계학회 2000년도 춘계학술대회논문집 - 한국공작기계학회
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    • pp.613-617
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    • 2000
  • This paper descries the effect of the stylus tip size on the measuring error in surface topography measurement. To analyze the distortional effect of an actual surface geometry originating from the finite stylus size, the surface is modeled as a sinusoid and the stylus tip as a circle. the measuring error is defined as the ratio of the standard deviation of a tracing profile and an original profile. It is shown that this measuring error depends on the amplitude and wavelength of an original profile. In this paper, the spectrum analysis is applied to investigate the distortional effect due to the mechanical filtering of the stylus in the frequency domain. and, the cumulative power spectrum is applied to determinate the minimum wavelength limits to be measured with the various stylus tip radius from these results, a new method to select proper stylus tip radius is proposed.

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플라즈마 용사법에 의한 섬유강화 코팅의 미세구조 (The Microstructure of Fiber Reinforced Plasma Sprayed Coatings)

  • 이정혁
    • Journal of Welding and Joining
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    • 제20권4호
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    • pp.451-458
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    • 2002
  • 플라즈마 용사법에 의한 섬유강화 복합 소재를 개발하면서 독특한 미세구조가 발견되었다. 이러한 형상은 코팅의 물리적 특성과 직접적으로 관련이 있다고 사료된다 섬유강화 코팅의 구조를 밝히기 위해 고배율 전자현미경이 사용되었으며 분석을 통해 일반적 용사코팅 의 미세구조가 내부에 투입된 강화 섬유(FIBER 또는 WHISKER)에 의해 변형되며 열적으로 anisotropic한 상태로 되었음을 보여주었다.